检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动被引量：8: 1; 作者郭彤胡春光 +4 位作者胡晓东栗大超金翠云傅星胡小唐《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1542-1545,共4页; 描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微镜上,用于测量一个表面微加工水平谐振器的三维运动.面内运动取决于亮场在最佳焦平面处的图像,而离面运... 展开更多; 关键词微机电系统 Mirau显微干涉仪面内运动离面运动频闪照明; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光双光路显微干涉仪: 2; 作者陈瑜《四川激光》 1981年第A02期79-79,共1页; 本文介绍了一种激光显微干涉仪器，它的基本原理和结构是：借助沙敏干涉仅的结构，可得到等光程的双光路测量系统；采用He-Ne激光（TEM00模）做光源，为了能观察到微小光学材料或介质材料的光学性能，在等光程的一个光路中置入样品，则... 展开更多; 关键词 HE-NE激光显微干涉干涉仪双光路 TEM00模测量系统光学性能介质材料光学材料显微系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS结构离面微运动测试系统设计与实现被引量：5: 3; 作者谢勇君史铁林刘世元《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2010年第7期66-68,92,共4页; 利用频闪成像和显微干涉技术设计开发了微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)离面微运动测试系统。系统在计算机控制下通过相对延时和五步相移干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内各不同时刻的干涉条纹图集,再通过五步相... 展开更多; 关键词微机电系统结构频闪成像显微干涉离面微运动; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机电系统动态特性的光学检测方法被引量：3: 4; 作者陈津平郭彤胡小唐《电子测量与仪器学报》 CSCD 2006年第2期30-34,共5页; 微机电系统(MEMS)的动态表征是为可动MEMS器件的设计和加工过程提供可靠的实验数据反馈。文中构建了一个MEMS动态测试系统,它采用了光学检测方法,具有非接触、快速、高精度等优点。系统分别采用光流技术和显微干涉技术,结合频闪照明的方... 展开更多; 关键词微机电系统光学检测动态特性光流技术显微干涉频闪照明; 在线阅读下载PDF 职称材料

迈克尔逊干涉原理在表面形貌测量中的应用研究被引量：1: 5; 作者孙艳玲《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第7期52-54,共3页; 介绍了一种用于被测件表面形貌的测量分析系统,采用迈克尔逊显微干涉原理实现对表面形貌特征的快速、非接触测量,主要讨论了仪器的测量光路、横向工作台的粗、精两级驱动和信号的四细分处理,经实验证明:测量的相对误差为±0.39%。; 关键词测量-分析系统表面形貌非接触测量迈克尔逊显微干涉; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于FPGA的MEMS测量控制系统的设计被引量：5: 6; 作者王少阳张瑞峰 +1 位作者孙晓伟杨庆《电子测量技术》 2014年第12期58-61,共4页; 基于频闪显微干涉(stroboscopic interferometer vision system,SIVS)技术,提出了一种MEMS三维动态测量的同步控制系统。在该系统中,频闪的参数通过有USB功能的MCU从PC配置到FPGA中,然后由FPGA分别控制测量系统中的声光调制器、MEMS驱... 展开更多; 关键词 MEMS 频闪显微干涉 FPGA 声光调制器千兆网相机; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS变形反射镜特性测试系统研究被引量：3: 7; 作者陈家凤陈海清向东《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第5期675-679,共5页; 为了实现对MEMS变形反射镜的静态形貌、动态离面变形及谐振频率的测量,提出了一种基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统。测试中采用频闪照明技术及5步相移技术实现了对干涉相位的测量,利用空间及时间相位解缠算法恢复了反映物体真实... 展开更多; 关键词光学测量 MEMS变形反射镜频闪干涉测量系统 5步相移算法相位解缠; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS变形反射镜主要特性测试被引量：1: 8; 作者陈家凤陈海清《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期3245-3249,共5页; 介绍了基于微机电系统技术的微变形反射镜的基本结构和电极分布.分析了微机系统变形镜的变形原理,推导了微变形镜的镜面变形与外加驱动电压的关系.分析了基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统的组成及测试原理,并利用该系统实现了对微... 