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猫眼波前定位虚实结合干涉非球面参数误差测量(特邀) 被引量:2
1
作者 胡摇 陶鑫 郝群 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第9期104-113,共10页
非球面广泛应用于光学系统中。表征非球面的基本参数包括顶点曲率半径、圆锥系数以及高阶非球面系数,它们贯穿了非球面的设计、制造、检测、装调过程。对非球面参数的高精度测量是加工和装调的前提。提出了一种基于虚实结合干涉仪的部... 非球面广泛应用于光学系统中。表征非球面的基本参数包括顶点曲率半径、圆锥系数以及高阶非球面系数,它们贯穿了非球面的设计、制造、检测、装调过程。对非球面参数的高精度测量是加工和装调的前提。提出了一种基于虚实结合干涉仪的部分补偿非球面参数误差测量系统。在该系统中,采用部分补偿干涉法测量剩余波前,复用干涉仪利用轴向扫描透镜的猫眼波前定位法测量补偿镜与被测镜之间的间距,采用虚实结合迭代算法进行参数误差求解。该系统仅需在部分补偿干涉光路中引入会聚透镜,装调简单,测量精度高。通过一个四次非球面参数误差测量实验验证了该方法的有效性和精度。 展开更多
关键词 仪器科学与技术 非球面参数误差测量系统 虚实结合干涉法 猫眼波前定位
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基于半参数模型的海洋磁力测量系统误差补偿
2
作者 马晓宇 欧阳永忠 +2 位作者 周巨锁 李正元 汤民强 《海洋测绘》 CSCD 北大核心 2024年第4期6-11,共6页
针对海洋磁力测量系统误差补偿时所选系统误差模型补偿不充分的情况,引入半参数模型进行精化补偿。使用简化补偿模型进行测线系统误差滤波与推估时,加入表示模型误差的非参数分量,来弥补所选系统误差模型在描述实际系统误差变化时的不足... 针对海洋磁力测量系统误差补偿时所选系统误差模型补偿不充分的情况,引入半参数模型进行精化补偿。使用简化补偿模型进行测线系统误差滤波与推估时,加入表示模型误差的非参数分量,来弥补所选系统误差模型在描述实际系统误差变化时的不足,采用自然样条函数法和L曲线法确定正则矩阵和正则化参数,对半参数模型进行补偿最小二乘求解。实验分析表明,引入半参数模型后,测线网交叉点不符值接近于0,中误差达到0.001nT,测线网精度显著提高。采用Akaike信息量准则对不同补偿方法进一步评估发现,引入半参数模型后,补偿效果受所选系统误差模型的依赖程度明显降低,拓宽了不同系统误差模型的使用条件。 展开更多
关键词 海洋磁力测量 系统误差补偿 参数模型 简化补偿模型 Akaike信息量准则
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光学非球面坐标测量中位姿误差的分离与优化 被引量:5
3
作者 贾立德 郑子文 +1 位作者 李圣怡 戴一帆 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1229-1234,共6页
在开发了一种专用非球面坐标测量机的基础上,分析了测量系统与工件在空间6个自由度上的相对位姿误差的关系,建立了位姿误差的数学模型。利用模型参数估计的方法,建立了测量数据与名义面形之间基于最小二乘法的优化模型,得到了上述位姿... 在开发了一种专用非球面坐标测量机的基础上,分析了测量系统与工件在空间6个自由度上的相对位姿误差的关系,建立了位姿误差的数学模型。利用模型参数估计的方法,建立了测量数据与名义面形之间基于最小二乘法的优化模型,得到了上述位姿误差的最小二乘估计,并据此对工件面形误差测量结果进行校正,消除了位姿误差的影响,提高了测量结果的可信度与精度,最终使测量系统精度达到0.5μm,重复精度优于0.3μm。 展开更多
关键词 光学球面 坐标测量 位姿误差 模型参数估计
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常用电工参数数字化测量中的非同步采样误差 被引量:13
4
作者 盛新富 戚庆成 《电工电能新技术》 CSCD 1998年第1期10-14,共5页
