飞秒激光加工光子晶体光纤微型F-P传感器研究 被引量：11

1

作者 饶云江 段德稳 +4 位作者 杨晓辰 邓明 朱涛 程光华 李明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期91-93,共3页

利用飞秒激光脉冲在光子晶体光纤上熔切出微小矩形孔从而构成光纤法珀干涉腔,并对这种传感器进行了实验测试,在0～1500με的应变范围内,干涉条纹波长相对于应变的灵敏度为0.0036nm/με,线性度达0.9989.在-20℃～100℃其温度系数为0.95... 利用飞秒激光脉冲在光子晶体光纤上熔切出微小矩形孔从而构成光纤法珀干涉腔,并对这种传感器进行了实验测试,在0～1500με的应变范围内,干涉条纹波长相对于应变的灵敏度为0.0036nm/με,线性度达0.9989.在-20℃～100℃其温度系数为0.958nm/℃.利用飞秒激光在光纤上加工F-P腔方法简单,能够实现光纤F-P腔的规模化批量制造. 展开更多

关键词 飞秒激光加工 光纤应变传感器 非本征型光纤F—P传感器 光子晶体光纤

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融石英表面高质量亚波长光栅结构的飞秒激光加工 被引量：4

2

作者 刘洋 朱香平 +2 位作者 靳川 张笑墨 赵卫 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期57-66,共10页

采用钛蓝宝石飞秒激光加工系统在融石英表面诱导表面周期性微纳结构,研究了激光诱导表面周期结构的形成过程以及激光能量密度、脉冲数、光斑大小和脉冲的空间间隔对融石英表面激光诱导表面周期结构的形貌的影响。实验结果表明,飞秒激光... 采用钛蓝宝石飞秒激光加工系统在融石英表面诱导表面周期性微纳结构,研究了激光诱导表面周期结构的形成过程以及激光能量密度、脉冲数、光斑大小和脉冲的空间间隔对融石英表面激光诱导表面周期结构的形貌的影响。实验结果表明,飞秒激光在融石英表面可以诱导出周期性的亚波长结构,主要以垂直于激光偏振方向的光栅状结构为主,其周期在百纳米量级且具有更好的可复现性。在激光光斑控制在1μm附近时,所得到的形貌具有较高的规则性。根据实验结果设计了聚焦高斯光斑低通量的加工方式。所制备的光栅结构具有200~300 nm的周期,平均深度约为300 nm。 展开更多

关键词 飞秒激光加工 表面形貌 亚波长结构 融石英 周期性结构

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复杂螺旋面飞秒激光加工精度检测系统设计

3

作者 李红 王大镇 +1 位作者 叶衔真 沈志煌 《激光杂志》 北大核心 2019年第12期27-30,共4页

为了实现复杂螺旋面飞秒激光加工精度的快速检测,设计了一种复杂螺旋面飞秒激光加工精度检测系统。系统的硬件部分由位移模块(三坐标测量机)、旋转模块(数控转台)、检测模块(激光位移传感器)、控制模块以及评价模块等组成,通过各个模块... 为了实现复杂螺旋面飞秒激光加工精度的快速检测,设计了一种复杂螺旋面飞秒激光加工精度检测系统。系统的硬件部分由位移模块(三坐标测量机)、旋转模块(数控转台)、检测模块(激光位移传感器)、控制模块以及评价模块等组成,通过各个模块完成数据的采集以及处理等。为了提升系统的稳定性以及检测精度,系统软件部分采用平均滤波与中值滤波方法两者相结合的方法来降低噪声对系统的干扰。在上述基础上使用基于除法器扩展的并行计算方式,实现坐标位置的扩用,再通过两步除法器运算,提取较高的检测精度。针对所设计系统进行了仿真实验测试,实验结果表明所设计检测系统稳定性较强,运行效率较高。 展开更多

