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非标准相移轮廓术的最优条纹频率分配
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作者 季怡心 张龙祥 +1 位作者 仵苇 王建华 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第2期245-255,共11页
在相移轮廓术中,非标准相移轮廓术结合时域相位展开算法仅需较少的条纹图案就可进行测量,因而具备较高的测量效率。鉴于条纹频率对测量精度有显著影响,本文分析了非标准相移轮廓术的时域相位展开中的相位误差,并进一步评估其可靠性。研... 在相移轮廓术中,非标准相移轮廓术结合时域相位展开算法仅需较少的条纹图案就可进行测量,因而具备较高的测量效率。鉴于条纹频率对测量精度有显著影响,本文分析了非标准相移轮廓术的时域相位展开中的相位误差,并进一步评估其可靠性。研究发现,相位展开的可靠性与条纹频率分配密切相关。据此,本文引入了一种最优条纹频率分配策略。基于该策略,本文对非标准相移轮廓术的不同频率组合进行了对比实验。实验结果显示,相比于3f_(h1)+2f_(h2)+2f_(h3)外差法的非最优频率组合,本文提出的频率组合的平均错误率降低了62.96%;相比于2f_(h)+2f_(m)+3f_(l)分层法的非最优频率组合,本文提出的频率组合的平均错误率降低了49.23%。 展开更多
关键词 非标准相移轮廓术 时域相位展开 相位展开可靠性 最优条纹频率分配
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