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光纤非本征法布里-玻罗传感器兰姆波检测灵敏度分析 被引量:1
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作者 张海燕 孙修立 +2 位作者 石志东 陈娜 肖悦娱 《声学技术》 CSCD 2009年第4期485-487,共3页
基于兰姆波的结构工况检测技术在评估复合材料和金属结构的安全性和耐久性方面发挥着重要的作用。作为对传统的压电换能器(PZT)的一种很好的替代,光纤传感器在传感方面的应用正被广泛地挖掘出来,包括兰姆波检测。本文从理论上建立了超... 基于兰姆波的结构工况检测技术在评估复合材料和金属结构的安全性和耐久性方面发挥着重要的作用。作为对传统的压电换能器(PZT)的一种很好的替代,光纤传感器在传感方面的应用正被广泛地挖掘出来,包括兰姆波检测。本文从理论上建立了超声兰姆波作用下光纤非本征法布里-玻罗(EFPI)传感器参数与其输出性能之间的关系。数值结果显示了传感器的性能与其相对于声源的方向角以及传感器的计量长度与超声波长的比值相关。所得出的结论对于EFPI传感器精确地探测兰姆波提供了理论依据。 展开更多
关键词 兰姆波 光纤传感器 非本法布里-玻罗干涉 灵敏度分析
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基于光纤法布里——珀罗干涉仪的温度传感器 被引量:7
2
作者 段丹阳 程进 +2 位作者 高然 逯丹凤 祁志美 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第4期124-127,共4页
提出了一种基于光纤法布里—珀罗(F-P)干涉仪的温度传感器,传感器的敏感部分是一段两端研磨为平面的单模光纤,它的一端与一根单模传光光纤相接以形成一个反射面,另一端与空气接触形成另一个反射面,这两个反射面与敏感部分光纤形成本征光... 提出了一种基于光纤法布里—珀罗(F-P)干涉仪的温度传感器,传感器的敏感部分是一段两端研磨为平面的单模光纤,它的一端与一根单模传光光纤相接以形成一个反射面,另一端与空气接触形成另一个反射面,这两个反射面与敏感部分光纤形成本征光纤F-P干涉仪(IFPI)。分析了该光纤温度传感器的温度响应特性,制作了传感器原理样机,搭建了测试平台,并对原理样机进行了测试。在25~30℃的范围内对传感器进行了标定,测得温度响应灵敏度为21.504·2πrad/℃,温度分辨率为0.046℃。实验结果表明:该传感器对温度有较好的线性响应和较高的灵敏度,且制作工艺简单,成本低,具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 光纤温度传感器 法布里-珀罗干涉 单模光纤 温度响应
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基于F-P原理的非本征型光纤爆炸动压传感器设计 被引量:1
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作者 陈显 徐芬 +1 位作者 余尚江 杨吉祥 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第4期76-78,共3页
设计了一种非本征型光纤法布里—珀罗(F—P)爆炸压力传感器,传感器采用膜片式结构,采用三波长法对F—P信号进行解调。压力加载试验表明,研制的F—P压力传感器线性度较好,具有较高的频响特性,在实际的爆炸测试中不受电磁干扰影响,可用于... 设计了一种非本征型光纤法布里—珀罗(F—P)爆炸压力传感器,传感器采用膜片式结构,采用三波长法对F—P信号进行解调。压力加载试验表明,研制的F—P压力传感器线性度较好,具有较高的频响特性,在实际的爆炸测试中不受电磁干扰影响,可用于爆炸动压测量。 展开更多
关键词 非本光纤 法布里—珀罗 压力传感器 爆炸测量
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基于简易非本征法-珀腔的大量程纳米位移传感器 被引量:1
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作者 孙志强 邵志强 +3 位作者 毕佳宇 宫占江 王劲松 王烨 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第7期25-28,共4页