关键词 复杂螺旋面 飞秒激光加工 精度 检测系统

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微透镜阵列的飞秒激光加工方法

4

作者 刘伟 《精密成形工程》 2016年第2期90-93,共4页

为研究常用的微透镜制造方法,通过熔融光刻胶法、反应离子束刻蚀技术、微喷打印法、飞秒激光加工法、热压印法等的对比,表明采用飞秒激光加工以及局部腐蚀的方法,能够加工各种形状的微透镜阵列,而且加工时间短,制造成本低,微透镜最小特... 为研究常用的微透镜制造方法,通过熔融光刻胶法、反应离子束刻蚀技术、微喷打印法、飞秒激光加工法、热压印法等的对比,表明采用飞秒激光加工以及局部腐蚀的方法,能够加工各种形状的微透镜阵列,而且加工时间短,制造成本低,微透镜最小特征尺寸可以达到30μm以内。将飞秒激光加工的微透镜阵列作为模板,运用热压印技术进行复制,不仅能够获得质量良好的微透镜阵列,还能够批量化生产,减小制造成本。 展开更多

关键词 熔融光刻胶法 反应离子束刻蚀技术 微喷打印法 飞秒激光加工法 热压印法

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微细流路模压成形用碳化钨模具飞秒激光加工工艺研究 被引量：3

5

作者 张慧洁 尹韶辉 +4 位作者 贾红鹏 黄帅 刘璇 李建相 陈逢军 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期93-99,共7页

目的解决微细流路芯片中微细流路制备时,传统加工工艺存在的效率低下等问题。方法采用飞秒激光加工碳化钨模具,进行工艺研究。对扫描功率、扫描速度、扫描层数等参数进行田口正交实验,研究其变化对加工表面质量及尺寸精度的影响。使用... 目的解决微细流路芯片中微细流路制备时,传统加工工艺存在的效率低下等问题。方法采用飞秒激光加工碳化钨模具,进行工艺研究。对扫描功率、扫描速度、扫描层数等参数进行田口正交实验,研究其变化对加工表面质量及尺寸精度的影响。使用白光干涉仪测量了加工后表面的粗糙度,使用超景深三维显微系统测量了加工深度,并通过对结果的综合优化得出了最优工艺参数。结果在所选的25组工艺参数中,各参数的变化对表面粗糙度值影响不大,对材料加工深度影响最大的因素为扫描速度,影响最小的为激光功率。经过综合优化,最佳工艺参数组合为:扫描功率20 W,扫描速度200 mm/s,扫描层数25。结论随着飞秒激光功率的增大、扫描速度的减小和扫描层数的增加,加工深度都有显著增加。以最优加工参数加工而得的模具微凸起的上表面宽度为152μm,边缘整齐,通道深度为42.41μm,横压成形玻璃表面粗糙度值为0.164μm。研究结果为飞秒激光加工碳化钨微细流路提供了一定的参考。 展开更多

关键词 飞秒激光加工 微细流路 模压成形 模具 超硬材料 表面质量

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飞秒激光加工金属材料的相变研究进展 被引量：2

6

作者 陈前军 宋成伟 +3 位作者 张海军 黄滟荻 李国 杜凯 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2022年第7期947-955,共9页

飞秒激光加工金属的材料相变机理是目前的研究热点问题之一。为了对目前材料相变机制研究进展有一个综合性的认识,调研了近些年来国内外关于飞秒激光与金属相互作用机理的研究工作。通过对比各研究团队的研究角度、方法手段、结论成果,... 飞秒激光加工金属的材料相变机理是目前的研究热点问题之一。为了对目前材料相变机制研究进展有一个综合性的认识,调研了近些年来国内外关于飞秒激光与金属相互作用机理的研究工作。通过对比各研究团队的研究角度、方法手段、结论成果,总结出目前与金属相变相关的机械和热机械蚀除机制、液相爆炸模型以及气化蒸发模型等几种理论模型,总结了分子动力学仿真和流体力学仿真等数值模拟方法。发现各理论和模型都只是在某些特定条件下能对材料相变机理进行研究和阐释,还缺少能够实现跨尺度(时间和空间维度)、高效率研究的理论模型,同时也对未来的研究趋势作了一定的展望。 展开更多

