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基于法布里-珀罗腔产生飞秒激光脉冲串在ITO薄膜表面精密加工
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作者 李重周 王培尧 +3 位作者 龙明泉 许宇锋 韩若中 贾天卿 《光子学报》 北大核心 2025年第5期33-46,共14页
利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形,得到输出子脉冲间隔在1~1500 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串,在厚度为185 nm的ITO薄膜上加工出高质量的刻蚀线。实验结果显示,利用飞秒激光脉冲串加工得到的单根刻蚀线在线边沿粗糙度上明显优... 利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形,得到输出子脉冲间隔在1~1500 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串,在厚度为185 nm的ITO薄膜上加工出高质量的刻蚀线。实验结果显示,利用飞秒激光脉冲串加工得到的单根刻蚀线在线边沿粗糙度上明显优于原始高斯光加工的刻蚀线。利用子脉冲间隔为150 ps、激光能流密度为0.49 J/cm^(2)、扫线速度为0.2 mm/s的脉冲串加工得到的刻蚀线质量较高,线宽度仅有1.45μm(顶部)和0.95μm(底部),线边沿粗糙度仅有9.48 nm。该加工工艺配合平移台,实现了高质量的排线和任意曲线的导线。 展开更多
关键词 激光加工 法布里-珀罗腔 飞秒激光脉冲 刻蚀线 ITO薄膜
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飞秒激光脉冲作用熔石英的超快传热动力学研究
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作者 余方锐 杜广庆 +3 位作者 Waqas AHMAD 陆宇 杨青 陈烽 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第3期529-536,共8页
飞秒激光具有超短脉冲宽度、超高峰值功率的特点,飞秒激光与物质作用表现出的非线性吸收和低热扩散特性,使其在高精密微纳器件加工中有着重要的应用前景。建立了针对飞秒激光脉冲与熔石英作用的瞬态光电离以及非平衡传热的超快动力学模... 飞秒激光具有超短脉冲宽度、超高峰值功率的特点,飞秒激光与物质作用表现出的非线性吸收和低热扩散特性,使其在高精密微纳器件加工中有着重要的应用前景。建立了针对飞秒激光脉冲与熔石英作用的瞬态光电离以及非平衡传热的超快动力学模型。通过数值求解该模型获得了飞秒激光单脉冲作用熔石英的载流子密度和非平衡电子与声子温度的时空演化;得到了在非平衡态条件下,电声耦合时间随激光能量密度、脉冲宽度的近线性调控规律。进一步研究得到了瞬态电子热导、热容、电声耦合系数的变化规律,并对上述模拟现象进行了分析和探讨。 展开更多
关键词 飞秒激光脉冲 瞬态光电离 超快传热 双温模型
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飞秒激光脉冲诱导透明介质的非线性吸收和折射率改变轮廓研究 被引量:12
3
作者 程光华 刘青 +4 位作者 杨玲珍 王屹山 董淑福 赵卫 陈国夫 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1281-1285,共5页
实验研究了飞秒激光脉冲诱导熔融石英的非线性吸收特性 ,利用激光诱导自由电子等离子体浓度取决于多光子吸收系数和入射光强的关系 ;数值模拟了激光诱导折射率变化区域的大小 ,结合非线性吸收机理和飞秒激光脉冲与介质的相互作用 ,解释... 实验研究了飞秒激光脉冲诱导熔融石英的非线性吸收特性 ,利用激光诱导自由电子等离子体浓度取决于多光子吸收系数和入射光强的关系 ;数值模拟了激光诱导折射率变化区域的大小 ,结合非线性吸收机理和飞秒激光脉冲与介质的相互作用 ,解释了飞秒激光脉冲超精细加工不受衍射极限的约束 ,可实现纳米级加工的机理 结果表明 ,电介质的电离能越大 ,飞秒脉冲诱导的折射率变化区域就越小 ,但要求的激光脉冲能量也越大 ; 展开更多
关键词 非线性吸收 飞秒激光脉冲 熔融石英 折射率
