TN305.7 2003032335凹型Si微透镜阵列的制作=Fabrication of Si concave microlensarray[刊,中]/何苗(华中理工大学.湖北,武汉(430074)),易新建…∥红外与毫米波学报.—2002,21(1).—33-36提出了一种新的曲率倒易法,首次成功地在Si衬底...TN305.7 2003032335凹型Si微透镜阵列的制作=Fabrication of Si concave microlensarray[刊,中]/何苗(华中理工大学.湖北,武汉(430074)),易新建…∥红外与毫米波学报.—2002,21(1).—33-36提出了一种新的曲率倒易法,首次成功地在Si衬底上制作出64×256凹柱面折射微透镜阵列,扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹柱面阵列,表面探针测试结果显示凹微透镜阵列表面光滑,单元重复性好,其平均凹深为2.643 μm,凹深非均匀性为8.45%,平均焦距为-47.08 μm。图6参7(方舟)展开更多
TQ171.6 99032019定偏心锡磨盘超精密平面抛光均匀去除模拟计算(Ⅰ)=Simulation of even material removal during eccentricplane polishing by a tin polisher[刊,中]/张红霞,吴明根(超精密加工技术国防科技重点实验室.北京(100076))...TQ171.6 99032019定偏心锡磨盘超精密平面抛光均匀去除模拟计算(Ⅰ)=Simulation of even material removal during eccentricplane polishing by a tin polisher[刊,中]/张红霞,吴明根(超精密加工技术国防科技重点实验室.北京(100076)),高宏刚(中科院长春光机所.吉林,长春(130022))//光学精密工程.—1998,6(2).展开更多
文摘TN305.7 2003032335凹型Si微透镜阵列的制作=Fabrication of Si concave microlensarray[刊,中]/何苗(华中理工大学.湖北,武汉(430074)),易新建…∥红外与毫米波学报.—2002,21(1).—33-36提出了一种新的曲率倒易法,首次成功地在Si衬底上制作出64×256凹柱面折射微透镜阵列,扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹柱面阵列,表面探针测试结果显示凹微透镜阵列表面光滑,单元重复性好,其平均凹深为2.643 μm,凹深非均匀性为8.45%,平均焦距为-47.08 μm。图6参7(方舟)
文摘TQ171.6 99032019定偏心锡磨盘超精密平面抛光均匀去除模拟计算(Ⅰ)=Simulation of even material removal during eccentricplane polishing by a tin polisher[刊,中]/张红霞,吴明根(超精密加工技术国防科技重点实验室.北京(100076)),高宏刚(中科院长春光机所.吉林,长春(130022))//光学精密工程.—1998,6(2).
