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飞秒激光加工微悬臂梁薄膜光纤声波传感器 被引量:1
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作者 郑怡雯 陈永璋 +4 位作者 唐前浩 朱一新 于永芹 杜晨林 阮双琛 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期209-219,共11页
设计并制作了一种光纤微悬臂梁传感器,由于悬臂梁在受迫振动过程中不会产生拉伸变形,与四周固定的圆形密闭薄膜相比,会产生更高的声波灵敏度。采用飞秒激光加工制作微悬臂梁薄膜光纤声波传感器,制备出长宽均为500μm,厚6μm的微悬臂梁... 设计并制作了一种光纤微悬臂梁传感器,由于悬臂梁在受迫振动过程中不会产生拉伸变形,与四周固定的圆形密闭薄膜相比,会产生更高的声波灵敏度。采用飞秒激光加工制作微悬臂梁薄膜光纤声波传感器,制备出长宽均为500μm,厚6μm的微悬臂梁结构。通过实验得到其反射光谱对比度为8.8 dB,自由光谱范围为7.72 nm,理论计算得光纤法布里-珀罗腔长为155.6μm。研究结果表明,该光纤声波传感器在2200 Hz处出现明显的共振峰,对应的声压灵敏度为414 mV/Pa,在300 Hz时有最大的灵敏度675 mV/Pa,与普通硅橡胶薄膜声波传感器相比灵敏度显著提高。理论计算硅橡胶微悬臂梁光纤声波传感器的一阶共振频率为198 Hz,与实验测得的共振频率较为接近。同时悬臂梁传感器的声压灵敏度可达675 mV/Pa,声压响应线性度为0.994。 展开更多
关键词 光纤声波传感器 悬臂梁 激光加工 声压灵敏度 法布里-珀罗干涉仪
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飞秒激光加工对熔覆层侧壁粗糙度的影响 被引量:10
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作者 李睿 杨小君 +5 位作者 赵卫 贺斌 李明 赵华龙 朱文宇 王宁 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第11期3244-3249,共6页
针对熔覆成型件表面粗糙的难题,提出了在成形过程中对熔覆层侧壁进行飞秒激光精密加工的方法,重点研究了精密加工过程中飞秒激光的能量密度、能量分布、光斑重叠率对熔覆层侧壁粗糙度的影响规律,结果表明:当焦平面处飞秒激光的能量为高... 针对熔覆成型件表面粗糙的难题,提出了在成形过程中对熔覆层侧壁进行飞秒激光精密加工的方法,重点研究了精密加工过程中飞秒激光的能量密度、能量分布、光斑重叠率对熔覆层侧壁粗糙度的影响规律,结果表明:当焦平面处飞秒激光的能量为高斯分布,加工得到的熔覆层侧壁表面粗糙度Ra<3μm时,激光能量密度介于0.12~0.34 J/cm^2之间;当能量为平顶分布并且加工后熔覆层侧壁表面粗糙度Ra<3μm时,最佳能量密度范围为0.13~0.66 J/cm^2;同等参数条件下,平顶能量分布激光加工得到覆层侧壁粗糙度小于能量高斯分布时的粗糙度数值。熔覆层侧壁粗糙度随光斑重叠率的增加先减小后增大,实验获得的最佳重叠率范围为78%~85%。 展开更多
关键词 激光加工 激光熔覆成型 熔覆层 粗糙度
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金刚石表面飞秒激光直写微米石墨线 被引量:3
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作者 徐世珍 宋文亮 祖小涛 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2016年第4期52-54,共3页
利用120 fs、800 nm钛蓝宝石飞秒激光器微纳加工系统,在化学气相沉积金刚石薄片表面进行了石墨化的研究,得到了导电性良好的微米尺度的石墨线。利用Raman光谱研究了激光的功率、激光扫描速度等对石墨化程度的影响规律。结果表明,在飞秒... 利用120 fs、800 nm钛蓝宝石飞秒激光器微纳加工系统,在化学气相沉积金刚石薄片表面进行了石墨化的研究,得到了导电性良好的微米尺度的石墨线。利用Raman光谱研究了激光的功率、激光扫描速度等对石墨化程度的影响规律。结果表明,在飞秒激光直写区域有纳米晶石墨、无定型碳及残留金刚石存在。优化辐照激光能量和激光扫描速度参数,可以得到较好的纳米晶石墨线结构。以10μm/s扫描速度,1.14μJ激光能量刻写出了毫米级长度的石墨线。利用半导体电阻测试仪对其伏安特性进行了测试,测得1 mm长石墨线的电阻约67.2 kΩ。该研究对基于金刚石的生物传感器、放射量测定计,及器件内掩埋石墨电极等制备都有一定的指导意义。 展开更多
关键词 激光加工 金刚石 石墨线 拉曼光谱
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飞秒激光直写铌酸锂晶体半包层光波导
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作者 段雨濛 贾曰辰 吕金蔓 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期458-464,共7页
本文采用飞秒激光微纳加工技术在铌酸锂(LiNbO_(3))晶体中成功制备了直径为30、40和50μm的半包层波导,并通过端面耦合技术对其导波性能进行测试,得出半包层波导在633、1550 nm波长下具有优良的传输性能,且仅支持TM偏振方向传输,具有单... 本文采用飞秒激光微纳加工技术在铌酸锂(LiNbO_(3))晶体中成功制备了直径为30、40和50μm的半包层波导,并通过端面耦合技术对其导波性能进行测试,得出半包层波导在633、1550 nm波长下具有优良的传输性能,且仅支持TM偏振方向传输,具有单偏振性;通过计算波导的传输损耗,得出了30μm直径的波导在633及1550 nm波长下传输性能最佳。并且通过Rsoft软件理论计算,证明了实验结果的合理性。本研究结果为光波导设计和性能优化提供了重要的参考,具有一定的实验和理论价值。 展开更多
