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凹非球面的非零位干涉检测技术
1
作者
张旭
李世杰
+3 位作者
刘丙才
田爱玲
梁海锋
蔡长龙
《中国光学（中英文）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第1期140-149,共10页
为了实现凹非球面的快速、高精度与通用化检测,文中提出了一种将非球面当做球面,直接采用干涉仪检测的非零位干涉检测方法,并结合相应的数据处理方法,获得非球面的面形误差检测结果。首先,介绍了该方法的检测原理,建立了回程误差、调整...
为了实现凹非球面的快速、高精度与通用化检测,文中提出了一种将非球面当做球面,直接采用干涉仪检测的非零位干涉检测方法,并结合相应的数据处理方法,获得非球面的面形误差检测结果。首先,介绍了该方法的检测原理,建立了回程误差、调整误差的计算与去除模型,研究了面形误差的数据处理方法。然后,以两个不同非球面度的凹非球面为例,对其回程误差和调整误差进行了仿真计算,验证了该方法的有效性。最后,搭建了凹非球面的非零位检测实验装置,成功测量得到其面形误差。通过与自准直零位检测法或LUPHOScan轮廓测量法检测结果对比发现,两种方法测量得到的面形分布和评价指标具有高度一致性,验证了该检测方法的正确性。该检测方法在保证高精度测量的同时兼备一定的通用性与便捷性,为凹非球面的通用化检测提供了一种有效手段。
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关键词
非
球面面形测量
非零位干涉检测
回程误差
数据处理
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职称材料
题名
凹非球面的非零位干涉检测技术
1
作者
张旭
李世杰
刘丙才
田爱玲
梁海锋
蔡长龙
机构
西安工业大学光电工程学院
出处
《中国光学（中英文）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第1期140-149,共10页
基金
陕西省科技厅资助项目(No.2022GY-222,No.2022GY-262)
基础科研(No.JCKY2020426B009)
“一带一路”外国专家创新人才交流项目(No.DL2022040006L)。
文摘
为了实现凹非球面的快速、高精度与通用化检测,文中提出了一种将非球面当做球面,直接采用干涉仪检测的非零位干涉检测方法,并结合相应的数据处理方法,获得非球面的面形误差检测结果。首先,介绍了该方法的检测原理,建立了回程误差、调整误差的计算与去除模型,研究了面形误差的数据处理方法。然后,以两个不同非球面度的凹非球面为例,对其回程误差和调整误差进行了仿真计算,验证了该方法的有效性。最后,搭建了凹非球面的非零位检测实验装置,成功测量得到其面形误差。通过与自准直零位检测法或LUPHOScan轮廓测量法检测结果对比发现,两种方法测量得到的面形分布和评价指标具有高度一致性,验证了该检测方法的正确性。该检测方法在保证高精度测量的同时兼备一定的通用性与便捷性,为凹非球面的通用化检测提供了一种有效手段。
关键词
非
球面面形测量
非零位干涉检测
回程误差
数据处理
Keywords
aspheric surface shape measurement
non-null interferometry
retrace error
data processing
分类号
TN74 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
凹非球面的非零位干涉检测技术
张旭
李世杰
刘丙才
田爱玲
梁海锋
蔡长龙
《中国光学（中英文）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
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