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题名全视场外差移相双波长干涉面形检测技术
被引量：6
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作者
樊国翔
李杨
张文喜
伍洲
吕彤
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机构
中国科学院空天信息创新研究院
中国科学院计算光学成像技术重点实验室
中国科学院大学光电学院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第9期122-130,共9页
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基金
中国科学院战略性先导科技专项(XDC07040300)。
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文摘
双波长干涉检测技术可以实现高动态范围与高测试精度的兼顾,是一种极具潜力的检测技术,用于干涉检测的压电位移机械移相技术存在着一些问题,使用全视场外差移相技术,低频差的外差光源与面阵探测器采集帧率相配合,相较于传统的压电位移机械移相技术,可以同时保证不同波长的移相精度,简化移相的复杂度,且可以方便实现多步移相。提出了全视场外差移相双波长干涉测量技术,并搭建了全视场外差移相双波长干涉测量系统,测试了在边缘最高偏离顶点球13μm的非球面以及高度为(1.3±0.1)μm的台阶,经过实验验证其非球面面形PV测试精度为λ/3.53 (λ=633 nm),面形PV测试重复精度为λ/77.38,面形RMS测试精度为λ/14.16,面形RMS测试重复精度为λ/919.10,台阶高度测试精度为λ/16.19,测试重复精度为λ/311.85。
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关键词
面形检测技术
全视场外差
双波长干涉
非球面
移相
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Keywords
surface testing technology
full-field heterodyne
two wavelength interferometry
asphere
phase shifting
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分类号
TH741
[机械工程—光学工程]
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