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题名微透镜阵列的飞秒激光加工方法
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作者
刘伟
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机构
陕西国防工业职业技术学院
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出处
《精密成形工程》
2016年第2期90-93,共4页
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基金
陕西国防工业职业技术学院科研项目(Gfy15-09)
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文摘
为研究常用的微透镜制造方法,通过熔融光刻胶法、反应离子束刻蚀技术、微喷打印法、飞秒激光加工法、热压印法等的对比,表明采用飞秒激光加工以及局部腐蚀的方法,能够加工各种形状的微透镜阵列,而且加工时间短,制造成本低,微透镜最小特征尺寸可以达到30μm以内。将飞秒激光加工的微透镜阵列作为模板,运用热压印技术进行复制,不仅能够获得质量良好的微透镜阵列,还能够批量化生产,减小制造成本。
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关键词
熔融光刻胶法
反应离子束刻蚀技术
微喷打印法
飞秒激光加工法
热压印法
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Keywords
melting photoresist
reactive ion etching technology
micro spray print method
femtosecond laser processing method
hot pressing method
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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