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铁电薄膜热释电非致冷红外传感器研究 被引量:5
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作者 刘梅冬 陈实 +4 位作者 李元昕 曾亦可 姜胜林 邓传益 刘少波 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2004年第2期3-4,28,共3页
阐述了铁电薄膜热释电非致冷红外传感器的工作原理,对铁电薄膜材料的要求及sol gel铁电薄膜电性能。研究了BST铁电薄膜红外传感器的制备工艺与测试方法。研制出单元和8元、9元、10元线列铁电薄膜热释电非致冷红外传感器。
关键词 铁电薄膜 热释电效应 铁电材料 非致冷红外传感器
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