展开更多; 关键词光学测量 MEMS变形镜频闪显微干涉测量系统特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动被引量：8: 1; 作者郭彤胡春光胡晓东栗大超金翠云傅星胡小唐; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1542-1545,共4页; 基金国家863计划资助项目(2004AA404042); 文摘描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微镜上,用于测量一个表面微加工水平谐振器的三维运动.面内运动取决于亮场在最佳焦平面处的图像,而离面运动则取决于频闪得到的干涉图像,该图像在物镜纳米定位器的8个不同位置处得到.实验结果表明了系统进行面内和离面运动测量的纳米级分辨力.; 关键词微机电系统 Mirau显微干涉仪面内运动离面运动频闪照明; Keywords Microelectromechanical systems （MEMS） Mirau microscopic interferometer^In-plane motionOut-of-plane motion Stroboscopic illumination; 分类号 TH741.4 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光双光路显微干涉仪: 2; 作者陈瑜; 机构西安激光仪器厂; 出处《四川激光》 1981年第A02期79-79,共1页; 文摘本文介绍了一种激光显微干涉仪器，它的基本原理和结构是：借助沙敏干涉仅的结构，可得到等光程的双光路测量系统；采用He-Ne激光（TEM00模）做光源，为了能观察到微小光学材料或介质材料的光学性能，在等光程的一个光路中置入样品，则视场中将出现样品引起的干涉图案，此外，又设置了显微系统进行观察，必要时还可对图象摄影记录。; 关键词 HE-NE激光显微干涉干涉仪双光路 TEM00模测量系统光学性能介质材料光学材料显微系统; 分类号 TN248.1 [电子电信—物理电子学] Q631 [生物学—生物物理学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS结构离面微运动测试系统设计与实现被引量：5: 3; 作者谢勇君史铁林刘世元; 机构暨南大学电气自动化研究所广东珠海华中科技大学机械科学与工程学院武汉光电国家实验室(筹)光电材料与微纳制造研究部; 出处《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2010年第7期66-68,92,共4页; 基金国家自然科学基金重点项目No.50535030 国家自然科学基金No.50775090 国家教育部新世纪人才支持计划No.NCET-06-0639~~; 文摘利用频闪成像和显微干涉技术设计开发了微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)离面微运动测试系统。系统在计算机控制下通过相对延时和五步相移干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内各不同时刻的干涉条纹图集,再通过五步相移算法和分割线去包裹算法分别对干涉条纹图和包裹相位图进行分析处理可得到被测MEMS结构的离面微运动情况。为实现浮点型相位图数据的有效存取,提出了一种新的相位图文件格式。通过实验对硅微悬臂梁在不同幅值正弦基础激励下的离面振动响应进行了有效测量,且测量重复性误差小于10nm。; 关键词微机电系统结构频闪成像显微干涉离面微运动; Keywords Micro Electro Mechanical Systems （ MEMS ） structures stroboscopic imaging microscopic interferometry out-of-plane micro-motions; 分类号 TP274.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机电系统动态特性的光学检测方法被引量：3: 4; 作者陈津平郭彤胡小唐; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《电子测量与仪器学报》 CSCD 2006年第2期30-34,共5页; 基金国家"863"计划资助项目(编号:2004AA404042) 博士后科学基金资助项目。; 文摘微机电系统(MEMS)的动态表征是为可动MEMS器件的设计和加工过程提供可靠的实验数据反馈。文中构建了一个MEMS动态测试系统,它采用了光学检测方法,具有非接触、快速、高精度等优点。系统分别采用光流技术和显微干涉技术,结合频闪照明的方法,对MEMS器件的面内和离面运动特性进行了测量。通过对一个微加工水平谐振器的运动特性测量实验说明了系统具有的功能。; 关键词微机电系统光学检测动态特性光流技术显微干涉频闪照明; Keywords microelectromechanical systems （ MEMS）, optical measurement, dynamic characterization, optical flow technology, microscopic interferometry, stroboscopic illumination.; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程] TN216 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名迈克尔逊干涉原理在表面形貌测量中的应用研究被引量：1: 5; 作者孙艳玲; 机构湖北襄樊学院机械工程系; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第7期52-54,共3页; 文摘介绍了一种用于被测件表面形貌的测量分析系统,采用迈克尔逊显微干涉原理实现对表面形貌特征的快速、非接触测量,主要讨论了仪器的测量光路、横向工作台的粗、精两级驱动和信号的四细分处理,经实验证明:测量的相对误差为±0.39%。