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基于AFM探针的电晕放电研究
1
作者
赵贵
孔德义
+3 位作者
Juergen Brugger
陈池来
程玉鹏
李庄
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第11期28-30,34,共4页
针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32～62.4 V/μ...
针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32～62.4 V/μm间,验证了利用其产生电晕放电的可行性;通过实验观察了电晕放电现象及其规律,测得了AFM探针加高压时的伏安特性曲线,为下一步利用AFM探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础。
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关键词
原子力显微镜探针
电晕放电
微机电系统
ANSYS
非接触式采样
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职称材料
题名
基于AFM探针的电晕放电研究
1
作者
赵贵
孔德义
Juergen Brugger
陈池来
程玉鹏
李庄
机构
中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室
中国科学技术大学
瑞士洛桑联邦理工学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第11期28-30,34,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60871037)
中瑞科技合作基金资助项目(SSSTCEG28-032010)
文摘
针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32～62.4 V/μm间,验证了利用其产生电晕放电的可行性;通过实验观察了电晕放电现象及其规律,测得了AFM探针加高压时的伏安特性曲线,为下一步利用AFM探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础。
关键词
原子力显微镜探针
电晕放电
微机电系统
ANSYS
非接触式采样
Keywords
AFM probe
corona discharge
MEMS
ANSYS
non-contact sampling
分类号
TH702 [机械工程—精密仪器及机械]
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作者
出处
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1
基于AFM探针的电晕放电研究
赵贵
孔德义
Juergen Brugger
陈池来
程玉鹏
李庄
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011
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