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飞秒激光脉冲作用下氧化镁的烧蚀及其超快动力学过程 被引量:4
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作者 徐世珍 贾天卿 +5 位作者 徐至展 李晓溪 冯东海 孙海轶 李成斌 王晓峰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1126-1129,共4页
研究了双面抛光氧化镁单晶(111)表面800nm飞秒激光单脉冲烧蚀阈值和激光脉宽的依赖关系.利用泵浦-探针技术,测量不同能量和脉宽作用下飞秒激光烧蚀的时间分辨反射率的演化.通过扫描电镜观察其烧蚀形貌,发现大量的沿氧化镁[100]晶向开裂... 研究了双面抛光氧化镁单晶(111)表面800nm飞秒激光单脉冲烧蚀阈值和激光脉宽的依赖关系.利用泵浦-探针技术,测量不同能量和脉宽作用下飞秒激光烧蚀的时间分辨反射率的演化.通过扫描电镜观察其烧蚀形貌,发现大量的沿氧化镁[100]晶向开裂的裂纹.讨论了表面裂纹的形成机理,并解释了飞秒激光烧蚀氧化镁的超快动力学过程. 展开更多
关键词 飞秒激光脉冲 烧蚀 氧化镁 超快动力学
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光子晶体光纤中飞秒激光脉冲传输的研究 被引量:7
5
作者 王润轩 窦春升 岳喜成 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期555-557,共3页
为更精细地描绘飞秒光脉冲在光子晶体光纤中的传输和演化,在用分步傅里叶方法求解广义非线性薛定谔方程的基础上,详细考虑光纤参数随脉冲峰值频移的变化,模拟了飞秒光脉冲在光子晶体光纤中传输和演化的过程。研究发现,光纤色散和强非线... 为更精细地描绘飞秒光脉冲在光子晶体光纤中的传输和演化,在用分步傅里叶方法求解广义非线性薛定谔方程的基础上,详细考虑光纤参数随脉冲峰值频移的变化,模拟了飞秒光脉冲在光子晶体光纤中传输和演化的过程。研究发现,光纤色散和强非线性对飞秒脉冲在光子晶体光纤中传输、演化以及超连续谱的展宽有很大影响。 展开更多
关键词 光纤光学 光子晶体光纤 飞秒激光脉冲 分步傅里叶方法 超连续谱
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单个飞秒激光脉冲在玻璃内部产生多次微爆的研究 被引量:5
6
作者 马琳 石顺祥 +1 位作者 程光华 陈国夫 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1187-1190,共4页
在入射能量不同的情况下,用近红外飞秒激光脉冲在重钡火石玻璃(ZBaF15)内部产生了色心和微爆,在熔融石英的内部产生了多次微爆现象.实验表明:入射能量较高时,色心的中间会产生微爆;在松聚焦条件下,一个飞秒激光脉冲在透明介质内会激发... 在入射能量不同的情况下,用近红外飞秒激光脉冲在重钡火石玻璃(ZBaF15)内部产生了色心和微爆,在熔融石英的内部产生了多次微爆现象.实验表明:入射能量较高时,色心的中间会产生微爆;在松聚焦条件下,一个飞秒激光脉冲在透明介质内会激发多次微爆.基于飞秒激光脉冲在透明介质内的自聚焦效应和自由电子等离子体的自散焦效应,理论分析了多次微爆产生的原因;也讨论了飞秒激光脉冲诱导玻璃折射率改变的机理. 展开更多
关键词 飞秒激光脉冲 多次微爆 自聚焦效应 等离子体自散焦效应
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飞秒激光脉冲作用下光学玻璃的色心和折射率变化 被引量:3
7
作者 程光华 刘青 +3 位作者 王屹山 于连君 赵卫 陈国夫 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期412-415,共4页
实验研究了近红外飞秒激光脉冲诱导重钡火石玻璃产生的色心、紫外透明和折射率变化 ,测量了样品在激光辐照前后的吸收光谱和折射率的变化 实验发现色心的产生伴随着折射率的改变 ,但色心漂白后 ,折射率的改变依然存在 ,表明色心与折射... 实验研究了近红外飞秒激光脉冲诱导重钡火石玻璃产生的色心、紫外透明和折射率变化 ,测量了样品在激光辐照前后的吸收光谱和折射率的变化 实验发现色心的产生伴随着折射率的改变 ,但色心漂白后 ,折射率的改变依然存在 ,表明色心与折射率改变的热稳定性不一致 ,意味着飞秒激光脉冲诱导玻璃折射率变化的机理与色心产生的机理不同 实验还观察到色心区域在紫外产生透明 ;色心漂白后 ,紫外透明消失的现象 。 展开更多