关键词 飞秒激光加工 金属相变 理论模型 数值模拟

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多元等离子体共振纳米结构的飞秒激光加工与拉曼检测应用 被引量：1

7

作者 冯艳硕 梁密生 +3 位作者 卞晓蒙 任光辉 边洪录 祝连庆 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第4期115-123,共9页

以多元金属纳米薄膜(金、银)为基底,利用飞秒激光加工技术制备得到多元等离子体纳米结构,并研究了其局域表面等离子体共振效应(Local Surface Plasmon Resonance,LSPR)和表面增强拉曼散射(Surface Enhanced Raman Scattering,SERS)性能... 以多元金属纳米薄膜(金、银)为基底,利用飞秒激光加工技术制备得到多元等离子体纳米结构,并研究了其局域表面等离子体共振效应(Local Surface Plasmon Resonance,LSPR)和表面增强拉曼散射(Surface Enhanced Raman Scattering,SERS)性能。利用时域有限差分(Finite Difference Time Domain,FDTD)软件模拟了不同情况下(单层金膜、金银双层金属薄膜的平面以及阵列结构)的电场分布情况。根据仿真结果,相较于平面金属膜来说,飞秒激光制备的微纳结构阵列附近区域产生电磁场增强,集中在结构边缘处,且其强度变化与预期结果基本保持一致。此外,使用浓度为10-4 M和10-6 M的罗丹明(R6G)溶液进行SERS性能测试。测试的结果表明,单层平面金膜基本没有SERS峰值信号出现,而单层金膜上制备的等离子体纳米结构附近出现峰值信号,双层金属薄膜上制备的等离子体纳米结构展现出更高的SERS峰值信号。多元金属等离子体纳米结构展示出更强的局域表面等离子体共振效应,从而在表面增强拉曼散射、光催化、生物传感等领域具有广泛的应用。 展开更多

关键词 飞秒激光加工 多元等离子体纳米结构 局域表面等离子体共振 表面增强拉曼散射

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飞秒激光加工快速测高随动方法研究 被引量：1

8

作者 盛渤轩 侯煜 +3 位作者 张帆 张昆鹏 张喆 张紫辰 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期641-645,共5页

针对红外焦平面探测器在新型飞秒激光加工方式上的焦点精确控制需求,建立一套合理高效的飞秒激光快速响应测高随动控制系统,在保证飞秒激光稳定测高、精准控制的基础之上,对其中两个关键点进行深入研究。利用测高仪测量与中值滤波法对... 针对红外焦平面探测器在新型飞秒激光加工方式上的焦点精确控制需求,建立一套合理高效的飞秒激光快速响应测高随动控制系统,在保证飞秒激光稳定测高、精准控制的基础之上,对其中两个关键点进行深入研究。利用测高仪测量与中值滤波法对测量数据进行优化拟合,降低了曲线失真的程度;通过控制器位置触发方式与PI控制算法优化了压电陶瓷(PZT)的随动精度。实验结果表明,此系统能够获得良好的效果:针对不同尺寸晶圆,可以获得当以800 mm/s速度加工时,整体随动方差为0.6μm,最大误差为1.1μm;当以速度1000 mm/s加工时,整体随动方差为0.9μm,最大误差为1.4μm。本方法可以极大地提高飞秒激光高速加工时的焦点控制精度,从而保证红外焦平面探测器划片边缘质量,增加产品良率,降低成本。 展开更多

关键词 外焦平面探测器划片 飞秒激光加工 测高随动控制

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飞秒激光加工对熔覆层侧壁粗糙度的影响 被引量：10

9

作者 李睿 杨小君 +5 位作者 赵卫 贺斌 李明 赵华龙 朱文宇 王宁 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第11期3244-3249,共6页

