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Φ1.07m,F/1.5非球面反射主镜在位检测塔的设计与应用
1
作者
陈勇
曾志革
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第9期104-109,共6页
大型非球面反射主镜的检测,国内通常采用离线的卧式检测。由于气流、温度变化以及地基振动等环境因素,容易影响检测的可靠性和重复性。国外在大型非球面反射主镜的检测中普遍采用在位或离线的立式检测塔。本文针对Φ1.07m,F/1.5非球面...
大型非球面反射主镜的检测,国内通常采用离线的卧式检测。由于气流、温度变化以及地基振动等环境因素,容易影响检测的可靠性和重复性。国外在大型非球面反射主镜的检测中普遍采用在位或离线的立式检测塔。本文针对Φ1.07m,F/1.5非球面反射主镜在加工中的检测,在有限的加工环境中设计了一套分体式立式在位检测塔,由一个四维工作台调节平面反射镜来转折光路、一个五维工作台调节补偿器和一个五维工作台调节干涉仪以满足测量中自由度的调节需要。用有限元分析软件ANSYS对立式塔进行了应力和应变的设计分析以检验其刚性、重心位置和变形情况,以及避免与工件转台产生共振的模态分析。该检测塔在Φ1.07m,F/1.5非球面反射主镜加工过程中得以用于检测测量,获得了稳定的干涉图和良好的重复性,工件接近完工时的检测结果为PV=0.313λ,RMS=0.024λ。
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关键词
光学检测
非
球面
反射
主
镜
立式在位检测
有限元法
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职称材料
几何量测量技术进展
被引量：
6
2
作者
曹学东
范天泉
+2 位作者
吴时彬
耿丽红
伍凡
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2008年第5期884-889,共6页
为将排列互比法用于超精测角研究、大型机械零部件形位误差在位测量技术研究及非球面主镜面形误差测量技术研究等几何量测量课题,在理论分析及实验验证的基础上推导出了排列互比法理论公式及系统误差产生的原因,在优化组合传统检验方法...
为将排列互比法用于超精测角研究、大型机械零部件形位误差在位测量技术研究及非球面主镜面形误差测量技术研究等几何量测量课题,在理论分析及实验验证的基础上推导出了排列互比法理论公式及系统误差产生的原因,在优化组合传统检验方法的基础上提出了大型机械零部件形位误差测量方案,并解决了Φ4.5m×5m高精度机架测量难题,采用拼接技术、哈特曼技术及补偿技术等解决了Φ1.8m大口径非球面主镜面形误差测量难题。
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关键词
检测技术
超精测角测量
大型机械零部件
非球面主镜
面形误差
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职称材料
题名
Φ1.07m,F/1.5非球面反射主镜在位检测塔的设计与应用
1
作者
陈勇
曾志革
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第9期104-109,共6页
文摘
大型非球面反射主镜的检测,国内通常采用离线的卧式检测。由于气流、温度变化以及地基振动等环境因素,容易影响检测的可靠性和重复性。国外在大型非球面反射主镜的检测中普遍采用在位或离线的立式检测塔。本文针对Φ1.07m,F/1.5非球面反射主镜在加工中的检测,在有限的加工环境中设计了一套分体式立式在位检测塔,由一个四维工作台调节平面反射镜来转折光路、一个五维工作台调节补偿器和一个五维工作台调节干涉仪以满足测量中自由度的调节需要。用有限元分析软件ANSYS对立式塔进行了应力和应变的设计分析以检验其刚性、重心位置和变形情况,以及避免与工件转台产生共振的模态分析。该检测塔在Φ1.07m,F/1.5非球面反射主镜加工过程中得以用于检测测量,获得了稳定的干涉图和良好的重复性,工件接近完工时的检测结果为PV=0.313λ,RMS=0.024λ。
关键词
光学检测
非
球面
反射
主
镜
立式在位检测
有限元法
Keywords
optical test
aspheric mirror
on-line tower
finite element method
分类号
TH706 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
几何量测量技术进展
被引量：
6
2
作者
曹学东
范天泉
吴时彬
耿丽红
伍凡
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2008年第5期884-889,共6页
文摘
为将排列互比法用于超精测角研究、大型机械零部件形位误差在位测量技术研究及非球面主镜面形误差测量技术研究等几何量测量课题,在理论分析及实验验证的基础上推导出了排列互比法理论公式及系统误差产生的原因,在优化组合传统检验方法的基础上提出了大型机械零部件形位误差测量方案,并解决了Φ4.5m×5m高精度机架测量难题,采用拼接技术、哈特曼技术及补偿技术等解决了Φ1.8m大口径非球面主镜面形误差测量难题。
关键词
检测技术
超精测角测量
大型机械零部件
非球面主镜
面形误差
Keywords
Measurement technique
Super-precision angluar measurement
Large mechanical parts
Aspherical mirror
Form error
分类号
TG8 [金属学及工艺—公差测量技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
Φ1.07m,F/1.5非球面反射主镜在位检测塔的设计与应用
陈勇
曾志革
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
在线阅读
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职称材料
2
几何量测量技术进展
曹学东
范天泉
吴时彬
耿丽红
伍凡
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2008
6
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职称材料
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