非同步采样误差是周期性信号均值型参数数字化测量中普遍存在的一种误差。本文介绍了非同步采样误差的概念,推导了常用电工参数数字化测量中的非同步采样误差的公式,并分析了影响非同步采样误差的因素。最后提出了几种减小非同步采样... 非同步采样误差是周期性信号均值型参数数字化测量中普遍存在的一种误差。本文介绍了非同步采样误差的概念,推导了常用电工参数数字化测量中的非同步采样误差的公式,并分析了影响非同步采样误差的因素。最后提出了几种减小非同步采样误差的方法。 展开更多
关键词 数字化测量 测量误差 同步采样 电工参数
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PIV系统测量误差的实验评价方法以及实验参数的优化 被引量:11
5
作者 董明哲 汪洋 蒋宁涛 《实验流体力学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期79-83,共5页
提出了一种PIV(ParticleImageVelocimetry)测量误差的实验评价方法:利用匀速转动圆盘上粒子的反射光模拟流场中示踪粒子散射光解决基准速度场。建立了一套二维PIV系统的测量误差评价系统,利用该系统对PIV测量误差和测量精度进行了实验评... 提出了一种PIV(ParticleImageVelocimetry)测量误差的实验评价方法:利用匀速转动圆盘上粒子的反射光模拟流场中示踪粒子散射光解决基准速度场。建立了一套二维PIV系统的测量误差评价系统,利用该系统对PIV测量误差和测量精度进行了实验评价,得到了结果误差在空间及时间上的概率分布特性,并对两个关键PIV实验参数进行了优化。实验表明该误差评价方法装置简单,方法可靠,可方便灵活地对PIV系统测量误差和测量精度进行实验评价和参数优化研究。 展开更多
关键词 PIV系统 测量误差 评价方法 实验参数 概率分布特性 实验评价 测量精度 IMAGE 粒子散射 模拟流场 转动圆盘 评价系统 优化研究 速度场 反射光 时间
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三维曲面非接触式测量系统机械设计及误差补偿研究 被引量:3
6
作者 李剑 王恒奎 +2 位作者 杜设亮 王文 陈子辰 《机电工程》 CAS 2001年第1期48-51,共4页
研究了三维曲面非接触式测量系统的工作原理 ,明确了机械误差是影响测量系统误差的关键 ,在测量系统机械设计基础上分析了其几何误差和热误差 。
关键词 几何误差 误差补偿 神经网络 三维曲面 接触式测量系统 机械设计
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BP神经网络补偿三维曲面非接触式测量系统热变形误差研究 被引量:2
7
作者 傅龙珠 陈亚良 狄瑞坤 《机电工程》 CAS 2002年第4期55-58,共4页
针对一个三维非接触式测量系统 ,在简要介绍系统工作原理的基础上 ,指出机械部分的热变形误差是影响系统误差的关键。该文在分析测量系统机械部分的基础上对它进行了热误差的分析和建模 。
关键词 BP神经网络 热变形误差 误差补偿 三维曲面接触式测量系统 机械系统
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非正交坐标测量机下REVO测头参数及误差标定 被引量:1
8
作者 张海涛 刘书桂 +1 位作者 李杏华 苏智琨 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期50-54,共5页
针对基于正交式坐标测量机设计和应用的REVO五轴测量系统,在非正交式坐标测量机下应用不能实现自标定的问题,基于对称和反转原理,提出了测头参数和误差项的一系列单项标定方法,通过测量机单轴小范围辅助运动测量量块,实现了非正交坐标... 针对基于正交式坐标测量机设计和应用的REVO五轴测量系统,在非正交式坐标测量机下应用不能实现自标定的问题,基于对称和反转原理,提出了测头参数和误差项的一系列单项标定方法,通过测量机单轴小范围辅助运动测量量块,实现了非正交坐标测量机下REVO测头的参数和误差标定,避免了大范围运动测量机主轴所产生的运动误差给标定结果带来的影响.通过实验验证了所提出标定方法的精确性和有效性,经过标定和误差补偿后,平均测量误差从18.1μm降低到了0.8μm.实验结果表明:所提出的方法操作简便,精确度高,具有很好的溯源性. 展开更多
