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硅微谐振式压力传感器闭环频率跟踪电路
1
作者
许高斌
徐枝蕃
+2 位作者
胡海霖
陈兴
马渊明
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2019年第10期1-4,7,共5页
为了精确、快速测量静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器在受到外界压力后频率的变化,设计了一种基于锁相环的闭环频率跟踪电路。通过对输入信号进行放大、滤波和移相以满足闭环自激振荡条件,然后利用锁相环电路进行信号的无相差...
为了精确、快速测量静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器在受到外界压力后频率的变化,设计了一种基于锁相环的闭环频率跟踪电路。通过对输入信号进行放大、滤波和移相以满足闭环自激振荡条件,然后利用锁相环电路进行信号的无相差频率跟踪,最后将锁相环输出信号转换为满足传感器激励要求的正弦信号。该电路具有良好的频率稳定(频率误差<1 Hz)和跟踪性能,实现了在18~30 kHz范围内频率无相差锁定。
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关键词
谐振式压力传感器
频率跟踪电路
锁相环
无相差
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职称材料
题名
硅微谐振式压力传感器闭环频率跟踪电路
1
作者
许高斌
徐枝蕃
胡海霖
陈兴
马渊明
机构
合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2019年第10期1-4,7,共5页
基金
装备预研教育部联合基金项目(JD2018XAZC0009)
安徽省重点研发计划项目(1804a09020018)
文摘
为了精确、快速测量静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器在受到外界压力后频率的变化,设计了一种基于锁相环的闭环频率跟踪电路。通过对输入信号进行放大、滤波和移相以满足闭环自激振荡条件,然后利用锁相环电路进行信号的无相差频率跟踪,最后将锁相环输出信号转换为满足传感器激励要求的正弦信号。该电路具有良好的频率稳定(频率误差<1 Hz)和跟踪性能,实现了在18~30 kHz范围内频率无相差锁定。
关键词
谐振式压力传感器
频率跟踪电路
锁相环
无相差
Keywords
resonator pressure sensor
frequency tracking circuit
phase-locked loop
no phase difference
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
硅微谐振式压力传感器闭环频率跟踪电路
许高斌
徐枝蕃
胡海霖
陈兴
马渊明
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2019
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