关键词 激光加工 光波导 铌酸锂晶体 半包层波导 1550 nm波导 单偏振态
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飞秒激光直写铒镱玻璃波导激光器的优化设计 被引量:1
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作者 尚艳丽 陈海滨 洪治 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期279-282,共4页
为了对双向抽运的飞秒激光直写铒镱共掺磷酸盐玻璃波导激光器进行数值模拟,采用铒镱共掺系统的速率方程及传输方程,对波导尺寸、激光器后腔镜反射率、掺杂铒镱离子浓度比等参量进行了优化。得到当波导长度为10mm、后腔镜反射率为0.6、... 为了对双向抽运的飞秒激光直写铒镱共掺磷酸盐玻璃波导激光器进行数值模拟,采用铒镱共掺系统的速率方程及传输方程,对波导尺寸、激光器后腔镜反射率、掺杂铒镱离子浓度比等参量进行了优化。得到当波导长度为10mm、后腔镜反射率为0.6、掺杂铒镱离子浓度比为3.6,975nm 波长400mW 抽运时,有1535nm 波长57mW 的激光输出。结果表明,计算结果和国外相关报道的实验结果相近,能够为飞秒激光加工有源玻璃波导及其激光器设计提供一定的理论依据。 展开更多
关键词 超快光学 波导激光器 速率方程 激光加工
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飞秒激光制备的高灵敏度气压探针传感器 被引量:2
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作者 郭小珊 王解 +3 位作者 叶文豪 江超 孙四梅 刘昌宁 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2021年第11期1498-1505,共8页
提出并实验验证了一款基于法布里—珀罗干涉仪(FPI)的气压探针传感器。首先将毛细石英管与单模光纤拼接,然后利用飞秒激光将毛细石英管精确切割到极短长度,最后在毛细石英管的端面涂覆聚乙烯醇(PVA)薄膜构成气压传感探针。传感头总长度... 提出并实验验证了一款基于法布里—珀罗干涉仪(FPI)的气压探针传感器。首先将毛细石英管与单模光纤拼接,然后利用飞秒激光将毛细石英管精确切割到极短长度,最后在毛细石英管的端面涂覆聚乙烯醇(PVA)薄膜构成气压传感探针。传感头总长度仅为50μm,可以在有限的空间和恶劣的环境中灵活使用。实验结果表明解调传感器反射谱波长漂移量实现了环境气压测量,气压灵敏度达到-4.457 nm/MPa,线性度为99.52%,气压测量范围0~0.5 MPa。在低温时传感器对温度有一定的依赖性;在高温时传感器对温度不敏感,可以忽略温度对气压测量的串扰。该传感器结构紧凑、灵敏度高、结构重复性好、温度串扰小,在工程实际中具有一定的应用前景。 展开更多
关键词 光纤气压传感器 法布里—珀罗干涉仪 激光加工 聚乙烯醇 毛细石英管 气压
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Preparation and sensing characteristics of long-period fiber gratings based on periodic microchannels
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作者 SUN Cai LI Yuan-jun +6 位作者 YANG He-er PAN Xue-peng LIU Shan-ren WANG Bo GAO Meng-meng GUO Qi YU Yong-sen 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第1期198-205,共8页
Long-period fiber gratings have the advantages of small size,corrosion resistance,anti-electro-magnetic interference,and high sensitivity,making them widely used in biomedicine,the power industry,and aerospace.This pa... Long-period fiber gratings have the advantages of small size,corrosion resistance,anti-electro-magnetic interference,and high sensitivity,making them widely used in biomedicine,the power industry,and aerospace.This paper develops a long-period fiber grating sensor based on periodic microchannels.First,a series of linear structures were etched in the cladding of a single-mode fiber by femtosecond laser microma-chining.Then,the laser-modified region was selectively eroded by selective chemical etching to obtain the periodic microchannel structure.Finally,the channels were filled