微纳坐标测量机(micro/nano CMMs)上的接触式扫描探针可以产生振动信号,实现微米范围内的三维测量。基于白光低相干干涉原理,提出了一种简单的非本征法布里-珀罗干涉(EFPI)结构,用于一维非接触式位移测量。其传感结构包括光纤端面和镀... 微纳坐标测量机(micro/nano CMMs)上的接触式扫描探针可以产生振动信号,实现微米范围内的三维测量。基于白光低相干干涉原理,提出了一种简单的非本征法布里-珀罗干涉(EFPI)结构,用于一维非接触式位移测量。其传感结构包括光纤端面和镀金反射镜,二者互相平行形成EFPI结构。传感器使用目标表面和光纤探针之间的光程差(OPD)来计算位移大小。该传感系统可测量64.52~970.55μm的长度范围,分辨率为1 nm。提出了用互相关函数(CCF)算法作为位移解调方法,为三坐标测量机实现高分辨率、大范围、快速扫描测量提供了一种新方法,为非接触式多维形貌测量传感器的开发开辟了新途径。 展开更多
关键词 非本法布里-珀罗干涉 白光低相干 一维位移测量 互相关算法
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基于EFPI传感器的GIS局部放电模式识别研究 被引量:2
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作者 何彦良 尚宇 +2 位作者 任双赞 杨昌建 牛博 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第7期18-21,共4页
为了在复杂电磁环境中精准捕捉局部放电产生的微弱信号,设计了基于非本征法布里—帕罗干涉(EFPI)传感器的GIS局部放电模式识别方法。通过差分双波长光强强度比解调算法,粗解调EFPI传感器的腔长;利用复域相关算法,结合粗解调结果,精解调... 为了在复杂电磁环境中精准捕捉局部放电产生的微弱信号,设计了基于非本征法布里—帕罗干涉(EFPI)传感器的GIS局部放电模式识别方法。通过差分双波长光强强度比解调算法,粗解调EFPI传感器的腔长;利用复域相关算法,结合粗解调结果,精解调腔长,确定最终的EFPI传感器腔长,用于检测GIS设备的超声波信号;通过希尔伯特(Hilbert)变换GIS设备的超声波信号,得到Hilbert边际谱;利用2维—1维深度残差网络,提取Hilbert边际谱的特征,输出GIS局部放电模式识别结果。实验分析结果表明:该方法可有效确定EFPI传感器的腔长,采集GIS设备的超声波信号;得到GIS设备超声波信号的Hilbert边际谱;在复杂噪声环境下,该方法可精准识别GIS局部放电模式。 展开更多
关键词 非本征法布里—帕罗干涉传感器 气体绝缘开关设备 局部放电 模式识别 复域相关
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激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器 被引量:2
6
作者 刘宇 王萌 +2 位作者 王博 姜丽娟 王少华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第1期112-114,117,共4页
分析了多个反射面对单法—珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法—珀腔的反射面的反射率以消除这一影响,利用Nd∶YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴... 分析了多个反射面对单法—珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法—珀腔的反射面的反射率以消除这一影响,利用Nd∶YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴在中空玻璃毛细管一端,最后插入单模光纤并封装成非本征(EFPI)光纤法—珀干涉型压力传感器。进行了静态气压测试实验,结果表明:在40~240kPa气压范围内,传感器压力灵敏度为11.9 nm/kPa,线性度为1.51%。 展开更多
关键词 传感器 非本法-珀干涉 膜片式法-珀干涉型光纤压力传感器 Nd YAG激光加工
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临近空间飞行高温真空光纤绝压传感器设计 被引量:1
7
作者 张雨彤 江毅 +1 位作者 杨水旺 张大有 《火箭推进》 CAS 北大核心 2024年第3期118-123,共6页