关键词 正交式 坐标测量 REVO测头 参数误差 标定
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高精度角位置测量系统误差补偿参数调试方法 被引量:5
9
作者 王茂 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期395-398,共4页
详细讨论了基于感应同步器的角位置测量系统的短周期误差补偿原理及方法 ,为误差补偿的参数调整提供了理论依据。采用文中提出的方法 ,可以大大缩短测角系统的精度调试周期 ,并且能够获得近似完全的补偿效果。
关键词 角度测量 误差补偿 参数调度 角位置测量系统
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非正交轴系全站仪坐标测量系统误差分析技术研究 被引量:10
10
作者 吴斌 丁文 +1 位作者 杨峰亭 薛婷 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第6期661-666,共6页
基于非正交轴系全站仪坐标测量系统的结构特点和测量模型,用数学分析的手段对其进行误差分析和测量不确定度评定。确定系统的主要误差分量是转台旋转角误差和激光跟踪仪测距值误差,并用GUM法评定各分量的不确定度。通过测量模型推导出... 基于非正交轴系全站仪坐标测量系统的结构特点和测量模型,用数学分析的手段对其进行误差分析和测量不确定度评定。确定系统的主要误差分量是转台旋转角误差和激光跟踪仪测距值误差,并用GUM法评定各分量的不确定度。通过测量模型推导出系统的测量不确定度,并用MATLAB进行仿真,结果表明:当测距值不变时,测量不确定度几乎不受水平角变化的影响,而随着垂直角绝对值的增大而增大,当角度值不变时,测量不确定度随着被测点到视准轴上标定点的距离值增大而增大。实验初步验证了仿真结果的准确性。 展开更多
关键词 计量学 大尺寸测量 全站仪 正交轴系 坐标测量系统 误差分析 测量不确定度
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轮廓仪非球面接触测量的核回归误差补偿算法 被引量:3
11
作者 贾宁 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2018年第9期99-102,106,共5页
利用轮廓仪对非球面进行接触测量时,测头的接触测量力通常会引起形变误差。为了降低该误差引起的精度损失,提出了基于核回归的误差补偿方法。首先,根据长度计在非球面上的接触测量力,建立长度计的测头和测杆的形变模型,分析接触面形变... 利用轮廓仪对非球面进行接触测量时,测头的接触测量力通常会引起形变误差。为了降低该误差引起的精度损失,提出了基于核回归的误差补偿方法。首先,根据长度计在非球面上的接触测量力,建立长度计的测头和测杆的形变模型,分析接触面形变与测杆弯曲形变引起的测量误差。其次,使用核回归法对非球面矢高测量数据进行局部加权拟合,建立非球面斜率测量的误差补偿模型。将该方法应用于金属抛物面元件的曲率、曲面常数、表面轮廓和粗糙度的测量。实验结果表明,通过接触测量力的误差补偿,测量误差可降低30μm,有效的提高了非球面接触测量精度。 展开更多
关键词 球面 接触测量 形变误差补偿 核回归
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一种基于自动对焦的非球面测量系统 被引量:1
12
作者 仲进安 郭隐彪 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第7期50-53,共4页
影响高精度非球面磨削加工精度的不仅是机床、刀具和数控技术等参数 ,而且取决于制造系统所采用的测试手段和所能达到的测量精度。针对非球面制造系统的测量特点 ,将光栅测量技术和光学显微镜自动对焦技术引入环节 ,进而提高对非球面工... 影响高精度非球面磨削加工精度的不仅是机床、刀具和数控技术等参数 ,而且取决于制造系统所采用的测试手段和所能达到的测量精度。针对非球面制造系统的测量特点 ,将光栅测量技术和光学显微镜自动对焦技术引入环节 ,进而提高对非球面工件的测量精度 ,解决了制约非球面加工精度提高的测量问题。 展开更多
关键词 自动对焦 球面测量系统 磨削加工 光电检测技术 加工精度