关键词 飞秒激光脉冲 玻璃 色心 折射率
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飞秒激光脉冲二阶干涉自相关法测量及其精细结构研究 被引量:3
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作者 彭文基 欧阳忠 +3 位作者 李伟良 丘志仁 李庆行 余振新 《量子电子学》 CSCD 1995年第1期96-100,共5页
本文用二阶相干自相关法测量飞秒激光脉冲宽度,测量过程完全由计算机控制和完成,测量精度达0.3飞秒。并分析了测量曲线的精细结构,发现其精细结构主要是由基频光相干场的振动频率所决定。
关键词 飞秒激光脉冲 二阶干涉自相关 测量 精细结构
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用频率分辨光学开关法测量飞秒激光脉冲 被引量:1
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作者 王卫京 李华军 +1 位作者 刘文军 曲士良 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z3期12-16,共5页
飞秒脉冲的测量在飞秒激光的应用中起着关键性作用。文中阐述了频率分辨光学开关法测量飞秒脉冲的原理和再现算法,构建了一台用于飞秒脉冲测量的二次谐波-频率分辨光学开关装置,利用该装置对谐振腔输出的飞秒脉冲进行了测量。利用二次谐... 飞秒脉冲的测量在飞秒激光的应用中起着关键性作用。文中阐述了频率分辨光学开关法测量飞秒脉冲的原理和再现算法,构建了一台用于飞秒脉冲测量的二次谐波-频率分辨光学开关装置,利用该装置对谐振腔输出的飞秒脉冲进行了测量。利用二次谐波-频率分辨光学开关法测量得到了描迹图信号,对信号分布进行计算机迭代处理,得到了飞秒脉冲的时间宽度及光谱宽度、电场及其位相在时域和频域的详细信息。谐振腔直接输出脉冲的时间宽度为56 fs,光谱宽度为27 nm,时间带宽积为0.686,算法中的最小误差为0.001 792。实验结果表明二次谐波-频率分辨光学开关法是一种有效的飞秒脉冲测量方法。 展开更多
关键词 飞秒激光脉冲 测量 频率分辨光学开关法 迭代计算
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光子晶体光纤中飞秒激光脉冲传输研究 被引量:3
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作者 来耀兵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1576-1579,共4页
为更精细地描绘飞秒光脉冲在光子晶体光纤中的传输和演化,用分步傅里叶方法求解广义非线性薛定谔方程(GNSE)的基础上,研究了光纤参量随脉冲峰值频移的变化.模拟了飞秒光脉冲在光子晶体光纤中传输和演化的过程.研究发现:光纤色散和强非... 为更精细地描绘飞秒光脉冲在光子晶体光纤中的传输和演化,用分步傅里叶方法求解广义非线性薛定谔方程(GNSE)的基础上,研究了光纤参量随脉冲峰值频移的变化.模拟了飞秒光脉冲在光子晶体光纤中传输和演化的过程.研究发现:光纤色散和强非线性对飞秒脉冲在光子晶体光纤中传输、演化以及超连续谱的展宽有很大影响. 展开更多
关键词 光子晶体光纤 飞秒激光脉冲 分步傅里叶方法 超连续谱
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超宽带近红外和蓝光飞秒激光脉冲产生的实验研究(英文) 被引量:3
11
作者 杨建军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1617-1622,共6页
增益介质中泵浦光束提供的软光阑效应对于实现克尔透镜稳定锁模及其超宽带光谱脉冲的产生具有非常重要的作用.实验上首先对半导体泵浦全固化钛宝石飞秒激光器的锁模动态特性进行了研究,在4 W绿光泵浦状态下获得了平均输出功率为570 mW... 增益介质中泵浦光束提供的软光阑效应对于实现克尔透镜稳定锁模及其超宽带光谱脉冲的产生具有非常重要的作用.实验上首先对半导体泵浦全固化钛宝石飞秒激光器的锁模动态特性进行了研究,在4 W绿光泵浦状态下获得了平均输出功率为570 mW、中心波长在794 nm^835 nm范围内调谐、光谱带宽最大可达135 nm的近红外光脉冲输出,其相应的时域变换极限脉冲宽度均小于10 fs.另外,将光束聚焦在超薄BBO晶体上,获得了中心波长在418 nm^429 nm之间调谐、光谱宽带时域变换极限小于15 fs的蓝光飞秒脉冲. 展开更多
