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基于PZT的非球面能动抛光盘定位误差分析
被引量：
3
1
作者
胡自强
凌宁
+2 位作者
潘君骅
饶长辉
姜文汉
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第9期1577-1581,共5页
研制了一个口径为100 mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光磨盘,用于加工口径为350 mm、k=-1.112 155、顶点半径为840 mm的双曲面镜。为研究定位误差对非球面能动抛光磨盘输出面形精度的影响,对磨盘上任意点所需变形量δ以及由定位误...
研制了一个口径为100 mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光磨盘,用于加工口径为350 mm、k=-1.112 155、顶点半径为840 mm的双曲面镜。为研究定位误差对非球面能动抛光磨盘输出面形精度的影响,对磨盘上任意点所需变形量δ以及由定位误差引入的变形量误差Δδ进行了理论公式推导,并利用有限元分析方法计算得到了当非球面能动抛光磨盘中心到非球面工件中心的距离L为120 mm且δL分别为0,-1.0,-0.5,0.5,1 mm时,非球面能动抛光磨盘输出面形与理论面形比较剩余残差RMS相应分别为0.329,0.454,0.366,0.367,0.461μm,定位误差导致剩余残差RMS分别相应增加0,38%,10.9%,11.2%,40%。因此,定位误差应该控制在±0.5 mm以内。
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关键词
非
球面
镜
非球面能动抛光磨盘
定位误差分析
PZT驱动器
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职称材料
题名
基于PZT的非球面能动抛光盘定位误差分析
被引量：
3
1
作者
胡自强
凌宁
潘君骅
饶长辉
姜文汉
机构
中国科学院成都光电所
苏州大学现代光学技术研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第9期1577-1581,共5页
基金
中国科学院创新基金资助项目
山东省重点实验室资助项目
烟台大学青年基金资助项目
文摘
研制了一个口径为100 mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光磨盘,用于加工口径为350 mm、k=-1.112 155、顶点半径为840 mm的双曲面镜。为研究定位误差对非球面能动抛光磨盘输出面形精度的影响,对磨盘上任意点所需变形量δ以及由定位误差引入的变形量误差Δδ进行了理论公式推导,并利用有限元分析方法计算得到了当非球面能动抛光磨盘中心到非球面工件中心的距离L为120 mm且δL分别为0,-1.0,-0.5,0.5,1 mm时,非球面能动抛光磨盘输出面形与理论面形比较剩余残差RMS相应分别为0.329,0.454,0.366,0.367,0.461μm,定位误差导致剩余残差RMS分别相应增加0,38%,10.9%,11.2%,40%。因此,定位误差应该控制在±0.5 mm以内。
关键词
非
球面
镜
非球面能动抛光磨盘
定位误差分析
PZT驱动器
Keywords
aspherical mirror
deformable aspheric polishing lap
location error analysis
PZT actuator
分类号
TQ171.68 [化学工程—玻璃工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于PZT的非球面能动抛光盘定位误差分析
胡自强
凌宁
潘君骅
饶长辉
姜文汉
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
3
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