研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-P... 研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-Perot,FP)腔,可以同时测量温度和绝对压力,通过实时监测温度,对压力测量进行温度补偿,去除温度对压力测量的影响。实验结果表明:900℃内的每个温度点下,密封FP腔的光学腔长随压力线性变化;室温下,压力灵敏度为11.6 nm/kPa,压力灵敏度随温度的上升略微升高,压力测量的分辨率达到86 Pa。 展开更多
关键词 光纤压力传感器 非本法布里-珀罗干涉 蓝宝石晶片 绝对压力测量
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应用LPFG/EFPI集成式光纤传感器实现温度及应变的同时测量 被引量:7
8
作者 江建 饶云江 +2 位作者 牛永昌 王义平 廖天奎 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期1063-1066,共4页
叙述了基于LPFG/EFPI的集成式光纤传感器的结构、温度和应变同时测量的原理及实验 ,首次制作了该传感器并测试了其性能 实验结果表明温度精度为± 0 .5℃ ,应变精度为± 2 0 με 。
关键词 LPFG/EFPI 集成式光纤传感器 结构 温度 应变 长周期光纤光栅 非本型F-P干涉 测量
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光纤法布里珀罗氢气检测技术 被引量:3
9
作者 张毅 庄志 +3 位作者 黎启胜 张敏 杨振 廖延彪 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1386-1389,共4页
实现对密闭容器内的微量氢气进行快速准确的测量,对提高产品的贮存安全性有重要意义,为此开展了一种具有实用性的新型光纤传感器研究。介绍了基于溅射钯银合金膜的非本征法布里-珀罗光纤氢气传感器系统的工作原理,通过应力传递过程的分... 实现对密闭容器内的微量氢气进行快速准确的测量,对提高产品的贮存安全性有重要意义,为此开展了一种具有实用性的新型光纤传感器研究。介绍了基于溅射钯银合金膜的非本征法布里-珀罗光纤氢气传感器系统的工作原理,通过应力传递过程的分析,建立了法布里-珀罗腔腔长变化与氢浓度关系的数学模型,并推导出传感器灵敏度计算方法。实验通过在一定浓度下研究该传感器的氢响应特性,证实了该氢气检测方法的可行性,并且其理论模型与实验结果吻合较好。 展开更多
关键词 光纤氢气传感器 气体检测 非本法布里珀罗干涉 钯银合金膜
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一种光纤F-P声发射传感器的设计与实现 被引量:4
10
作者 袁小庆 史仪凯 邓梁 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期82-85,共4页
为克服压电陶瓷传感器易受电磁干扰、不能实现长期实时检测的缺点,提出了光纤非本征F-P结构测量声发射信号的思想.对光纤非本征F-P腔声发射测量原理进行分析,提出了双波长的稳定方法,并进行了结构参量的优化设计,确定了合适的反射比、... 为克服压电陶瓷传感器易受电磁干扰、不能实现长期实时检测的缺点,提出了光纤非本征F-P结构测量声发射信号的思想.对光纤非本征F-P腔声发射测量原理进行分析,提出了双波长的稳定方法,并进行了结构参量的优化设计,确定了合适的反射比、波长及F-P腔长.理论分析和实验结果表明:所设计的非本征F-P光纤声发射传感器具有良好的敏感性和高分辨率. 展开更多
关键词 光纤传感器 F—P干涉 声友射 非本
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EFPI光纤传感器腔长解调方法研究 被引量:1
11
作者 张振荣 夏霁 罗洪 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1011-1016,共6页
