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非平衡平面磁控溅射阴极及其镀膜装置
1
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期67-67,共1页
关键词
北京振涛国际钛金技术有限公司
非
平衡平面磁控溅射阴极
镀膜装置
靶材
非铁磁体背板
永
磁体
极靴
专利
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职称材料
题名
非平衡平面磁控溅射阴极及其镀膜装置
1
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期67-67,共1页
关键词
北京振涛国际钛金技术有限公司
非
平衡平面磁控溅射阴极
镀膜装置
靶材
非铁磁体背板
永
磁体
极靴
专利
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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1
非平衡平面磁控溅射阴极及其镀膜装置
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
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