针对熔覆成型件表面粗糙的难题,提出了在成形过程中对熔覆层侧壁进行飞秒激光精密加工的方法,重点研究了精密加工过程中飞秒激光的能量密度、能量分布、光斑重叠率对熔覆层侧壁粗糙度的影响规律,结果表明:当焦平面处飞秒激光的能量为高... 针对熔覆成型件表面粗糙的难题,提出了在成形过程中对熔覆层侧壁进行飞秒激光精密加工的方法,重点研究了精密加工过程中飞秒激光的能量密度、能量分布、光斑重叠率对熔覆层侧壁粗糙度的影响规律,结果表明:当焦平面处飞秒激光的能量为高斯分布,加工得到的熔覆层侧壁表面粗糙度Ra<3μm时,激光能量密度介于0.12~0.34 J/cm^2之间;当能量为平顶分布并且加工后熔覆层侧壁表面粗糙度Ra<3μm时,最佳能量密度范围为0.13~0.66 J/cm^2;同等参数条件下,平顶能量分布激光加工得到覆层侧壁粗糙度小于能量高斯分布时的粗糙度数值。熔覆层侧壁粗糙度随光斑重叠率的增加先减小后增大,实验获得的最佳重叠率范围为78%~85%。 展开更多

关键词 飞秒激光微加工 激光熔覆成型 熔覆层 粗糙度

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长焦深连续立方相位板的飞秒激光加工与性能测试 被引量：7

10

作者 李鹏举 潘登 刘顺利 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第17期2088-2093,共6页

传统的长焦深光束生成器件,诸如空间光调制器和正负透镜组合,存在光学元件尺寸较大、难以与微纳光学系统集成等问题,发展一种长焦深光束生成方法并制备一种结构简单、尺寸紧凑且成像质量良好的长焦深光束器件尤为重要。提出了一种利用... 传统的长焦深光束生成器件,诸如空间光调制器和正负透镜组合,存在光学元件尺寸较大、难以与微纳光学系统集成等问题,发展一种长焦深光束生成方法并制备一种结构简单、尺寸紧凑且成像质量良好的长焦深光束器件尤为重要。提出了一种利用连续立方相位板调制来产生长焦深光束的方法,通过飞秒激光直写技术制备了高尺寸精度(直径为108μm,高1.1μm)的相位板,实现了可调控的焦距长度(50~150μm)和焦深(100~600μm),并且对相位板进行光学测试,展示了其长聚焦能力和成像能力。该器件可用于高性能集成光学系统、微纳光学制造等领域。 展开更多

关键词 飞秒激光加工 长焦深光束 相位板 光学仿真 光学测试

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飞秒激光加工微悬臂梁薄膜光纤声波传感器 被引量：1

11

作者 郑怡雯 陈永璋 +4 位作者 唐前浩 朱一新 于永芹 杜晨林 阮双琛 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期209-219,共11页

设计并制作了一种光纤微悬臂梁传感器,由于悬臂梁在受迫振动过程中不会产生拉伸变形,与四周固定的圆形密闭薄膜相比,会产生更高的声波灵敏度。采用飞秒激光加工制作微悬臂梁薄膜光纤声波传感器,制备出长宽均为500μm,厚6μm的微悬臂梁... 设计并制作了一种光纤微悬臂梁传感器,由于悬臂梁在受迫振动过程中不会产生拉伸变形,与四周固定的圆形密闭薄膜相比,会产生更高的声波灵敏度。采用飞秒激光加工制作微悬臂梁薄膜光纤声波传感器,制备出长宽均为500μm,厚6μm的微悬臂梁结构。通过实验得到其反射光谱对比度为8.8 dB,自由光谱范围为7.72 nm,理论计算得光纤法布里-珀罗腔长为155.6μm。研究结果表明,该光纤声波传感器在2200 Hz处出现明显的共振峰,对应的声压灵敏度为414 mV/Pa,在300 Hz时有最大的灵敏度675 mV/Pa,与普通硅橡胶薄膜声波传感器相比灵敏度显著提高。理论计算硅橡胶微悬臂梁光纤声波传感器的一阶共振频率为198 Hz,与实验测得的共振频率较为接近。同时悬臂梁传感器的声压灵敏度可达675 mV/Pa,声压响应线性度为0.994。 展开更多

