期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
靶与衬底之间的距离对ZnO∶Zr透明导电薄膜性能的影响
被引量：
1
1
作者
张化福
陈钦生
刘汉法
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期1412-1416,共5页
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO∶Zr)透明导电薄膜。并系统地研究了靶与衬底之间的距离对ZnO∶Zr薄膜结构、形貌、光学及电学性能的影响。实验结果表明,靶与衬底之间的距离对ZnO...
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO∶Zr)透明导电薄膜。并系统地研究了靶与衬底之间的距离对ZnO∶Zr薄膜结构、形貌、光学及电学性能的影响。实验结果表明,靶与衬底之间的距离对ZnO∶Zr薄膜的生长速率、结晶质量及电学性能有很大影响,而对其光学性能影响不大。实验制备的ZnO∶Zr为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。当靶与衬底之间的距离从60 mm减小到50 mm时,薄膜的晶化程度提高、晶粒尺寸增大,薄膜的电阻率减小;然而,当距离继续减小时,薄膜的晶化程度降低、晶粒尺寸减小,薄膜的电阻率增大。当靶与衬底之间的距离为50 mm时,薄膜的电阻率达到最小值4.2×10-4Ω.cm,其可见光透过率超过95%。实验制备的ZnO∶Zr薄膜可以用作薄膜太阳能电池和液晶显示器的透明电极。
展开更多
关键词
靶与衬底之间的距离
ZnO∶Zr
透明导电薄膜
磁控溅射
在线阅读
下载PDF
职称材料
透明导电薄膜ZnO∶Mn的低温制备及性能研究
被引量：
1
2
作者
张化福
杨书刚
+2 位作者
王永在
郭红
刘汉法
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期657-660,共4页
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锰氧化锌(ZnO∶Mn)透明导电薄膜。实验制备的ZnO∶Mn为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。实验结果表明,靶与衬底之间的距离对ZnO...
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锰氧化锌(ZnO∶Mn)透明导电薄膜。实验制备的ZnO∶Mn为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。实验结果表明,靶与衬底之间的距离对ZnO∶Mn薄膜的生长速率、残余应力及电学性能有很大影响,而对薄膜的晶粒尺寸和光学性能影响不大。考虑薄膜的电学、光学及力学性能,认为靶与衬底之间的最佳距离为7.0 cm。在此条件下制备的ZnO∶Mn薄膜的电阻率达到4.2×10-4Ω.cm,可见光透过率为86.6%,而残余应力仅为-0.025 GPa。
展开更多
关键词
ZnO∶Mn
透明导电薄膜
靶与衬底之间的距离
应力
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
靶与衬底之间的距离对ZnO∶Zr透明导电薄膜性能的影响
被引量：
1
1
作者
张化福
陈钦生
刘汉法
机构
山东理工大学理学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期1412-1416,共5页
基金
山东省自然科学基金(ZR2009GQ011)资助项目
文摘
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO∶Zr)透明导电薄膜。并系统地研究了靶与衬底之间的距离对ZnO∶Zr薄膜结构、形貌、光学及电学性能的影响。实验结果表明,靶与衬底之间的距离对ZnO∶Zr薄膜的生长速率、结晶质量及电学性能有很大影响,而对其光学性能影响不大。实验制备的ZnO∶Zr为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。当靶与衬底之间的距离从60 mm减小到50 mm时,薄膜的晶化程度提高、晶粒尺寸增大,薄膜的电阻率减小;然而,当距离继续减小时,薄膜的晶化程度降低、晶粒尺寸减小,薄膜的电阻率增大。当靶与衬底之间的距离为50 mm时,薄膜的电阻率达到最小值4.2×10-4Ω.cm,其可见光透过率超过95%。实验制备的ZnO∶Zr薄膜可以用作薄膜太阳能电池和液晶显示器的透明电极。
关键词
靶与衬底之间的距离
ZnO∶Zr
透明导电薄膜
磁控溅射
Keywords
target-to-substrate distance
zirconium-doped zinc oxide
transparent conducting films
magnetron sputtering
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
透明导电薄膜ZnO∶Mn的低温制备及性能研究
被引量：
1
2
作者
张化福
杨书刚
王永在
郭红
刘汉法
机构
山东理工大学理学院
山东理工大学教务处
山东理工大学材料分析测试中心
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期657-660,共4页
基金
山东省自然科学基金资助项目(ZR2009GQ011)
文摘
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锰氧化锌(ZnO∶Mn)透明导电薄膜。实验制备的ZnO∶Mn为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。实验结果表明,靶与衬底之间的距离对ZnO∶Mn薄膜的生长速率、残余应力及电学性能有很大影响,而对薄膜的晶粒尺寸和光学性能影响不大。考虑薄膜的电学、光学及力学性能,认为靶与衬底之间的最佳距离为7.0 cm。在此条件下制备的ZnO∶Mn薄膜的电阻率达到4.2×10-4Ω.cm,可见光透过率为86.6%,而残余应力仅为-0.025 GPa。
关键词
ZnO∶Mn
透明导电薄膜
靶与衬底之间的距离
应力
Keywords
Mn-doped zinc oxide
Transparent conducting thin films
Target-to-substrate distance
Stress
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
靶与衬底之间的距离对ZnO∶Zr透明导电薄膜性能的影响
张化福
陈钦生
刘汉法
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
透明导电薄膜ZnO∶Mn的低温制备及性能研究
张化福
杨书刚
王永在
郭红
刘汉法
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
