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微机电系统惯性电学开关的设计与制作
被引量：
7
1
作者
杨卓青
丁桂甫
+2 位作者
蔡豪刚
刘瑞
赵小林
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第9期1033-1036,共4页
基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵...
基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护。使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果。
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关键词
非硅表面微加工
微
型惯性开关
设计与制作
微
机电系统(MEMS)
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职称材料
新型复合结构电热微驱动器的研制
被引量：
2
2
作者
曾文光
丁桂甫
+2 位作者
王艳
付世
蔡玉丽
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第5期117-120,共4页
在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电...
在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。
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关键词
聚合物
复合结构
电热
微
驱动器
有限元分析
非硅表面微加工
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职称材料
题名
微机电系统惯性电学开关的设计与制作
被引量：
7
1
作者
杨卓青
丁桂甫
蔡豪刚
刘瑞
赵小林
机构
上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第9期1033-1036,共4页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(2006AA04Z308)
国家重点基础研究发展计划资助项目(A1420060154)
文摘
基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护。使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果。
关键词
非硅表面微加工
微
型惯性开关
设计与制作
微
机电系统(MEMS)
Keywords
non--silicon surface micromachining
inertia micro--switch
design and fabrication
micro-- electro-- mechanical system （MEMS）
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
新型复合结构电热微驱动器的研制
被引量：
2
2
作者
曾文光
丁桂甫
王艳
付世
蔡玉丽
机构
上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第5期117-120,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50675139)
文摘
在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。
关键词
聚合物
复合结构
电热
微
驱动器
有限元分析
非硅表面微加工
Keywords
polymer
composite structure
electro-thermal actuator
finite element analysis
non-silicon surface machining
分类号
TN603.5 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机电系统惯性电学开关的设计与制作
杨卓青
丁桂甫
蔡豪刚
刘瑞
赵小林
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
7
在线阅读
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职称材料
2
新型复合结构电热微驱动器的研制
曾文光
丁桂甫
王艳
付世
蔡玉丽
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008
2
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职称材料
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