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靶面淀积参数对真空微电子平板摄像管特性的影响
被引量：
2
1
作者
吕永积
邵佑军
+1 位作者
刘光诒
施化芬
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2002年第4期265-269,共5页
为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料 ,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备 ,开发了由真空热预处理 ,非真空热后处理二种处理新工艺 ,制造出了新的高性能的CdSe多层光导...
为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料 ,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备 ,开发了由真空热预处理 ,非真空热后处理二种处理新工艺 ,制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶。使CdSe多层光导靶的灵敏度提高了两个数量级 ,而清晰度 (分辨率 )保持不变。
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关键词
靶面淀积参数
真空微电子平板摄像管
真空热预处理
非真空热处理
CDSE
硒化镉
多层光导
靶
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职称材料
题名
靶面淀积参数对真空微电子平板摄像管特性的影响
被引量：
2
1
作者
吕永积
邵佑军
刘光诒
施化芬
机构
广电总局广科院光电研究所
中国科学院电子学研究所
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2002年第4期265-269,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目 (69971 0 1 1 )
文摘
为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料 ,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备 ,开发了由真空热预处理 ,非真空热后处理二种处理新工艺 ,制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶。使CdSe多层光导靶的灵敏度提高了两个数量级 ,而清晰度 (分辨率 )保持不变。
关键词
靶面淀积参数
真空微电子平板摄像管
真空热预处理
非真空热处理
CDSE
硒化镉
多层光导
靶
Keywords
vacuum microelectronics flat panel camera tube
vacuum heat pretreatment
non vacuum heat after treatment
分类号
TN142 [电子电信—物理电子学]
TN105 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
靶面淀积参数对真空微电子平板摄像管特性的影响
吕永积
邵佑军
刘光诒
施化芬
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2002
2
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