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测量误差模型参数变点的非参数检验 被引量:1
13
作者 王黎明 《运筹与管理》 CSCD 2004年第3期67-70,共4页
本文讨论测量误差参数变点的检测问题,利用秩统计量,给出了模型只有一个变点的检验统计量,运用检验统计量渐近分布的性质,给出了一个计算检验渐近临界值的公式,由此我们可以较为客易计算检验的临界值。
关键词 测量误差模型 变点 秩统计量 参数检验
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接触网参数非接触式测量系统的研制 被引量:2
14
作者 邓昌延 高洪杰 周曙光 《铁道学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第2期10-18,共9页
采用CCD图象传感器的接触网参数测量系统已研制出来。本文对图象测量原理、系统结构硬件和软件以及信号处理等作了较详细的介绍。给出了实测的拉出值曲线,并对系统的实用化提出了改进措施。
关键词 接触网参数 接触式测量系统 CCD图象传感器 电气化铁路 图象测量 系统结构 信号处理 拉出值曲线
全文增补中
非球面干涉测量方法的原理误差分析 被引量:2
15
作者 高宏 辛企明 +1 位作者 李爱民 黄开祥 《应用光学》 CAS CSCD 1993年第3期61-64,共4页
在非球面干涉测量中,常用标准球面波作为测量光束,由于入射光线不垂直于被测表面,因此反射波面的波差并不能真实反映被测非球面与顶点球面的偏差,还会引起严重的测量误差。本文从理论上对这一误差进行分析和讨论。
关键词 球面 干涉仪 干涉测量 误差
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利用激光跟踪仪测量大口径非球面几何参数 被引量:6
16
作者 庞哲 宗肖颖 杜建祥 《航天返回与遥感》 CSCD 2020年第3期47-59,共13页
在利用无像差点或补偿器测量非球面反射镜顶点曲率半径和二次非球面系数的方法中,一般采用测量杆来测量干涉仪会聚点到辅助镜或补偿器的距离以及辅助镜或补偿器到非球面顶点的距离。对于大口径非球面反射镜,由于顶点曲率半径长,辅助镜... 在利用无像差点或补偿器测量非球面反射镜顶点曲率半径和二次非球面系数的方法中,一般采用测量杆来测量干涉仪会聚点到辅助镜或补偿器的距离以及辅助镜或补偿器到非球面顶点的距离。对于大口径非球面反射镜,由于顶点曲率半径长,辅助镜或补偿器到非球面顶点的距离达到几米的量级。为了提高测试精度,文章对offner补偿器面形测试光路中利用激光跟踪仪测量大口径非球面反射镜顶点曲率半径和二次非球面系数的方法进行了研究,介绍了该方法的测量原理、测量模型的建立、轴对称非球面反射镜顶点坐标的拟合算法及其它数据处理方法,并对顶点曲率半径4m量级、直径1.5m的轴对称非球面反射镜进行了测试实验,给出了测试结果和测试误差分析,顶点曲率半径的测试误差为±0.051mm,二次非球面系数测试误差为±0.000 11。结果表明,利用激光跟踪仪测量大口径非球面反射镜几何参数具有在工程上容易实现并可提高测试精度等优点。 展开更多
关键词 顶点曲率半径 二次球面系数 几何参数测量 球面检测 激光跟踪仪 长焦距相机 航天遥感
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基于运动控制技术的非球面测量系统 被引量:2
17
作者 薛波 郭隐彪 范剑红 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期778-782,共5页
为满足非球面光学元件表面精度的测量要求,设计和实现了一种高效数控非球面测量系统.系统基于运动控制技术,构建了四轴联动的测量工作平台.根据数据采集原理,实现对非球面工件表面形位参数进行连续采样.整个系统采用工控微机作为上位机... 为满足非球面光学元件表面精度的测量要求,设计和实现了一种高效数控非球面测量系统.系统基于运动控制技术,构建了四轴联动的测量工作平台.根据数据采集原理,实现对非球面工件表面形位参数进行连续采样.整个系统采用工控微机作为上位机非实时控制,下位机采用高速DSP进行实时控制.在Windows操作系统下,用Visaul C++开发工具完成了测量系统的软件开发.最后通过实验对测量系统的稳定性及其误差进行了分析.实验结果表明.系统行程为100~120 mm,系统误差小于5 μm,能满足普通光学非球面元件测量精度的要求,同时系统体现了较好的通用性和可靠性. 展开更多
