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题名非接触式电容压力传感器敏感元件的设计及性能分析
被引量：7
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作者
尚永红
李艳秋
于红云
孙红光
苏波
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机构
中国科学院电工研究所
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期276-279,共4页
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基金
国家自然科学基金项目资助(50677068)
国家高技术研究发展计划863项目资助(2006AA04Z345)
教育部长江学者和创新研究团队计划项目资助(PCSIRT)
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文摘
将中心岛膜结构的压力敏感膜用在非接触式电容式压力传感器中,解决了平膜结构带来的各点挠度不同、非线性和需要后续补偿电路的问题。通过对材料为多晶硅的中心岛膜进行结构优化设计和挠度、应力等力学性能分析。计算了在不同外加压力条件下压力敏感膜的电容数值、灵敏度和线性度。根据优化设计,外加压力在0.2～1.4×10^5Pa间变化时,电容值在0.0251～0.0281pF间变化;通过分析两种结构敏感膜在XY面内同一位置与中心挠度差的变化率,中心岛膜结构的变化率为49.4%低于平膜结构1.7%。因而中心岛膜结构比平膜结构有更好的灵敏度和线性。
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关键词
非接触式电容压力传感器
敏感元件
MEMS
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Keywords
untouched-mode capacitive pressure sensor
sensitivity diaphragm
MEMS
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名塑膜厚度在线检测系统的设计及应用
被引量：1
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作者
马玉真
叶声华
段发阶
郑义忠
王新华
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机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
济南大学机械工程学院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2003年第7期23-25,共3页
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文摘
介绍了采用非接触式电容传感器、电涡流传感器组合系统获取检测信号 ,利用基于LabVIEW软件平台的计算机实现对塑料薄膜进行在线检测的工作原理 ,并对该检测系统的硬件设计、软件设计进行了详细地探讨。最后 ,给出了测试结果 ,证明了系统的可靠性与可行性。
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关键词
塑料薄膜
在线检测
非接触式电容传感器
电涡流传感器
LABVIEW
厚度检测
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Keywords
Film
Thickness
Combined Measurement
On line
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分类号
TH821.1
[机械工程—精密仪器及机械]
TP274
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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