关键词 克尔透镜锁模 飞秒激光脉冲 软孔增益光阑效应
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圆偏振飞秒激光脉冲与低压氙气体靶相互作用软X射线辐射实验研究
12
作者 王向贤 黄文忠 +7 位作者 谷渝秋 洪伟 蒋刚 温贤伦 何颖玲 焦春晔 王光昶 张双根 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1573-1576,共4页
利用平场光栅谱仪,分别在2和3kPa的低气压下,测量了脉宽35fs的圆偏振超强超短激光脉冲与5mm长氙气体靶相互作用产生的波长在5~60nm范围内的离子谱线。2kPa时最强的跃迁为XeⅧ:4d^105s(^2S1/2)-4d^95s5p(2P3/2)的17.0856nm线,... 利用平场光栅谱仪,分别在2和3kPa的低气压下,测量了脉宽35fs的圆偏振超强超短激光脉冲与5mm长氙气体靶相互作用产生的波长在5~60nm范围内的离子谱线。2kPa时最强的跃迁为XeⅧ:4d^105s(^2S1/2)-4d^95s5p(2P3/2)的17.0856nm线,3kPa时最强的跃迁为11.343nm的XeⅦ4d^105s^2(^1S0)-4d^95s^25f(^3P1)跃迁。两种气压下,Xe均被电离到XeⅦ,XeⅧ,XeⅨ态。 展开更多
关键词 圆偏振 飞秒激光脉冲 低气压 氙气 离子谱线
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小型飞秒激光脉冲放大器
13
作者 白晓东 周翔宇 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期34-36,共3页
在放大器谐振腔内插入一对棱镜 ,使飞秒脉冲信号边放大 ,边展宽。既防止了强光的自聚焦效应 ,又减小了整个放大器占用空间。输出光再经过另一对棱镜压缩 ,得到的脉宽小于 10 0fs,重复率 10kHz,平均功率达到0 .2W。
关键词 飞秒激光脉冲放大器 棱镜展宽 自聚焦效应 棱镜压缩
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飞秒激光脉冲在石英玻璃表面的微刻蚀
14
作者 吴朝新 蒋红兵 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期559-559,共1页
关键词 飞秒激光脉冲 石英玻璃表面 微刻蚀
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10fs以下的飞秒激光脉冲的非线性传输
15
作者 刘宏利 于光辉 杨少辰 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期29-31,共3页
给出了具有几个光振荡周期长的飞秒激光脉冲在不考虑群速色散的情况下传输方程的解。用数值方法模拟了飞秒激光脉冲的非线性传输 ,考察了非线性效应对脉冲形状和频谱的影响 ,得到和慢变振幅近似下不完全一致的结论。
关键词 飞秒激光脉冲 无色散传输 非线性效应 石英介质 非线性传输
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强飞秒激光脉冲诱导空气等离子体细丝长度的声学测量
16
作者 吴四清 熊钢 王耿 《激光杂志》 北大核心 2015年第9期37-39,共3页
利用光电离模型对强飞秒激光脉冲诱导空气等离子体成丝做了理论解释,对等离子体细丝辐射的声音信号进行了探测,根据等离子体细丝在激光传输方向上不同位置辐射声音脉冲信号的强度不同,得到了等离子体细丝的长度信息。
关键词 飞秒激光脉冲 等离子体细丝 声学测量
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基于法布里-珀罗腔产生飞秒激光脉冲串在硅表面诱导高质量亚波长周期条纹(特邀)
17
作者 许宇锋 张羽婵 +2 位作者 蒋其麟 沈辉辉 贾天卿 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期1-12,共12页