研究了非本征型法布里-珀罗干涉(EFPI)光纤传感器系统的传感原理和腔长解调方法,考虑到EFPI传感器的腔长解调精度会直接影响到传感系统的稳定性和测量精确性,提出了一种新的基于傅里叶变换的腔长解调方法。该方法利用傅里叶变换的频移性... 研究了非本征型法布里-珀罗干涉(EFPI)光纤传感器系统的传感原理和腔长解调方法,考虑到EFPI传感器的腔长解调精度会直接影响到传感系统的稳定性和测量精确性,提出了一种新的基于傅里叶变换的腔长解调方法。该方法利用傅里叶变换的频移性,有效地消除了快速傅里叶变换的栅栏效应,提高了傅里叶变换的精度。理论和实践证明,相比传统的快速傅里叶变换方法,这种利用傅里叶变换频移特性的方法的解调精度至少提高10倍。 展开更多
关键词 光纤传感器 非本法布里-珀罗干涉(EFPI)腔 解调技术 傅里叶变换
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基于EFPI传感器的GIS局部放电模式识别研究 被引量:27
12
作者 韩世杰 吕泽钦 +3 位作者 隋浩冉 王伟 屠幼萍 高超飞 《电力工程技术》 北大核心 2022年第1期149-155,共7页
非本征法布里-帕罗干涉(EFPI)光纤超声传感器可用于气体绝缘全封闭组合电器(GIS)内部的局部放电超声信号检测及模式识别研究,相较于传统的压电式传感器,具有灵敏度高、抗干扰能力强等优点。基于此,文中在充有0.4 MPa SF_(6)气体的GIS腔... 非本征法布里-帕罗干涉(EFPI)光纤超声传感器可用于气体绝缘全封闭组合电器(GIS)内部的局部放电超声信号检测及模式识别研究,相较于传统的压电式传感器,具有灵敏度高、抗干扰能力强等优点。基于此,文中在充有0.4 MPa SF_(6)气体的GIS腔体内设置尖端、金属颗粒、悬浮和沿面4种典型的局部放电模型,创新性地利用EFPI传感器对放电超声信号进行检测,提取单次超声脉冲信号波形特征形成特征参数数据库,分别应用概率神经网络(PNN)算法和支持向量机(SVM)算法进行模式识别并比较分析。EFPI传感器检测到的超声信号特征突出,在提取特征参数的基础上,2种模式识别算法均能达到85%以上的平均识别率,且SVM的识别效果要优于PNN。 展开更多
关键词 气体绝缘全封闭组合电器(GIS) 局部放电 模式识别 非本法布里-帕罗干涉(EFPI)传感器 概率神经网络(PNN) 支持向量机(SVM)
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基于EFPI的数字配电网超声检测传感器 被引量:6
13
作者 鞠玲 黄怿 《中国电力》 CSCD 北大核心 2023年第6期194-201,共8页
针对数字配电网设备存在的局部放电(partial discharge,PD)超声信号检测需求,研究并设计了一种基于非本征型法布里-珀罗干涉(extrinsic Fabry-Perot interferometric,EFPI)的超声波传感器,用于检测PD产生的超声波信号。通过仿真软件COM... 针对数字配电网设备存在的局部放电(partial discharge,PD)超声信号检测需求,研究并设计了一种基于非本征型法布里-珀罗干涉(extrinsic Fabry-Perot interferometric,EFPI)的超声波传感器,用于检测PD产生的超声波信号。通过仿真软件COMSOL模拟了不同膜片厚度以及膜片半径的光纤法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)传感器的灵敏度和固有频率,选择了最佳的结构参数并制作了EFPI传感器。仿真结果表明,传感器的灵敏度可以达到106.6 nm/kPa,固有频率为234.85 kHz。当频率为30 kHz和40 kHz的超声波信号分别加到传感器上时,EFPI超声波传感器检测到的频率分别为29.97 kHz和39.92 kHz。实验结果表明,该传感器可以准确地检测高压模拟罐体中PD产生的超声波信号,且可检测最小放电量为53 pC,具有体积小、频响范围宽、检测灵敏度高的特点,有良好的应用前景。 展开更多
关键词 非本法布里-珀罗干涉传感器 局部放电 灵敏度 固有频率 放电量
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微纳光纤Fabry-Perot超低温压力传感器研究 被引量:5
14
作者 张雨彤 江毅(指导) +1 位作者 崔洋 冯新星 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期221-227,共7页
