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多壁碳纳米管湿敏传感器的研究
被引量:
5
1
作者
陈文菊
郭淼
+2 位作者
陈金霞
潘敏
陈裕泉
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期705-709,共5页
传感器的基底为Al板电化学氧化成Al2O3绝缘层模板,上面真空溅射了叉指金电极,在电极之间旋涂微量多壁碳纳米管的水悬浊液,干燥后作为敏感膜。室温下测试传感器暴露在不同湿度的电阻变化,发现吸附了H2O后传感器的导电能力降低,且下降的...
传感器的基底为Al板电化学氧化成Al2O3绝缘层模板,上面真空溅射了叉指金电极,在电极之间旋涂微量多壁碳纳米管的水悬浊液,干燥后作为敏感膜。室温下测试传感器暴露在不同湿度的电阻变化,发现吸附了H2O后传感器的导电能力降低,且下降的幅度与被测湿度有良好的梯度关系。同时该多壁碳纳米管再经缩合剂EDC修饰后旋涂于电极上形成的敏感膜对湿度呈指数级变化。对它们的湿敏响应的机理进行了一些初步的探讨。
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关键词
多壁碳纳米管
湿敏
相对湿度
饱和盐水溶液
碳二酰胺
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职称材料
基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜的电容湿敏性能研究
被引量:
3
2
作者
李隆玉
肖顺华
+3 位作者
董永芬
冯春岳
姜卫粉
李新建
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期2558-2562,共5页
采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜(BaTiO_3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO_3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO_3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能...
采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜(BaTiO_3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO_3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO_3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能进行了测试.结果表明,室温下湿敏元件在11%~95%RH范围内具有很高的灵敏度和较快的响应速度,且电容值的对数对湿度呈现出很好的线性.虽然该薄膜湿敏元件在不同湿度下均存在温度漂移,但分析表明这种漂移有可能通过电极设计或信号补偿加以解决.
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关键词
湿度传感器
硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)
BATIO3
饱和盐水溶液
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职称材料
蛋鸡脱肛的防治
3
作者
洪学
《山东家禽》
2004年第1期52-53,共2页
关键词
蛋鸡
脱肛
防治
饱和盐水溶液
高锰酸钾
溶液
土霉素
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职称材料
题名
多壁碳纳米管湿敏传感器的研究
被引量:
5
1
作者
陈文菊
郭淼
陈金霞
潘敏
陈裕泉
机构
浙江大学生物医学工程系
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期705-709,共5页
基金
国家863计划项目资助
国家自然科学基金资助(30470461)
文摘
传感器的基底为Al板电化学氧化成Al2O3绝缘层模板,上面真空溅射了叉指金电极,在电极之间旋涂微量多壁碳纳米管的水悬浊液,干燥后作为敏感膜。室温下测试传感器暴露在不同湿度的电阻变化,发现吸附了H2O后传感器的导电能力降低,且下降的幅度与被测湿度有良好的梯度关系。同时该多壁碳纳米管再经缩合剂EDC修饰后旋涂于电极上形成的敏感膜对湿度呈指数级变化。对它们的湿敏响应的机理进行了一些初步的探讨。
关键词
多壁碳纳米管
湿敏
相对湿度
饱和盐水溶液
碳二酰胺
Keywords
multi-wall carbon nanotube
gas sensor
relative humidity
saturated salt solution
EDC
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜的电容湿敏性能研究
被引量:
3
2
作者
李隆玉
肖顺华
董永芬
冯春岳
姜卫粉
李新建
机构
郑州大学物理系材料物理教育部重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期2558-2562,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(10574112)
文摘
采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜(BaTiO_3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO_3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO_3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能进行了测试.结果表明,室温下湿敏元件在11%~95%RH范围内具有很高的灵敏度和较快的响应速度,且电容值的对数对湿度呈现出很好的线性.虽然该薄膜湿敏元件在不同湿度下均存在温度漂移,但分析表明这种漂移有可能通过电极设计或信号补偿加以解决.
关键词
湿度传感器
硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)
BATIO3
饱和盐水溶液
Keywords
humidity sensor
silicon nanoporous pillar array(Si-NPA)
BaTiO_3
saturated salt solution
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
蛋鸡脱肛的防治
3
作者
洪学
机构
吉林省大安市龙沼畜牧站
出处
《山东家禽》
2004年第1期52-53,共2页
关键词
蛋鸡
脱肛
防治
饱和盐水溶液
高锰酸钾
溶液
土霉素
分类号
S858.31 [农业科学—临床兽医学]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多壁碳纳米管湿敏传感器的研究
陈文菊
郭淼
陈金霞
潘敏
陈裕泉
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005
5
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职称材料
2
基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜的电容湿敏性能研究
李隆玉
肖顺华
董永芬
冯春岳
姜卫粉
李新建
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
蛋鸡脱肛的防治
洪学
《山东家禽》
2004
0
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职称材料
已选择
0
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引证文献
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