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题名硒化锌晶体的高效率高质量组合抛光方法(特邀)
被引量：3
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作者
杨超
张乃文
白杨
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机构
长春理工大学光电工程学院
中国科学院长春光学精密与物理研究所
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第9期27-32,共6页
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文摘
硒化锌晶体作为常用的红外晶体材料,广泛应用于红外光学系统中。为了提高硒化锌晶体的加工质量及加工效率,提出了将磁流变抛光(MRF)与传统数控抛光(CCOS)技术相结合的方法,通过多组正交实验配置硒化锌晶体的磁流变抛光液,对一块口径为50 mm的硒化锌晶体展开磁流变抛光,再针对磁流变抛光后的表面痕迹进行传统数控抛光,在正压力为0.05~0.1 MPa范围内,经过30 min均匀抛光,硒化锌晶体的表面粗糙度由3.832 nm降低到1.57 nm,粗糙度得到明显改善。该方法有效提高了非球面硒化锌晶体的加工效率并改善了加工后的表面质量,对硒化锌晶体的非球面超精密加工具有重要的参考价值。
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关键词
光学制造
非球面硒化锌
磁流变抛光
粗糙度
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Keywords
optical manufacturing
aspheric zinc selenide
magnetorheological finishing
roughness
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分类号
TH161.4
[机械工程—机械制造及自动化]
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