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一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术
被引量：
7
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作者
尤越
王乔方
字正华
《红外技术》
CSCD
北大核心
2014年第4期331-335,共5页
提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法,该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转,从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性,文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测,与新方法的检测结果加以对比...
提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法,该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转,从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性,文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测,与新方法的检测结果加以对比。最后,使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试,分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度,满足测量要求。
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关键词
非球面面形参数
接触式轮廓仪
ZYGO干涉仪
测试精度
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职称材料
题名
一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术
被引量：
7
1
作者
尤越
王乔方
字正华
机构
昆明物理研究所
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2014年第4期331-335,共5页
基金
国防科技工业技术基础科研支持项目
文摘
提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法,该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转,从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性,文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测,与新方法的检测结果加以对比。最后,使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试,分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度,满足测量要求。
关键词
非球面面形参数
接触式轮廓仪
ZYGO干涉仪
测试精度
Keywords
aspheric parameters, Stylus profilometer, ZYGO interferometer, accuracy of test
分类号
TN214 [电子电信—物理电子学]
TH74 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术
尤越
王乔方
字正华
《红外技术》
CSCD
北大核心
2014
7
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