关键词 光纤声波传感器 微悬臂梁 飞秒激光微加工 声压灵敏度 法布里-珀罗干涉仪

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GH4169镍基高温合金的飞秒激光制孔性能研究

12

作者 陈泰黎 牛凡 +6 位作者 徐良辉 陈新悦 侯枭伟 孙奖 司艳 方修洋 蔡振兵 《材料导报》 北大核心 2025年第9期164-170,共7页

为了提升飞秒激光加工镍基高温合金材料的制孔质量,优化制孔激光加工参数,进行了制孔试验。采用飞秒激光加工试验平台,在不同的加工工艺参数(单层进给量、激光功率)下,设置不同的参数水平,对厚度为1 mm的镍基高温合金板进行小孔加工,同... 为了提升飞秒激光加工镍基高温合金材料的制孔质量,优化制孔激光加工参数,进行了制孔试验。采用飞秒激光加工试验平台,在不同的加工工艺参数(单层进给量、激光功率)下,设置不同的参数水平,对厚度为1 mm的镍基高温合金板进行小孔加工,同时对采用电火花工艺与飞秒激光加工的小孔截面形貌进行对比。结果发现,采用的激光加工功率和单层进给量增大时,加工穿透层数随之减小。入口孔径和出口孔径的尺寸都随着激光功率的增大而增大,随着单层进给量的增大而减小,孔锥度随着激光功率和单层进给量的增加先减小后增大,在单层进给量为15μm时,小孔整体锥度较小,最小锥度达2.3°。孔出口区域的粗糙度普遍大于入口处的粗糙度,且出口区域会形成周期性柱状结构。电火花小孔加工的小孔内壁产生了严重的重铸层和不规则的微裂纹等内部缺陷,而飞秒激光加工的内壁未见重熔层、晶间腐蚀、以及热影响区和裂纹等缺陷,形成了纳米条纹结构的内壁形貌,加工质量较好。在固定光斑形状和波长等参数条件下,激光功率为14 W、单层进给量为15μm时,可获得1 mm厚镍基高温合金板的最优制孔质量。 展开更多

关键词 镍基高温合金 飞秒激光加工 电火花加工 气膜孔 表面质量 激光打孔

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飞秒激光抛光金属钛表面研究

13

作者 杨肖康 李朋 +2 位作者 王自 王明伟 刘洪亮 《光电工程》 北大核心 2025年第6期63-71,共9页

使用波长为515 nm的飞秒激光对金属钛表面实施抛光操作,深入剖析在不同激光参数条件下加工区域表面形貌的形成机制。通过改变激光焦点位置抑制驼峰状结构的产生,加工质量得到明显改善,给出抛光金属钛最佳激光参数窗口。实验发现,激光焦... 使用波长为515 nm的飞秒激光对金属钛表面实施抛光操作,深入剖析在不同激光参数条件下加工区域表面形貌的形成机制。通过改变激光焦点位置抑制驼峰状结构的产生,加工质量得到明显改善,给出抛光金属钛最佳激光参数窗口。实验发现,激光焦点处于样品表面时,随着加工层数的递增,驼峰状结构尺寸不断增大,并由样品划痕处逐步蔓延至整个加工区域。当能量密度达25.88 J/cm2时,正离焦量在0至2.5 mm范围内逐渐增大,驼峰状结构随之逐渐减小直至完全消失,抛光深度从38.94μm提升至108.02μm;当离焦量为2.5 mm时,表面粗糙度从原始的1.496μm降低至0.314μm。 展开更多