提出了一种用于超低温环境的微纳光纤非本征法布里-珀罗干涉仪压力传感器。单模光纤端面通过飞秒激光刻蚀出微孔,与无芯光纤熔接形成密闭的法珀腔。通过将无芯光纤切割、研磨等步骤,制作出微纳光纤压力传感器。利用飞秒激光微加工,可以... 提出了一种用于超低温环境的微纳光纤非本征法布里-珀罗干涉仪压力传感器。单模光纤端面通过飞秒激光刻蚀出微孔,与无芯光纤熔接形成密闭的法珀腔。通过将无芯光纤切割、研磨等步骤,制作出微纳光纤压力传感器。利用飞秒激光微加工,可以加工出不同孔径的微孔及不同厚度的膜片,得到不同灵敏度及测量压力范围的压力传感器。实验结果表明,提出的传感器在-196℃、0~5 MPa的压力范围内表现出良好的线性度,压力升高和降低过程中腔长-压力灵敏度分别为110.33 nm/MPa和110.68 nm/MPa。该传感器能够满足超低温环境下的压力测量需求。 展开更多
关键词 非本法布里-珀罗干涉 光纤传感器 飞秒激光微加工 超低温 压力测量
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基于EFPI光纤传感器的仿生耦合相位差放大
15
作者 刘彬 董喜来 +2 位作者 褚兴华 钟志 单明广 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2022年第8期27-30,76,共5页
针对传统声测向阵传感器在恶劣环境和小尺寸条件下工作不稳定和失效的问题,提出了一种基于EFPI(Extrinsic Fabry-Perot Interferometer)光纤传感器的仿生耦合相位差放大技术。首先通过制作的双F-P腔光纤传感器实现对声音信号的动态解调,... 针对传统声测向阵传感器在恶劣环境和小尺寸条件下工作不稳定和失效的问题,提出了一种基于EFPI(Extrinsic Fabry-Perot Interferometer)光纤传感器的仿生耦合相位差放大技术。首先通过制作的双F-P腔光纤传感器实现对声音信号的动态解调,F-P腔设计时,不需要考虑初始腔长差对解调结果的影响;实验过程中测量的声音信号为5 kHz,解调后的功率谱与声音信号频率一致;然后在传统阵列测向的基础上,引入奥米亚棕蝇听觉耦合机制。实验过程中改变声波入射角度(由0°变为30°),两路信号的相位差被显著放大;耦合后的信号时延相较于原始信号可以放大到15倍,进而提高时延对波达方向角的灵敏度。 展开更多
关键词 声测向 仿生耦合 相位差放大 非本法布里-珀罗干涉
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高灵敏度温度自校准型光纤磁场传感器 被引量:1
16
作者 高美玲 金可臻 +1 位作者 宋荣和 乔学光 《西北大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期497-504,共8页
该文提出了一种具有温度补偿作用的高灵敏度光纤磁场传感器,利用波长解调技术研究传感器的磁场和温度响应特性、重复性、指向性及可逆性等。该传感器是由一段单模光纤布拉格光栅(fiber Bragg grating,FBG)和非本征法布里珀罗干涉腔(extr... 该文提出了一种具有温度补偿作用的高灵敏度光纤磁场传感器,利用波长解调技术研究传感器的磁场和温度响应特性、重复性、指向性及可逆性等。该传感器是由一段单模光纤布拉格光栅(fiber Bragg grating,FBG)和非本征法布里珀罗干涉腔(extrinsic Fabry-Pérot interferometer,EFPI)构成,其中,EFPI由多模光纤(multimode fiber,MMF)和单模光纤(single mode fiber,SMF)构成,并固定于铽镝铁(Terfenol-D)棒材的轴向微型槽内,微型槽通过激光微加工技术制得。Terfenol-D材料具有高效磁致伸缩性能,在外加磁场作用下易发生形变并改变EFPI腔长,通过监测干涉光谱漂移实现磁场的高灵敏度探测,同时利用FBG的温度敏感特性进行温度补偿,实现温度和磁场的同时测量。实验结果表明,在0~100 mT磁场范围内磁场灵敏度为1.2278 nm/mT,且具有良好的重复性和方向性;FBG和EFPI温度灵敏度分别为0.0082 nm/℃和2.6963 nm/℃,具有很好的稳定性。 展开更多
关键词 光纤磁场传感器 超磁致伸缩材料 温度补偿 非本法布里珀罗干涉 光纤布拉格光栅
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一种温度补偿式光纤氢气检测技术 被引量:13
17
作者 张毅 庄志 +2 位作者 黎启胜 张敏 杨振 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1573-1578,共6页
