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题名光学自由曲面面形检测技术
被引量：39
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作者
张磊
刘东
师途
杨甬英
李劲松
俞本立
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机构
安徽大学光电信息获取与控制教育部重点实验室
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2017年第3期283-299,共17页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.61675005
No.61440010)
+3 种基金
安徽省自然科学基金资助项目(No.1508085MF118)
安徽省科技攻关项目(No.1501041136)
国家重点研发专项(No.2016YFC0302202)
安徽大学博士科研启动项目(No.J01003208)~~
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文摘
光学自由曲面因其表面自由度较大,可以针对性地提供或矫正不同的轴上或轴外像差,同时满足现代光学系统高性能、轻量化和微型化的要求,逐渐成为现代光学工程领域的热点。自由曲面的检测技术已经成为制约其应用的最重要因素,而目前精密光学自由曲面的检测手段仍然沿用非球面检测方法。本文回顾了近年来的自由曲面检测发展历程,对目前主流的非接触式检测方法(微透镜阵列法,结构光三维检测法,相干层析术,干涉检测法)进行了重点介绍;总结了非球面检测方法运用到自由曲面检测中的技术难点,同时结合这些技术难点,展望了自由曲面检测的未来发展新趋势,主要集中在非旋转对称像差的动态补偿、分区域像差的回程误差校准及子孔径拼接技术。
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关键词
自由曲面检测
干涉检测法
子孔径拼接
非旋转对称像差补偿
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Keywords
free-form surface testing
interferometry
subaperture stitching
rotationally asymmetric aberrationcompensation
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分类号
TQ171.65
[化学工程—玻璃工业]
TN247
[电子电信—物理电子学]
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