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飞秒激光微孔加工发展综述
被引量:
11
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作者
马国庆
肖强
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期651-657,共7页
随着飞秒激光器的成熟,飞秒激光的应用越来越广泛。由于飞秒激光独特的属性,在微孔加工中具有明显的优势。本文介绍了飞秒激光与材料之间的相互作用机理、飞秒激光打孔的理论研究发展、打孔方式的研究以及各种飞秒激光加工参数的探索。...
随着飞秒激光器的成熟,飞秒激光的应用越来越广泛。由于飞秒激光独特的属性,在微孔加工中具有明显的优势。本文介绍了飞秒激光与材料之间的相互作用机理、飞秒激光打孔的理论研究发展、打孔方式的研究以及各种飞秒激光加工参数的探索。总结了目前发展遇到的问题,未来的发展趋势并提出自己的观点。
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关键词
飞
秒
激光
微孔
加工
飞秒激光加工参数
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职称材料
题名
飞秒激光微孔加工发展综述
被引量:
11
1
作者
马国庆
肖强
机构
西安工业大学机电工程学院
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期651-657,共7页
基金
陕西省特种加工重点实验室开放基金项目(No.SXTZKFJJ201902)
西安市未央区科技计划—产学研协同创新计划项目(No.201912)资助。
文摘
随着飞秒激光器的成熟,飞秒激光的应用越来越广泛。由于飞秒激光独特的属性,在微孔加工中具有明显的优势。本文介绍了飞秒激光与材料之间的相互作用机理、飞秒激光打孔的理论研究发展、打孔方式的研究以及各种飞秒激光加工参数的探索。总结了目前发展遇到的问题,未来的发展趋势并提出自己的观点。
关键词
飞
秒
激光
微孔
加工
飞秒激光加工参数
Keywords
femtosecond laser
micropore processing
femtosecond laser processing parameters
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
飞秒激光微孔加工发展综述
马国庆
肖强
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2020
11
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