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飞秒激光过饱和掺杂硅材料的研究及发展
被引量：
5
1
作者
贾子熙
黄松
+5 位作者
进晓荣
杨明
陈战东
姚江宏
吴强
许京军
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期1146-1159,共14页
飞秒激光利用其超快的作用时间、超强的峰值功率的特性,可以与半导体材料表面发生瞬态光化学反应,从而对材料进行有效的掺杂,且可以实现超过材料固溶度极限的过饱和掺杂,同时能在材料表面形成准周期的微纳结构。导致半导体表面性质发生...
飞秒激光利用其超快的作用时间、超强的峰值功率的特性,可以与半导体材料表面发生瞬态光化学反应,从而对材料进行有效的掺杂,且可以实现超过材料固溶度极限的过饱和掺杂,同时能在材料表面形成准周期的微纳结构。导致半导体表面性质发生改变,产生超宽光谱高吸收的特性,从而突破传统物理限制,并由此产生了一系列全新的应用。本文总结了飞秒激光与硅相互作用的基本理论和几种物理模型,介绍了其在相关领域的应用,并对飞秒激光过饱和掺杂及改性硅的发展前景作出展望。
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关键词
过饱和
掺杂
飞秒激光掺杂
飞
秒
激光
加工
硅
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职称材料
题名
飞秒激光过饱和掺杂硅材料的研究及发展
被引量：
5
1
作者
贾子熙
黄松
进晓荣
杨明
陈战东
姚江宏
吴强
许京军
机构
南开大学弱光非线性光子学教育部重点实验室物理科学学院&泰达应用物理研究院
广西民族大学理学院
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期1146-1159,共14页
基金
国家自然科学基金(11574158&61378018)
高等学校学科创新引智计划(B07013)
长江学者和创新团队发展计划(IRT_13R29)
文摘
飞秒激光利用其超快的作用时间、超强的峰值功率的特性,可以与半导体材料表面发生瞬态光化学反应,从而对材料进行有效的掺杂,且可以实现超过材料固溶度极限的过饱和掺杂,同时能在材料表面形成准周期的微纳结构。导致半导体表面性质发生改变,产生超宽光谱高吸收的特性,从而突破传统物理限制,并由此产生了一系列全新的应用。本文总结了飞秒激光与硅相互作用的基本理论和几种物理模型,介绍了其在相关领域的应用,并对飞秒激光过饱和掺杂及改性硅的发展前景作出展望。
关键词
过饱和
掺杂
飞秒激光掺杂
飞
秒
激光
加工
硅
Keywords
hyperdoping
femtosecond laser doping
femtosecond laser processing
silicon
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
飞秒激光过饱和掺杂硅材料的研究及发展
贾子熙
黄松
进晓荣
杨明
陈战东
姚江宏
吴强
许京军
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2017
5
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