关键词 运动控制 球面 测量系统 开放式数控
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基于部分补偿干涉的非球面顶点曲率半径加工误差测量 被引量:5
18
作者 胡摇 李腾飞 +1 位作者 郝群 常旭 《计量学报》 CSCD 北大核心 2020年第8期903-908,共6页
测量非球面顶点曲率半径加工误差对预估成像系统质量和计算机辅助装校有重要意义。传统的部分补偿干涉系统只能测量非球面面形误差,即被测非球面与标称非球面之间的不规则偏差。通过分析系统剩余波前特定像差项随被测面位置的变化关系,... 测量非球面顶点曲率半径加工误差对预估成像系统质量和计算机辅助装校有重要意义。传统的部分补偿干涉系统只能测量非球面面形误差,即被测非球面与标称非球面之间的不规则偏差。通过分析系统剩余波前特定像差项随被测面位置的变化关系,基于部分补偿干涉原理,提出了一种非球面顶点曲率半径加工误差测量方法,测得非球面顶点曲率半径加工误差。仿真实验结果表明,所提出的误差测量方法具有可行性,其原理相对测量精度不低于0.003%。 展开更多
关键词 计量学 顶点曲率半径 球面 干涉测量 加工误差
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具有死区输入的非参数不确定系统误差跟踪迭代学习控制
19
作者 陈凯杰 施卉辉 陈强 《高技术通讯》 CAS 2022年第7期719-726,共8页
本文针对一类具有非对称死区输入的非参数不确定系统设计了一种误差跟踪迭代学习控制(ILC)算法。首先,构造一种新型的期望误差轨迹放宽经典迭代学习控制的初值一致条件。其次,利用微分中值定理将非对称死区转换为线性形式,并利用径向基... 本文针对一类具有非对称死区输入的非参数不确定系统设计了一种误差跟踪迭代学习控制(ILC)算法。首先,构造一种新型的期望误差轨迹放宽经典迭代学习控制的初值一致条件。其次,利用微分中值定理将非对称死区转换为线性形式,并利用径向基函数(RBF)神经网络对系统不确定性和死区参数进行估计和补偿。在此基础上,设计误差跟踪迭代学习控制器和组合自适应律,实现系统在指定区间对期望轨迹的高精度跟踪。最后,基于Lyapunov-Like理论进行稳定性分析,并通过仿真验证了本文所提方法的有效性。 展开更多
关键词 迭代学习控制(ILC) 误差跟踪 对称死区 组合自适应律 参数不确定系统
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接触式大型非球面镜面形测量中测量点分布的确定 被引量:9
20
作者 李杰 伍凡 +2 位作者 吴时彬 匡龙 林常青 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期727-732,共6页
为准确有效地检测大型非球面光学元件的面形,研究了接触式测量光学元件的测量点分布方式。使用不同密度的径向分布及均匀分布的测量点分别对以不同Zernike多项式表示的面形偏差进行采样,然后计算采样所得面形相对给定面形PV值及RMS值的... 为准确有效地检测大型非球面光学元件的面形,研究了接触式测量光学元件的测量点分布方式。使用不同密度的径向分布及均匀分布的测量点分别对以不同Zernike多项式表示的面形偏差进行采样,然后计算采样所得面形相对给定面形PV值及RMS值的最大相对误差,并对计算结果进行了分析。对1.8m抛物面镜面形实测结果表明:在镜面加工的成型及粗磨阶段,由于面形偏差主要呈旋转对称分布,低密度径向分布测量点即可满足继续加工的检测需求;在精磨及初抛阶段,面形偏差主要为像散或其它非对称面形偏差,测量点均匀分布是提升测量精度的有效手段。此分析方法可以指导测量点的排布方式,从而确保由测量点分布引入的测量误差小于镜面本身面形误差的1/5,提高检测效率。 展开更多
关键词 光学面形检测 球面 接触式测量 测量误差 ZERNIKE多项式
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