基于非本征法布里-珀罗光纤传感检测技术,分析研究了氢敏薄膜特性,实现了氢气传感单元设计及制作,简要介绍了传感器结构、制作方法、镀膜工艺及设备。通过分析氢气浓度与法布里-珀罗腔长变化间的关系,建立了光纤法布里-珀罗氢气传感理... 基于非本征法布里-珀罗光纤传感检测技术,分析研究了氢敏薄膜特性,实现了氢气传感单元设计及制作,简要介绍了传感器结构、制作方法、镀膜工艺及设备。通过分析氢气浓度与法布里-珀罗腔长变化间的关系,建立了光纤法布里-珀罗氢气传感理论模型。为增强系统工程实用性,着重研究了传感器温度与氢气浓度交叉敏感问题,并利用温度补偿技术消除环境温度干扰。介绍了温度补偿原理并构建实验设备,最后通过氢气浓度响应实验及温度特性实验,证明理论公式推导结果与实验数据吻合较好,且氢气传感器温度敏感性降低。此设计具有一定工程实用价值。 展开更多
关键词 光纤传感器 氢气检测技术 温度补偿 非本法布里珀罗干涉
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光纤复合型油气井下压力温度测量系统 被引量:4
18
作者 张向东 李育林 +2 位作者 彭文达 王卫平 乔学光 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期864-867,共4页
针对目前广泛使用的电子式油气井下压力温度测量系统可靠性低、高温环境漂移大的不足 ,设计了一种基于非本征型F P干涉仪 (EFPI)和光纤布喇格光栅 (FBG)的复合型油气井下压力、温度测量系统 ,详细说明了其工作原理、传感器组成和信号解... 针对目前广泛使用的电子式油气井下压力温度测量系统可靠性低、高温环境漂移大的不足 ,设计了一种基于非本征型F P干涉仪 (EFPI)和光纤布喇格光栅 (FBG)的复合型油气井下压力、温度测量系统 ,详细说明了其工作原理、传感器组成和信号解调方法 ,初步试验结果表明 ,该测量系统不仅克服了电子测量方式的不足 ,而且具有复用性好。 展开更多
关键词 油气井 非本型F-P干涉 光纤光栅 温度压力传感器
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虚拟仪器技术在FBG传感系统中的应用 被引量:1
19
作者 李鹏 余峰 郭裕强 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第5期75-77,共3页
介绍了一种基于虚拟仪器技术的光纤B ragg光栅(FBG)传感监测系统,包括FBG传感器的基本工作原理、虚拟仪器技术的特点和LabVIEW软件的应用。实验表明:该系统能够正确采集FBG传感过程中的应变和温度等特征信号,并能有效利用计算机实现信... 介绍了一种基于虚拟仪器技术的光纤B ragg光栅(FBG)传感监测系统,包括FBG传感器的基本工作原理、虚拟仪器技术的特点和LabVIEW软件的应用。实验表明:该系统能够正确采集FBG传感过程中的应变和温度等特征信号,并能有效利用计算机实现信号的处理,可以满足FBG实时监测的要求。 展开更多
关键词 光纤BRAGG光栅 虚拟仪器 Lab传感器 非本法布里-珀罗干涉
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三波长数字相位解调法解调误差及影响因素 被引量:3
20
作者 赵文涛 宋凝芳 +1 位作者 宋镜明 吴蓉 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期1654-1661,共8页
介绍了光纤法布里-珀罗(F-P)传感器的传统解调方法,系统地推导了针对非本征法布里-珀罗干涉型(EFPI)传感器解调的三波长数字相位解调法的解调原理,仿真和实验分析了三波长数字相位解调法的解调误差。仿真分析结果表明,相位偏离正交关系... 介绍了光纤法布里-珀罗(F-P)传感器的传统解调方法,系统地推导了针对非本征法布里-珀罗干涉型(EFPI)传感器解调的三波长数字相位解调法的解调原理,仿真和实验分析了三波长数字相位解调法的解调误差。仿真分析结果表明,相位偏离正交关系是限制解调的最主要因素,要保证解调误差在15 nm以内,腔长变化应小于在正交腔长处2μm的范围。采用3个独立的激光光源进行实验,实验结果表明,在正交腔长附近1μm范围内变化,解调腔长误差小于12 nm,重复性误差小于10 nm,解调具有良好的稳定性。 展开更多
关键词 非本法布里-珀罗干涉型(EFPI) 三波长数字相位解调 解调误差 影响因素 稳定性
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