题名 关于光学元件面形评价参数峰谷值(PV)的分析
被引量：7
1
作者
高波 李瑞洁 魏小红 陈磊 李强
机构
成都精密光学工程研究中心 南京理工大学
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期1046-1049,共4页
文摘
光学元件的表面面形或波前质量一般采用数字指标峰谷值PV(表面最高点和最低点之差)来评价。而两点PV在高分辨率干涉仪的测量结果中具有很大不确定性。为了更准确地评价光学元件的表面面形或波前质量,讨论了针对两点PV进行改进后的评价方式PV20,PVr,PVq。通过模拟实验证明其可以描述真实波面,并在实验中证明其可以消除灰尘等杂点对测量结果带来的干扰,以及这几种评价方式对CCD分辩率的变化不敏感,并发现上述3种方式在测量重复性方面也有较好的表现。
关键词
面形评价 PV20 PVR PVq
Keywords
surface evaluating PV20 PVr PVq
分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
题名 基于功率谱的反射镜面形评价
被引量：13
2
作者
杨飞 安其昌 张景旭
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院大学
出处
《中国光学》
EI
CAS
2014年第1期156-162,共7页
基金
中科院三期创新重大专项资助项目
文摘
针对表面高度均方根(RMS)难以描述大尺度波动以及刚体位移鲁棒性差的缺点,提出了使用功率谱(PSD)对大口径望远镜系统中主反射镜面形进行评价;结合Zernike多项式,对PSD的分解运算进行了分析,讨论了Zernike多项式的频谱能量分布;将该方法用于Φ500 mm反射镜面形检测数据的处理,得出实际反射镜表面面形频域能量分布情况。结果表明:对于大口径反射镜,使用PSD的评价方式对于指导加工检测以及望远镜系统误差的分配具有更实用的意义。最后,基于PSD提出了一种评价反射镜面形的子孔径非相关拼接方法,该方法适用于大口径望远镜中大口径光学元件的面形精度评价。
关键词
表面 面形评价 反射镜 大口径 功率谱 ZERNIKE多项式 子孔径拼接
Keywords
surface figure evaluation mirror large aperture Power Spectral Density （ PSD ） Zernike polynomi-al sub-aperture stitching
分类号
TH751
[机械工程—精密仪器及机械]
P111.2
[天文地球—天文学]
题名 二阶矩过程在大口径反射镜面形质量分析中的应用
被引量：2
3
作者
杨飞 安其昌 张景旭 李洪文
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院研究生院
出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
2014年第1期97-103,共7页
基金
国家863高技术研究发展计划(2009AA8080603)资助项目
文摘
为了更好地评价大口径反射镜反射面面形,本文首先通过理论计算,得出了二阶矩过程的数字特征与结构函数(SF)、表面均方根(RMS)、斜率均方根(Slope RMS)之间的关系,得出以上3种常见的评价函数,皆为二阶矩过程数字特征的组合,以及后面两种评价函数都可以用结构函数表示的结论。然后对于结构函数的具体求解方法进行了讨论并对Zernike多项式中的彗差、像散项的结构函数进行了分析;之后利用离散随机变量功率谱分析,讨论了二阶矩过程评价方法对于噪声的敏感程度以及Zernike多项式频谱能量分布;最后基于二阶矩过程的自回归性提出了一种评价反射镜面形的子孔径非相关拼接方法。
关键词
测量 面形评价 二阶矩过程 子孔径拼接
Keywords
measurement mirror surface evaluation the second order process sub-aperture stitching
分类号
TH751
[机械工程—精密仪器及机械]
题名 光学元件抛光的PSD分析及控制策略
4
作者
汪志斌 田瑶 孙鹏程 张征 张峰 张云龙 焦明印
机构
西安应用光学研究所
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第4期772-779,共8页
基金
装备预研共用技术基金资助(50923020401)。
文摘
在光学加工领域,采用功率谱密度(power spectral density,PSD)对误差频谱方面信息进行表征,但是功率谱密度是表面误差统计信息,不如峰谷值(peak-valley,PV)和均方根值(root mean square,RMS)直观。为了分析功率谱密度与工艺参数之间的关系,该文从PSD定义出发,分析了随机面形轮廓不同参数对光学PSD的影响规律,总结了PSD控制的要点,在平面玻璃上对数控抛光典型路径下加工的PSD曲线进行分析。分析结果表明:PSD与随机轮廓幅值、频率分布有关,相位对它几乎无影响;在RMS接近情况下,PSD线性拟合斜率和RMS Slope随随机轮廓的自相关长度增加而下降;短程加工路径相较于长程有序路径能够有效抑制PSD曲线峰值,使得光学元件符合频谱抑制要求。
关键词
面 形 控制PSD 加工轨迹 面形评价
Keywords
surface shape control power spectral density machining track evaluation of surface shape
分类号
TN206
[电子电信—物理电子学]
题名 组合式力热动态载荷光学窗口的光学特性研究
被引量：5
5
作者
刘囿辰 马国鹭 赵涌 宋子军 胡亮子
机构
西南科技大学制造过程测试技术教育部重点实验室 中国航发四川燃气涡轮研究院 航空发动机高空模拟技术重点实验室
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第6期1122-1126,1132,共6页
基金
国家自然科学基金(61505169) 航空发动机尾喷流中颗粒物参数检测关键技术研究(20zh0074)。
文摘
针对在一定压差及温度梯度等复合环境下工作的大口径光学窗口,提出了一种由光学玻璃与亚克力板组成的光学窗口组合方案,并以热光学分析为基础,对光学窗口整体强度及热环境进行了理论分析计算,得出光学窗口玻璃最小厚度。利用有限元软件将压力场及轴向温度场映射至三维结构模型,计算得到直径为380 mm的光学窗口在不同玻璃厚度下力热耦合的面形变化及成像质量评价指标,并通过相应的环境性试验对仿真结果进行验证。实验结果表明:以K9光学玻璃为原材料的大口径光学窗口在此工作环境下的厚度不小于32.5 mm;当光学窗口厚度为35 mm时,其所受热力学影响可以忽略。因此,35 mm的大口径组合式光学窗口既能满足强度要求,又能满足多光谱相机成像质量要求,为该类窗口的设计提供了依据。
关键词
大口径光学窗口 最小厚度 力热动态载荷 面形评价 指标成像质量
Keywords
large aperture optical window minimum thickness dynamic-thermal dynamic loads surface shape evaluation index imaging quality
分类号
TN204
[电子电信—物理电子学]
TQ171.1
[化学工程—玻璃工业]
