检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

基于VO_2薄膜非致冷红外探测器性能研究被引量：15: 1; 作者陈长虹易新建 +1 位作者张静熊笔峰《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期136-138,共3页; 用微电子工艺制备了 V O2 溅射薄膜红外探测器 ,在 2 96 K的环境温度中测试了该探测器对 8- 12 μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压 ,结果显示该探测器在调制频率为 30 Hz时可以实现探测率 D*=1.89× 10 8cm H z1 /2W- 1 ,热时间常... 展开更多; 关键词测辐射热探测器探测率黑体响应率噪声电压 VO2薄膜非致冷红外探测器微电子工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

非致冷红外探测器用氧化钒多晶薄膜的制备被引量：8: 2; 作者王宏臣易新建 +2 位作者陈四海黄光李雄伟《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期64-66,共3页; 采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110 )和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜 .扫描电子显微镜 (SEM)照片显示 :薄膜表面呈针状晶粒状 ,而且薄膜表面光滑、致密 ,均匀性好 .测试结果表明 :氧化... 展开更多; 关键词非致冷红外探测器氧化钒多晶薄膜离子束溅射镀膜电阻温度系数半导体材料薄膜结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

微悬臂梁非致冷红外探测器的研制被引量：5: 3; 作者刘海涛陈永平梁平治《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期46-49,共4页; 介绍了一种基于标准硅工艺的微悬臂梁非致冷红外探测器的设计和制作.由于氮化硅和铝的热膨胀系数相差很大,用这两种材料的薄膜做成的双材料微悬臂梁在红外辐射下温度升高并发生弯曲,微悬臂梁和衬底形成一个可变电容,通过检测电容的变化... 展开更多; 关键词非致冷红外探测器微悬臂梁电容微电子机械系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

优化非致冷红外探测器设计的理论模型被引量：1: 4; 作者刘磊常本康《红外技术》 CSCD 北大核心 2002年第4期31-34,共4页; 文章建立了一种改进非致冷红外探测器性能的数学模型 ,分析了探测器结构和噪声对于噪声等效温差NETD的影响 ,并给出了NETD与探测器温度TD,背景温度TB,热导G以及探测单元面积A等因素的关系曲线 ,指出了探测器性能改进和优化的途径。; 关键词非致冷红外探测器温度起伏噪声背景噪声等效温差理论模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于VO_x非致冷探测器的红外地球敏感器探讨被引量：1: 5; 作者刘科梅志武涂智军《空间控制技术与应用》 2011年第3期58-62,共5页; 近年来VOx非致冷红外探测器的研制取得了较快发展,由于在波长14~16μm范围内有较高的响应率,使其应用于红外地球敏感器成为可能.介绍了基于VOx非致冷红外探测器的红外地球敏感器,对主流VOx探测器的MEMS微桥结构和产品性能参数进行比较,... 展开更多; 关键词 VOX 非致冷红外探测器红外地球敏感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

像元间距为25μm、160×120元无热电制冷器的非致冷非晶硅探测器(英文) 被引量：5: 6; 作者 J.L.Tissot 《应用光学》 CAS CSCD 2007年第1期1-6,共6页; 介绍用非晶硅微型辐射热量计制成的160×120元非致冷红外焦平面阵列的特点和性能,该阵列集成在一个无铅芯片载体封装中,像素间距为25μm,适合于大批量生产。25μm像元结构得益于较小的热时间常数,该技术使我们能够设计出更高的热隔... 展开更多; 关键词 IRFPA 非晶硅微型辐射热量计非致冷红外探测器; 在线阅读下载PDF 职称材料