; 关键词测量-分析系统表面形貌非接触测量迈克尔逊显微干涉; Keywords measuring-analysin system surface profile non-contact measurement Michelson micro-interference; 分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于FPGA的MEMS测量控制系统的设计被引量：5: 6; 作者王少阳张瑞峰孙晓伟杨庆; 机构天津大学电子信息工程学院; 出处《电子测量技术》 2014年第12期58-61,共4页; 文摘基于频闪显微干涉(stroboscopic interferometer vision system,SIVS)技术,提出了一种MEMS三维动态测量的同步控制系统。在该系统中,频闪的参数通过有USB功能的MCU从PC配置到FPGA中,然后由FPGA分别控制测量系统中的声光调制器、MEMS驱动器、微动平移台和千兆网相机。结合开发的应用软件,可以实时测量MEMS的运动。计算表明,使用该系统所能测量的MEMS的理论最高周期运动频率为1 MHz。实验证明这种方法行之有效。; 关键词 MEMS 频闪显微干涉 FPGA 声光调制器千兆网相机; Keywords MEMS SIVS FPGA AOM Gigabit ethernet camera; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS变形反射镜特性测试系统研究被引量：3: 7; 作者陈家凤陈海清向东; 机构华中科技大学光电子科学与工程学院; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第5期675-679,共5页; 基金航天支撑技术基金资助项目(041.3JW05); 文摘为了实现对MEMS变形反射镜的静态形貌、动态离面变形及谐振频率的测量,提出了一种基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统。测试中采用频闪照明技术及5步相移技术实现了对干涉相位的测量,利用空间及时间相位解缠算法恢复了反映物体真实信息的连续相位,从而得到了所需的特性参数。实验结果表明:该系统具有测量简便、自动化程度高及测量精度高等特点。; 关键词光学测量 MEMS变形反射镜频闪干涉测量系统 5步相移算法相位解缠; Keywords Optical measurement MEMS deformable mirrors Stroboscopic interferometer system Five-step phase-shifting algorithm Phase unwrapping; 分类号 TN247 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS变形反射镜主要特性测试被引量：1: 8; 作者陈家凤陈海清; 机构中南民族大学电子信息工程学院华中科技大学光电子科学与工程学院; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期3245-3249,共5页; 基金航天支撑技术基金(041.3JW05) 中南民族大学自然科学基金(YZY06003)资助; 文摘介绍了基于微机电系统技术的微变形反射镜的基本结构和电极分布.分析了微机系统变形镜的变形原理,推导了微变形镜的镜面变形与外加驱动电压的关系.分析了基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统的组成及测试原理,并利用该系统实现了对微变形镜静态电压-位移曲线、静态面形、动态离面变形以及谐振频率的测试.实验表明,测试结果与理论分析有很好的一致性.; 关键词光学测量 MEMS变形镜频闪显微干涉测量系统特性; Keywords Optical measurement MEMS deformable mirrors Stroboscopic microscopic interferometer system Characteristics; 分类号 TN247 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动	郭彤胡春光胡晓东栗大超金翠云傅星胡小唐	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	激光双光路显微干涉仪	陈瑜	《四川激光》	1981	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	MEMS结构离面微运动测试系统设计与实现	谢勇君史铁林刘世元	《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心	2010	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	微机电系统动态特性的光学检测方法	陈津平郭彤胡小唐	《电子测量与仪器学报》 CSCD	2006	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	迈克尔逊干涉原理在表面形貌测量中的应用研究	孙艳玲	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2006	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	基于FPGA的MEMS测量控制系统的设计	王少阳张瑞峰孙晓伟杨庆	《电子测量技术》	2014	5	在线阅读下载PDF 职称材料
7	MEMS变形反射镜特性测试系统研究	陈家凤陈海清向东	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2007	3	在线阅读下载PDF 职称材料
8	MEMS变形反射镜主要特性测试	陈家凤陈海清	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料