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机器人化纳米操作系统驱动器驱动与探针定位研究
被引量:
6
1
作者
田孝军
王越超
+2 位作者
席宁
董再励
李文荣
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期1223-1228,共6页
对基于AFM的机器人化纳米操作系统而言,一个关键问题是如何实现纳米操作时探针的高精度驱动与定位。对此,本文基于对压电陶瓷驱动器的迟滞/非线性特性及现有驱动方法的详细分析,提出"基于复现扫描轨迹的驱动方法"来对操作时...
对基于AFM的机器人化纳米操作系统而言,一个关键问题是如何实现纳米操作时探针的高精度驱动与定位。对此,本文基于对压电陶瓷驱动器的迟滞/非线性特性及现有驱动方法的详细分析,提出"基于复现扫描轨迹的驱动方法"来对操作时的驱动器进行驱动;另外,还对管式驱动器弯曲运动所产生的运动学耦合误差、探针悬臂变形所引起的针尖偏移误差进行了定量分析与补偿。采用上述驱动方法及进行误差补偿后,可以大大提高探针的定位精度,从而使纳米操作与装配得以高精度进行。纳米刻画实验验证了该新型驱动方法及误差补偿的有效性。
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关键词
驱动器驱动
探针定位
复现扫描轨迹
运动学耦合误差
悬臂变形
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职称材料
题名
机器人化纳米操作系统驱动器驱动与探针定位研究
被引量:
6
1
作者
田孝军
王越超
席宁
董再励
李文荣
机构
中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期1223-1228,共6页
基金
国家自然基金(60635040
60575060
+2 种基金
60575050)
863计划(2006AA042320)
辽宁省优秀青年科研人才培养基金(2005220025)资助项目
文摘
对基于AFM的机器人化纳米操作系统而言,一个关键问题是如何实现纳米操作时探针的高精度驱动与定位。对此,本文基于对压电陶瓷驱动器的迟滞/非线性特性及现有驱动方法的详细分析,提出"基于复现扫描轨迹的驱动方法"来对操作时的驱动器进行驱动;另外,还对管式驱动器弯曲运动所产生的运动学耦合误差、探针悬臂变形所引起的针尖偏移误差进行了定量分析与补偿。采用上述驱动方法及进行误差补偿后,可以大大提高探针的定位精度,从而使纳米操作与装配得以高精度进行。纳米刻画实验验证了该新型驱动方法及误差补偿的有效性。
关键词
驱动器驱动
探针定位
复现扫描轨迹
运动学耦合误差
悬臂变形
Keywords
actuator actuating
probe positioning
reappearing the scanning trajectory
kinematics coupling error
cantilever deflection
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
TP24 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
机器人化纳米操作系统驱动器驱动与探针定位研究
田孝军
王越超
席宁
董再励
李文荣
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
6
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