电可调非致冷红外探测原理被引量：1: 7; 作者张欢赖建军 +2 位作者李宏伟李明燃刘黎《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期74-79,共6页; 传统的红外光谱探测技术能够提供丰富的光谱信息,应用广泛,但该技术同时也存在一定局限性,如很难同步实现探测器小型化和探测波段实时调节等方面的要求.提出了一种基于电可调表面等离子体谐振吸收的新型FET红外探测器结构.基于电磁场理... 展开更多; 关键词非致冷红外探测器等离子体谐振电可调探测器光谱成像探测; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于VO_2薄膜非致冷红外探测器性能研究被引量：15: 1; 作者陈长虹易新建张静熊笔峰; 机构华中科技大学光电工程系; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期136-138,共3页; 基金国家高技术863基金!资助项目&&; 文摘用微电子工艺制备了 V O2 溅射薄膜红外探测器 ,在 2 96 K的环境温度中测试了该探测器对 8- 12 μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压 ,结果显示该探测器在调制频率为 30 Hz时可以实现探测率 D*=1.89× 10 8cm H z1 /2W- 1 ,热时间常数 τ=0 .0; 关键词测辐射热探测器探测率黑体响应率噪声电压 VO2薄膜非致冷红外探测器微电子工艺; Keywords bolometer infrared vanadium dioxide detectivity responsivity; 分类号 TN215 [电子电信—物理电子学] TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名非致冷红外探测器用氧化钒多晶薄膜的制备被引量：8: 2; 作者王宏臣易新建陈四海黄光李雄伟; 机构华中科技大学光电子工程系中国科技大学图象识别和人工智能教育部重点实验室; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期64-66,共3页; 基金国家自然科学基金资助项目 ( 60 10 60 0 3 ); 文摘采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110 )和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜 .扫描电子显微镜 (SEM)照片显示 :薄膜表面呈针状晶粒状 ,而且薄膜表面光滑、致密 ,均匀性好 .测试结果表明 :氧化钒薄膜的方块电阻和电阻温度系数 (TCR)在 2 0℃分别为 5 0KΩ和 - 0 .0 2 1K-1.; 关键词非致冷红外探测器氧化钒多晶薄膜离子束溅射镀膜电阻温度系数半导体材料薄膜结构; Keywords vanadium oxides thin film ion beam sputtering temperature coefficient of resistance uncooled IR detectors; 分类号 TN215 [电子电信—物理电子学] O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微悬臂梁非致冷红外探测器的研制被引量：5: 3; 作者刘海涛陈永平梁平治; 机构中国科学院上海技术物理研究所; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期46-49,共4页; 基金中科院支撑项目(42201030104); 文摘介绍了一种基于标准硅工艺的微悬臂梁非致冷红外探测器的设计和制作.由于氮化硅和铝的热膨胀系数相差很大,用这两种材料的薄膜做成的双材料微悬臂梁在红外辐射下温度升高并发生弯曲,微悬臂梁和衬底形成一个可变电容,通过检测电容的变化来反映微悬臂梁的弯曲,从而可以探测红外辐射的情况.利用外部测试设备对单元探测器进行测试表明,该微悬臂梁对红外辐射有很高的响应.; 关键词非致冷红外探测器微悬臂梁电容微电子机械系统; Keywords uncooled IR detector micro-cantilever capacitor MEMS; 分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名优化非致冷红外探测器设计的理论模型被引量：1: 4; 作者刘磊常本康; 机构南京理工大学电子工程与光电技术学院; 出处《红外技术》 CSCD 北大核心 2002年第4期31-34,共4页; 文摘文章建立了一种改进非致冷红外探测器性能的数学模型 ,分析了探测器结构和噪声对于噪声等效温差NETD的影响 ,并给出了NETD与探测器温度TD,背景温度TB,热导G以及探测单元面积A等因素的关系曲线 ,指出了探测器性能改进和优化的途径。; 关键词非致冷红外探测器温度起伏噪声背景噪声等效温差理论模型; Keywords uncooled infrared thermal imaging temperature fluctuation noise NETD; 分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于VO_x非致冷探测器的红外地球敏感器探讨被引量：1: 5; 作者刘科梅志武涂智军; 机构北京控制工程研究所; 出处《空间控制技术与应用》 2011年第3期58-62,共5页; 文摘近年来VOx非致冷红外探测器的研制取得了较快发展,由于在波长14~16μm范围内有较高的响应率,使其应用于红外地球敏感器成为可能.