with polydimethylsiloxane(PDMS)to im-prove the spectral quality.The experimental results show that the sensor has good sensitivity in the measure-ment of various parameters such as temperature,stress,refractive index(RI),and bending.It has a temperat-ure sensitivity of−55.19 pm/℃,a strain sensitivity of−3.19 pm/με,a maximum refractive index sensitivity of 540.28 nm/RIU,and a bending sensitivity of 2.65 dB/m^(-1).All of the measurement parameters show good lin-ear responses.The sensor has strong application prospects in the field of precision measurement and sensing. 展开更多
关键词 long-period fiber gratings femtosecond laser micromachining fiber sensors
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微纳光纤Fabry-Perot超低温压力传感器研究 被引量:5
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作者 张雨彤 江毅(指导) +1 位作者 崔洋 冯新星 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期221-227,共7页
提出了一种用于超低温环境的微纳光纤非本征法布里-珀罗干涉仪压力传感器。单模光纤端面通过飞秒激光刻蚀出微孔,与无芯光纤熔接形成密闭的法珀腔。通过将无芯光纤切割、研磨等步骤,制作出微纳光纤压力传感器。利用飞秒激光微加工,可以... 提出了一种用于超低温环境的微纳光纤非本征法布里-珀罗干涉仪压力传感器。单模光纤端面通过飞秒激光刻蚀出微孔,与无芯光纤熔接形成密闭的法珀腔。通过将无芯光纤切割、研磨等步骤,制作出微纳光纤压力传感器。利用飞秒激光微加工,可以加工出不同孔径的微孔及不同厚度的膜片,得到不同灵敏度及测量压力范围的压力传感器。实验结果表明,提出的传感器在-196℃、0~5 MPa的压力范围内表现出良好的线性度,压力升高和降低过程中腔长-压力灵敏度分别为110.33 nm/MPa和110.68 nm/MPa。该传感器能够满足超低温环境下的压力测量需求。 展开更多
关键词 非本征法布里-珀罗干涉仪 光纤传感器 激光加工 超低温 压力测量
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时空分布的超短激光脉冲烧蚀电介质材料时等离子体的产生 被引量:10
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作者 倪晓昌 王清月 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1035-1039,共5页
若考虑聚焦平面内固定区域 ,脉冲空间分布可简化为一维问题 在此基础上 ,从脉冲的传输过程出发 ,本文分析了时空分布的超短激光脉冲与电介质材料相互作用时等离子体形成模式 在材料内部累积的能量与脉冲宽度、与空间相关的损伤区域。
关键词 超短激光脉冲 飞秒微加工 光学损伤 等离子体
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蓝宝石光纤光栅高温传感器研究进展与发展趋势(特邀) 被引量:11
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作者 何俊 徐锡镇 +3 位作者 贺佳 吴嘉烽 李卓达 王义平 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第10期1-23,共23页
在高速飞行器、航空发动机、核反应堆等国防安全和国民经济的重要领域,需要实现1800℃以上的高温原位测量。常规石英光纤传感器受限于材料特性,无法在1000℃以上高温环境中长期稳定使用。单晶蓝宝石光纤具有极高的熔点(2053℃)和较低的... 在高速飞行器、航空发动机、核反应堆等国防安全和国民经济的重要领域,需要实现1800℃以上的高温原位测量。常规石英光纤传感器受限于材料特性,无法在1000℃以上高温环境中长期稳定使用。单晶蓝宝石光纤具有极高的熔点(2053℃)和较低的传输损耗,是一种良好的高温传感材料。在单晶蓝宝石光纤内部刻写布拉格光栅,可以研制出蓝宝石光纤光栅传感器,具有耐温性能好、测量精度高、便于多点测量等优点,是当前最具发展前景的新型高温传感器件。首先介绍了蓝宝石光纤光栅高温传感器的工作原理和理论模型,接着介绍了利用飞秒激光制备蓝宝石光纤光栅的三种主流技术,包括相位掩模板扫描法、双光束干涉法、直写法,并从制备效率、光谱质量等方面比较了三种技术的优劣,指出飞秒激光直写法是制备蓝宝石光纤光栅高温传感器的最佳手段;然后介绍了蓝宝石光纤光栅的光谱优化方法,包括如何减小光栅光谱带宽和如何降低光谱噪声;进一步介绍了蓝宝石光纤光栅的高温传感特性、封装工艺及高温温度、应变传感应用;最后展望了蓝宝石光纤光栅传感器的未来发展趋势。蓝宝石光纤光栅高温传感器的快速发展和大规模推广应用,必将有助于解决当前我国航空航天、核电等领域重大装备结构健康监测的卡脖子难题。 展开更多
关键词 高温传感器 蓝宝石光纤光栅 激光加工
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