为了制备高质量表面周期结构,利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形,输出子脉冲间隔在1~300 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串,在硅表面诱导亚波长周期条纹。实验结果显示,利用飞秒激光脉冲串诱导得到的亚波长周期条纹明显优于原始高... 为了制备高质量表面周期结构,利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形,输出子脉冲间隔在1~300 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串,在硅表面诱导亚波长周期条纹。实验结果显示,利用飞秒激光脉冲串诱导得到的亚波长周期条纹明显优于原始高斯光诱导的亚波长周期条纹。利用子脉冲间隔为100 ps的脉冲串诱导的亚波长条纹最佳,条纹周期为1008 nm,结构取向角为2.8°,边缘粗糙度为3.9 nm,可达到光刻工艺的标准。 展开更多
关键词 激光加工 激光诱导表面周期结构 亚波长周期条纹 法布里-珀罗腔 飞秒激光脉冲
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实时测量飞秒激光脉冲的二次谐波相关技术研究
18
作者 王贤华 许林 《光子学报》 EI CAS CSCD 1993年第5期203-207,共5页
关键词 二次谐波 飞秒激光脉冲 干涉测量法
全文增补中
飞秒脉冲激光冲击强化中等离子体压力时空演化规律
19
作者 倪辉 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期116-124,共9页
为研究飞秒脉冲激光冲击强化中等离子体压力时空演化规律,利用考虑电子态密度(DOS)效应的模型计算了电子热容和电声耦合系数随电子温度的演化规律,并与采用QEOS(quotidian equation of state)模型计算结果进行了对比;提出DOS飞秒脉冲激... 为研究飞秒脉冲激光冲击强化中等离子体压力时空演化规律,利用考虑电子态密度(DOS)效应的模型计算了电子热容和电声耦合系数随电子温度的演化规律,并与采用QEOS(quotidian equation of state)模型计算结果进行了对比;提出DOS飞秒脉冲激光冲击强化模型,计算得到电子温度、晶格温度、等离子体羽位置时间演化规律和等离子体压力时空演化规律,并与QEOS飞秒脉冲激光冲击强化模型结果进行了对比。结果表明:DOS飞秒脉冲激光冲击强化模型计算得到的等离子体羽位置随时间的演化规律与实验结果吻合程度更好;增加激光能量或功率密度、考虑电子DOS效应会增加电子、晶格温度和等离子体压力。 展开更多
关键词 脉冲激光冲击强化 双温度方程 态密度 等离子体压力 电子热容 电声耦合系数 等离子体羽位置 电子温度 晶格温度
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飞秒激光驱动的阿秒X射线脉冲光源
20
作者 陆培祥 兰鹏飞 +2 位作者 曹伟 王新林 洪伟毅 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期123-123,共1页
超短X射线脉冲光源可以用于超快动力学过程的测量,在物理、材料、生物、医学等领域都有重要的科学意义和应用价值。目前,亚飞秒和阿秒物理学已经成为物理学中短时间尺度的前沿。对超强飞秒激光与高能电子、原子及分子相互作用产生超短... 超短X射线脉冲光源可以用于超快动力学过程的测量,在物理、材料、生物、医学等领域都有重要的科学意义和应用价值。目前,亚飞秒和阿秒物理学已经成为物理学中短时间尺度的前沿。对超强飞秒激光与高能电子、原子及分子相互作用产生超短X射线脉冲的新机制进行了研究,提出了下列产生单个阿秒脉冲的新方案:基于超强飞秒激光与高能电子相互作用的汤姆逊散射,产生单个阿秒甚至亚阿秒的超短脉冲,采用紧聚焦的激光束可以改善获得单色性非常好的X射线光源;采用高强度多光周期的飞秒激光作用于原子实现单阿秒脉冲输出;利用飞秒激光与不对称分子相互作用,产生奇偶并存的高次谐波,并可以采用多光周期飞秒激光脉冲实现单阿秒脉冲输出; 展开更多
关键词 飞秒激光脉冲 物理学 X射线脉冲 脉冲光源 激光驱动 分子相互作用 电子相互作用 超短脉冲
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