介绍了基于VOx非致冷红外探测器的红外地球敏感器,对主流VOx探测器的MEMS微桥结构和产品性能参数进行比较,并分别讨论了使用面阵器件和线阵器件的红外地球敏感器应用.; 关键词 VOX 非致冷红外探测器红外地球敏感器; Keywords VOx uncooled microbolometer earth sensor; 分类号 V44 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名像元间距为25μm、160×120元无热电制冷器的非致冷非晶硅探测器(英文) 被引量：5: 6; 作者 J.L.Tissot; 机构 ULIS-BP; 出处《应用光学》 CAS CSCD 2007年第1期1-6,共6页; 文摘介绍用非晶硅微型辐射热量计制成的160×120元非致冷红外焦平面阵列的特点和性能,该阵列集成在一个无铅芯片载体封装中,像素间距为25μm,适合于大批量生产。25μm像元结构得益于较小的热时间常数,该技术使我们能够设计出更高的热隔离性能,从而能以35μm技术为基础开发出25μm技术。通过采用新的像素设计和更进一步推动设计方法,在没有采用复杂昂贵的双层结构的前提下,保持了较高填充因子。从读出集成电路结构、封装、可操作性和光电性能入手对该探测器进行了介绍。为该探测器设计了一种新型集成读出电路。可以通过串行链接对增益、图像翻转和积分时间等高级功能进行操控,降低电气对接的数量。研制的小型无铅芯片载体封装便于大规模生产探测器,主要用途为便携式摄像机或头盔摄像机。; 关键词 IRFPA 非晶硅微型辐射热量计非致冷红外探测器; Keywords IRFPA amorphous silicon microbolometer uncooled IR detector; 分类号 TN214 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电可调非致冷红外探测原理被引量：1: 7; 作者张欢赖建军李宏伟李明燃刘黎; 机构华中科技大学武汉光电国家实验室; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期74-79,共6页; 基金国家自然科学基金项目(61077078)~~; 文摘传统的红外光谱探测技术能够提供丰富的光谱信息,应用广泛,但该技术同时也存在一定局限性,如很难同步实现探测器小型化和探测波段实时调节等方面的要求.提出了一种基于电可调表面等离子体谐振吸收的新型FET红外探测器结构.基于电磁场理论分析了结构参数对红外光学吸收的影响,并通过结构参数的优化使吸收结构对特定红外波段的吸收率达到90%以上.栅压变化时VOx热敏层中载流子的浓度分布和折射率均发生变化,显示该器件具有明显的电可调光谱吸收特性.借助于这种FET结构,非制冷红外探测器将具有片上可调光谱探测能力,同时具有易于阵列化特点,为微小型可配置光谱成像探测器件提供了一条思路.; 关键词非致冷红外探测器等离子体谐振电可调探测器光谱成像探测; Keywords uncooled infrared detector plasmon resonation electrically tunable spectral imaging detection; 分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于VO_2薄膜非致冷红外探测器性能研究	陈长虹易新建张静熊笔峰	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2001	15	在线阅读下载PDF 职称材料
2	非致冷红外探测器用氧化钒多晶薄膜的制备	王宏臣易新建陈四海黄光李雄伟	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2004	8	在线阅读下载PDF 职称材料
3	微悬臂梁非致冷红外探测器的研制	刘海涛陈永平梁平治	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2006	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	优化非致冷红外探测器设计的理论模型	刘磊常本康	《红外技术》 CSCD 北大核心	2002	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于VO_x非致冷探测器的红外地球敏感器探讨	刘科梅志武涂智军	《空间控制技术与应用》	2011	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	像元间距为25μm、160×120元无热电制冷器的非致冷非晶硅探测器(英文)	J.L.Tissot	《应用光学》 CAS CSCD	2007	5	在线阅读下载PDF 职称材料
7	电可调非致冷红外探测原理	张欢赖建军李宏伟李明燃刘黎	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2015	1	在线阅读下载PDF 职称材料