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光刻机工件台宏微电机的非线性复合控制
被引量：
2
1
作者
孙永倩
陈德运
刘川
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期1620-1625,共6页
针对光刻机工件台长行程直线电机宏动和平面电机高精密微动的耦合运动特点,提出一种宏动跟踪微动的变增益非线性复合控制方法,实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位。宏动长行程直线电机采用零相位跟踪前馈控制和双环控制,实现系统无静...
针对光刻机工件台长行程直线电机宏动和平面电机高精密微动的耦合运动特点,提出一种宏动跟踪微动的变增益非线性复合控制方法,实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位。宏动长行程直线电机采用零相位跟踪前馈控制和双环控制,实现系统无静差跟踪加速度指令;利用扩张状态观测器观测宏动系统的动态变化,补偿系统中的耦合推力和其他扰动;微动平面电机采用变增益非线性控制,根据系统误差幅值的大小,动态的改变控制器增益,以大增益抑制系统加减速时的低频大幅值误差,以小增益避免系统匀速运动时高频噪声的引入。实现系统稳定时间小于30 ms,跟踪误差小于20 nm的跟踪,实验结果表明:该方法可改善系统的动态性能和抗干扰能力,减小系统稳定时间,提高系统的跟踪精度。
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关键词
光刻机
直线电机
平面电机
推力耦合
非线性复合控制
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职称材料
非理想条件下MMC-PET非线性复合控制策略
被引量：
6
2
作者
程启明
孙英豪
程尹曼
《南方电网技术》
CSCD
北大核心
2023年第10期1-12,共12页
由于模块化多电平变流器(modular multilevel converter,MMC)电力电子变压器(power electronic transformer,PET)使用传统的控制策略难以保证系统运行时的动态性能,在电网处于不平衡时使得控制难度进一步增加。为了提高系统的动态性能,...
由于模块化多电平变流器(modular multilevel converter,MMC)电力电子变压器(power electronic transformer,PET)使用传统的控制策略难以保证系统运行时的动态性能,在电网处于不平衡时使得控制难度进一步增加。为了提高系统的动态性能,提出了一种非线性的反馈线性化滑模复合控制策略。该复合控制策略将反馈线性化控制(feedback linearization control,FLC)和滑模控制(sliding mode control,SMC)的优势结合在一起实现优势互补。首先,建立了MMC-PET整体仿真模型;其次,通过数学模型建立反馈线性化滑模控制的控制模型;最后,利用仿真与实验平台进行仿真对比实验,将所提复合控制策略与单一的反馈线性化控制、滑模控制以及常用的PI控制作了仿真对比,以验证所提控制策略可以在外部扰动时具有良好的动态性能和较好的鲁棒性等优势。
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关键词
模块化多电平换流器
电力电子变压器
非理想条件
反馈
线性
化滑模
控制
非线性复合控制
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职称材料
题名
光刻机工件台宏微电机的非线性复合控制
被引量：
2
1
作者
孙永倩
陈德运
刘川
机构
哈尔滨理工大学计算机科学与技术学院
哈尔滨工业大学航天学院
出处
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期1620-1625,共6页
文摘
针对光刻机工件台长行程直线电机宏动和平面电机高精密微动的耦合运动特点,提出一种宏动跟踪微动的变增益非线性复合控制方法,实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位。宏动长行程直线电机采用零相位跟踪前馈控制和双环控制,实现系统无静差跟踪加速度指令;利用扩张状态观测器观测宏动系统的动态变化,补偿系统中的耦合推力和其他扰动;微动平面电机采用变增益非线性控制,根据系统误差幅值的大小,动态的改变控制器增益,以大增益抑制系统加减速时的低频大幅值误差,以小增益避免系统匀速运动时高频噪声的引入。实现系统稳定时间小于30 ms,跟踪误差小于20 nm的跟踪,实验结果表明:该方法可改善系统的动态性能和抗干扰能力,减小系统稳定时间,提高系统的跟踪精度。
关键词
光刻机
直线电机
平面电机
推力耦合
非线性复合控制
Keywords
lithography
linear motor
planar motor
force coupling
nonlinear complex control
分类号
V448.2 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
非理想条件下MMC-PET非线性复合控制策略
被引量：
6
2
作者
程启明
孙英豪
程尹曼
机构
上海电力大学自动化工程学院
上海电力公司市北供电分公司
出处
《南方电网技术》
CSCD
北大核心
2023年第10期1-12,共12页
基金
国家自然科学基金资助项目(61905139)
上海市电站自动化技术重点实验室资助项目(13DZ2273800)。
文摘
由于模块化多电平变流器(modular multilevel converter,MMC)电力电子变压器(power electronic transformer,PET)使用传统的控制策略难以保证系统运行时的动态性能,在电网处于不平衡时使得控制难度进一步增加。为了提高系统的动态性能,提出了一种非线性的反馈线性化滑模复合控制策略。该复合控制策略将反馈线性化控制(feedback linearization control,FLC)和滑模控制(sliding mode control,SMC)的优势结合在一起实现优势互补。首先,建立了MMC-PET整体仿真模型;其次,通过数学模型建立反馈线性化滑模控制的控制模型;最后,利用仿真与实验平台进行仿真对比实验,将所提复合控制策略与单一的反馈线性化控制、滑模控制以及常用的PI控制作了仿真对比,以验证所提控制策略可以在外部扰动时具有良好的动态性能和较好的鲁棒性等优势。
关键词
模块化多电平换流器
电力电子变压器
非理想条件
反馈
线性
化滑模
控制
非线性复合控制
Keywords
modular multilevel converter
power electronic transformer
non-ideal conditions
feedback linearization sliding mode control
nonlinear composite control
分类号
TM46 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光刻机工件台宏微电机的非线性复合控制
孙永倩
陈德运
刘川
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
非理想条件下MMC-PET非线性复合控制策略
程启明
孙英豪
程尹曼
《南方电网技术》
CSCD
北大核心
2023
6
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