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用于MEMS非致冷红外传感器的氧化钒工艺 被引量：1
1
作者 李占文 单光宝 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第7期450-453,468,共5页
基于VOx的非致冷红外传感器是当前MEMS的研究热点。VOx的制作是关键工艺,而VOx多价态共存,优化工艺以提高VO2在VOx中的比例、制备高性能的VOx薄膜为核心技术。采用直流磁控溅射法,对量产型PVD机台进行了技术改造,在溅射过程中用电压同... 基于VOx的非致冷红外传感器是当前MEMS的研究热点。VOx的制作是关键工艺,而VOx多价态共存,优化工艺以提高VO2在VOx中的比例、制备高性能的VOx薄膜为核心技术。采用直流磁控溅射法,对量产型PVD机台进行了技术改造,在溅射过程中用电压同时控制靶材溅射速率和氧气流量,少量的氩气充当靶材的保护气体。溅射完成后在350℃下退火约3h以降低噪声和残余应力。经测试,得到的氧化钒薄膜电阻温度系数(TCR)的绝对值大于2.8%/K,EDX分析得V和O的原子数比约为1∶1.8,像元均匀性优于5%,封装后样品等效噪声温差小于100mK,并给出了384×288阵列样品的红外成像效果图。结果表明:采用的方法有助于实现相关成像阵列的量产化。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 非致冷红外传感器 VOX 直流磁控溅射 电阻温度系数(TCR)
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非致冷红外传感器
2
作者 高 《红外》 CAS 2009年第4期20-20,共1页
本发明提供一种非致冷红外传感器，它包括一个光学元件、一个焦平面列阵和一个焦平面列阵处理器。工作时，光学元件接收电磁辐射并将电磁辐射聚焦到焦平面列阵上；焦平面列阵接收入射在它上面的电磁辐射，并将它们转换成传感信号，然后... 本发明提供一种非致冷红外传感器，它包括一个光学元件、一个焦平面列阵和一个焦平面列阵处理器。工作时，光学元件接收电磁辐射并将电磁辐射聚焦到焦平面列阵上；焦平面列阵接收入射在它上面的电磁辐射，并将它们转换成传感信号，然后再将传感信号输出给焦平面列阵处理器；焦平面列阵处理器对传感信号进行增益和偏差校正，然后将它们输出给显示处理器，显示处理器再将这些经过校正的信号转换成适合显示器显示的视频信号。 展开更多
关键词 非致冷红外传感器 焦平面列阵 显示处理器 电磁辐射 光学元件 传感信号 信号输出 偏差校正
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非致冷红外成像:下一代的技术
3
作者 Raymand S.Balcerak 高国龙 《红外》 CAS 2001年第7期22-28,共7页
在过去的几年中,非致冷红外传感器技术得到了迅速发展。具有较高性能的传感器、电子学部分集成以及增强的信号处理技术正在产生新的应用和增加生产批量。在某些应用中;人们正在考虑用非致冷传感器取代致冷型传感器,但是,最重要的是,非... 在过去的几年中,非致冷红外传感器技术得到了迅速发展。具有较高性能的传感器、电子学部分集成以及增强的信号处理技术正在产生新的应用和增加生产批量。在某些应用中;人们正在考虑用非致冷传感器取代致冷型传感器,但是,最重要的是,非致冷传感器独有的特性已引发了该技术的大量新的用途。现在已经有可能制造出体积非常小、重量非常轻、采用非致冷红外技术的低功率传感器。然而,即使是最小的传感器,人们也希望它能够提供中等的性能。这种性能需求激发出了一些新的想法,即制作工作性能达到理论极限或接近理论极限的热探测器结构。本文介绍了非致冷技术的一些令人激动的新应用,并调查了产生新一代非致冷红外传感器技术所必需的新的技术方法。 展开更多
关键词 非致冷红外传感器 低功率传感器 热探测器结构 军用 商业 微型车辆 机器人 飞行器 集成监视网络
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采用室温电容传感器的红外成像仪
4
作者 高 《红外》 CAS 2003年第4期42-42,共1页
非致冷红外传感器在空间遥感、夜视、目标识别、热测绘、运动探测等方面都具有很重要的应用。然而, 由于现有非致冷红外传感器的性能还比较低。
关键词 红外成像仪 室温电容传感器 非致冷红外传感器 结构组成
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非致冷微测辐射热计用Cd_(1-x)Zn_xS高性能电阻温度系数材料
5
作者 高 《红外》 CAS 2009年第7期26-26,共1页
微测辐射热计是一种红外探测器，它会吸收红外辐射并略微地变热。其电阻是随温度变化的，因而可以被测量和校正。微测辐射热计最常用的材料有VOx和非晶硅，其中非晶硅的动态范围和隔热性能较差，因此基于非晶硅的微测辐射热计的应用目... 微测辐射热计是一种红外探测器，它会吸收红外辐射并略微地变热。其电阻是随温度变化的，因而可以被测量和校正。微测辐射热计最常用的材料有VOx和非晶硅，其中非晶硅的动态范围和隔热性能较差，因此基于非晶硅的微测辐射热计的应用目前仅限于消防方面。本发明提供一种电阻热系数高达1．5％-3．7％的Cd1-xZnxS薄膜材料。由于具有优良的特性，它可以在微测辐射热计类非致冷红外传感器中使用。这种薄膜材料可以用MOCVD、热蒸发或其它技术淀积。 展开更多
关键词 非致冷红外传感器 微测辐射热计 电阻温度系数 薄膜材料 隔热性能 红外探测器 MOCVD 非晶硅
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低成本微型传感器计划
6
作者 顾聚兴 《红外》 CAS 2003年第7期32-37,共6页
低成本微型传感器计划的目标有两个。第一个目标是利用640×512规格的非致冷氧化钒(VO_x)焦平面研制并提供一种远距离红外传感器;第二个目标是利用160×128规格的氧化钒焦平面列阵研制一种可一次性使用的微型传感器。640×... 低成本微型传感器计划的目标有两个。第一个目标是利用640×512规格的非致冷氧化钒(VO_x)焦平面研制并提供一种远距离红外传感器;第二个目标是利用160×128规格的氧化钒焦平面列阵研制一种可一次性使用的微型传感器。640×480规格的传感器用以执行远距离的监视和目标瞄准任务,是一种可重复使用的贵重仪器。160×120规格的传感器则是为要求微型化以及低成本和低功耗的应用而设计的,同时也是为一次性的军事应用而设计的。这种研究工作的目的是进一步降低非致泠红外传感器的成本,进一步减小它们的重量和功耗,提高它们的性能,从而提高它们在以前热成像技术从未涉及的军用和民用市场中的适用性。 展开更多
关键词 低成本微型传感器计划 远距离红外传感器 非致冷氧化钒焦平面 热成像 非致冷红外传感器
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