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题名差分式MEMS面内加速度计设计
被引量：5
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作者
董胜飞
石云波
周智君
李策
李祥
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机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室
中北大学仪器与电子学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第7期893-897,共5页
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基金
国家"十二五"装备预研项目
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文摘
设计了一种新型差分式大量程MEMS加速度计,实现了面内大过载信号的测试。首先利用MATLAB软件结合理论原理,设计了具体的结构参数,利用ANSYS有限元分析软件验证了结构设计的合理性。将本差分式MEMS面内加速度计结构用于集成三轴传感器,3个敏感质量块可以分别感应3个方向的加速度而不会相互影响,可以有效解决传感器体积大以及轴间交叉干扰的难题。
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关键词
差分式
面内加速度计
高量程
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Keywords
MEMS
differential
MEMS
in-plane accelerometer
large range
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于微梁的面内高g值加速度计设计
被引量：6
- 2
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作者
李祥
石云波
董胜飞
李策
赵赟
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机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室
中北大学仪器与电子学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第10期1310-1314,共5页
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基金
"十二五"总装备部预研项目
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文摘
提出了一种基于微梁的面内高g值加速度计的设计方案。根据材料力学中悬臂梁的相关理论,建立了微梁检测结构的等效模型,推导出了微梁应力和中间主梁应力的比值的表达式。通过改变结构的尺寸来调节比值,可以设计出更高量程和更高灵敏度的压阻式传感器。利用ANSYS软件对微梁和中间主梁的最大应力及电阻区应力进行了仿真分析,验证了设计方案的可行性。完成了一种量程可达15万gn的面内双轴高g值传感器的设计。
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关键词
面内加速度计
微梁
高灵敏度
高量程
MEMS
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Keywords
in-plane accelerometer
micro beam
high sensitivity
large range
MEMS
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名一种高g值面内加速度传感器的设计与仿真
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作者
王毓婷
石云波
赵锐
李艳
张洁宇
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机构
中北大学电子测试技术重点实验室
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出处
《电子测量技术》
北大核心
2023年第5期192-196,共5页
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基金
国家自然科学基金(52175524)项目资助
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文摘
为了检测侵彻武器冲击硬目标产生的水平方向超高加速度,提出了一种单轴的面内高量程压阻式加速度传感器。该传感器的量程为150000 g_(n),由支撑梁、质量块和4个微梁构成。当给传感器施加轴向加速度时,支撑梁两侧的微梁分别被拉伸和压缩,通过惠斯通全桥实现压阻信号的检测。将加速度传感器的固有频率、最大等效应力以及几何结构参数作为多目标函数,用OSF采样和克里金代理模型对加速度传感器进行优化,得到高谐振频率、高灵敏度和低交叉灵敏度的敏感结构。有限元仿真和电学仿真结果表明,传感器一阶固有频率为0.84 MHz,y轴灵敏度为0.594μV/g_(n),非线性度为3.26%,x轴和z轴的交叉灵敏度均小于1%。
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关键词
高量程
多目标优化
面内加速度计
交叉灵敏度
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Keywords
high-g
multi-objective optimization
in-plane accelerometer
cross sensitivity
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分类号
TH703
[机械工程—精密仪器及机械]
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