关键词 飞秒激光加工 金属钛 抛光 表面粗糙度

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晶体温度对飞秒激光诱导铁电畴反转过程的影响研究

14

作者 徐天翔 王森 +3 位作者 林锦阳 赵如薇 徐铁峰 盛艳 《红外与毫米波学报》 北大核心 2025年第1期97-102,共6页

近红外飞秒激光诱导铁电畴反转技术是三维非线性光子晶体制备领域的重要手段,基于其制备的样品已在光学频率变换和非线性波前整形领域取得了一系列重要研究成果。目前,已报道的激光诱导铁电畴反转过程均在常温下进行,然而铁电体在升温... 近红外飞秒激光诱导铁电畴反转技术是三维非线性光子晶体制备领域的重要手段,基于其制备的样品已在光学频率变换和非线性波前整形领域取得了一系列重要研究成果。目前,已报道的激光诱导铁电畴反转过程均在常温下进行,然而铁电体在升温时会逐步趋近居里点,其矫顽场等与铁电畴反转特性相关的物理性质均会随温度升高而发生改变,但目前关于温度对飞秒激光诱导铁电畴反转过程的影响规律尚不明确。本文选取居里温度约70~80℃的铌酸锶钡铁电晶体作为加工基质,在温度25~65℃下利用近红外飞秒激光诱导了反转铁电畴结构,通过观测结构的二次谐波光场分布推测铁电畴反转情况,获得了不同温度下畴反转所需的激光阈值功率,并对影响规律的产生原因进行了推测。 展开更多

关键词 飞秒激光加工 铁电畴反转 非线性光子晶体 准相位匹配

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飞秒激光微细加工中光耦合器参数的数值模拟 被引量：6

15

作者 倪晓昌 王清月 胡明列 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期161-164,共4页

用有限差分迭代求解光束传输方程,对 1×2(Y型 )耦合器和 2×2(X型 )耦合器分路的夹角大小对分路中光束分配比例的影响进行了模拟研究 模拟结果显示:耦合器夹角控制在一定的范围内,对分路中光束能量分配影响不大; 2×2耦... 用有限差分迭代求解光束传输方程,对 1×2(Y型 )耦合器和 2×2(X型 )耦合器分路的夹角大小对分路中光束分配比例的影响进行了模拟研究 模拟结果显示:耦合器夹角控制在一定的范围内,对分路中光束能量分配影响不大; 2×2耦合器对分路夹角以及波导宽度的变化敏感 为飞秒激光加工光纤无源器件的可行性做了理论上的分析. 展开更多

关键词 飞秒激光加工 光纤通信 光束耦合器 光束传输法

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飞秒激光微孔加工发展综述 被引量：11

16

作者 马国庆 肖强 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期651-657,共7页

随着飞秒激光器的成熟,飞秒激光的应用越来越广泛。由于飞秒激光独特的属性,在微孔加工中具有明显的优势。本文介绍了飞秒激光与材料之间的相互作用机理、飞秒激光打孔的理论研究发展、打孔方式的研究以及各种飞秒激光加工参数的探索。... 随着飞秒激光器的成熟,飞秒激光的应用越来越广泛。由于飞秒激光独特的属性,在微孔加工中具有明显的优势。本文介绍了飞秒激光与材料之间的相互作用机理、飞秒激光打孔的理论研究发展、打孔方式的研究以及各种飞秒激光加工参数的探索。总结了目前发展遇到的问题,未来的发展趋势并提出自己的观点。 展开更多

关键词 飞秒激光 微孔加工 飞秒激光加工参数

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飞秒激光微细加工系统装备的设计与开发 被引量：2

17

作者 钱振华 王荣扬 何彦虎 《制造技术与机床》 北大核心 2015年第9期62-65,共4页

开发了一个能实现复杂三维型体加工的四轴三联动数控飞秒激光微细加工系统。介绍了该飞秒激光微细加工系统的硬件、软件组成,详尽阐述了整个系统的构建过程、工作机理及关键技术。当前该系统主要用于聚合复合材料的加工。

关键词 飞秒激光微细加工 计算机数控系统 运动控制 控制软件

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高重频飞秒激光诱导磁性镍薄膜产生LIPSS的研究

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作者 季羽飞 王红蕊 +3 位作者 常虹 刘博文 庞冬青 胡明列 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第7期101-108,共8页

飞秒激光诱导周期性表面结构(Laser-Induced Periodic Surface Structures,LIPSS)是使用线偏振激光作用于材料时最常见的一种表面形貌,一直被研究人员广泛关注,但是在磁性薄膜上诱导产生LIPSS的研究仍相对较少,因此研究高重频飞秒激光... 飞秒激光诱导周期性表面结构(Laser-Induced Periodic Surface Structures,LIPSS)是使用线偏振激光作用于材料时最常见的一种表面形貌,一直被研究人员广泛关注,但是在磁性薄膜上诱导产生LIPSS的研究仍相对较少,因此研究高重频飞秒激光作用于磁性薄膜材料后材料磁学性质的变化是十分必要的。实验使用中心波长1030 nm、脉冲宽度300 fs、重复频率100 kHz的飞秒激光在厚度为100 nm的镍薄膜上进行线扫描,诱导产生了LIPSS。光学显微镜和电子显微镜图像显示,在高重频飞秒激光的热效应影响下,LIPSS条纹的周期测量值约为989 nm。通过X射线衍射仪和超导量子干涉仪对写有周期性LIPSS结构的样品进行测试并分析,证明了产生LIPSS过程中导致的材料原子重组并没有改变镍膜的颗粒大小和组成成分,飞秒激光作用后的磁性材料的饱和磁化强度也基本与原样保持一致,但其矫顽力发生了明显的变化,笔者认为这是由于加工过程中喷溅出的极少量反铁磁氧化镍颗粒产生的钉扎效应所导致的。 展开更多

关键词 飞秒激光精密加工 激光诱导周期性表面结构 高重频飞秒激光 磁性材料 饱和磁化强度

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飞秒激光直写铌酸锂晶体半包层光波导

19

作者 段雨濛 贾曰辰 吕金蔓 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期458-464,共7页

本文采用飞秒激光微纳加工技术在铌酸锂(LiNbO_(3))晶体中成功制备了直径为30、40和50μm的半包层波导,并通过端面耦合技术对其导波性能进行测试,得出半包层波导在633、1550 nm波长下具有优良的传输性能,且仅支持TM偏振方向传输,具有单... 本文采用飞秒激光微纳加工技术在铌酸锂(LiNbO_(3))晶体中成功制备了直径为30、40和50μm的半包层波导,并通过端面耦合技术对其导波性能进行测试,得出半包层波导在633、1550 nm波长下具有优良的传输性能,且仅支持TM偏振方向传输,具有单偏振性;通过计算波导的传输损耗,得出了30μm直径的波导在633及1550 nm波长下传输性能最佳。并且通过Rsoft软件理论计算,证明了实验结果的合理性。本研究结果为光波导设计和性能优化提供了重要的参考,具有一定的实验和理论价值。 展开更多

关键词 飞秒激光微纳加工 光波导 铌酸锂晶体 半包层波导 1550 nm波导 单偏振态

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飞秒激光过饱和掺杂硅材料的研究及发展 被引量：5

20

作者 贾子熙 黄松 +5 位作者 进晓荣 杨明 陈战东 姚江宏 吴强 许京军 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2017年第12期1146-1159,共14页

飞秒激光利用其超快的作用时间、超强的峰值功率的特性,可以与半导体材料表面发生瞬态光化学反应,从而对材料进行有效的掺杂,且可以实现超过材料固溶度极限的过饱和掺杂,同时能在材料表面形成准周期的微纳结构。导致半导体表面性质发生... 飞秒激光利用其超快的作用时间、超强的峰值功率的特性,可以与半导体材料表面发生瞬态光化学反应,从而对材料进行有效的掺杂,且可以实现超过材料固溶度极限的过饱和掺杂,同时能在材料表面形成准周期的微纳结构。导致半导体表面性质发生改变,产生超宽光谱高吸收的特性,从而突破传统物理限制,并由此产生了一系列全新的应用。本文总结了飞秒激光与硅相互作用的基本理论和几种物理模型,介绍了其在相关领域的应用,并对飞秒激光过饱和掺杂及改性硅的发展前景作出展望。 展开更多

关键词 过饱和掺杂 飞秒激光掺杂 飞秒激光加工 硅

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