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基于聚焦激波的微结构非接触式激励方法研究
1
作者
佘东生
于震
田江平
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第4期41-44,共4页
为了解决MEMS微结构非接触式激励的问题,提出了一种基于聚焦激波的非接触式激励方法。该方法的基本原理是利用高压电容空气放电来产生激波,再通过半椭球腔体对激波进行聚焦,从而实现对微结构的非接触式激励。基于该方法搭建了微结构动...
为了解决MEMS微结构非接触式激励的问题,提出了一种基于聚焦激波的非接触式激励方法。该方法的基本原理是利用高压电容空气放电来产生激波,再通过半椭球腔体对激波进行聚焦,从而实现对微结构的非接触式激励。基于该方法搭建了微结构动态特性测试系统,并对矩形等截面和T型单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试实验,获得了两种微悬臂梁的一阶有阻尼固有频率和阻尼比。实验结果表明:矩形等截面和T型单晶硅微悬臂梁一阶无阻尼固有频率分别为5 912 Hz和2 150 Hz。通过动态测试实验验证了基于聚焦激波非接触式激励方法在MEMS微结构激励上的有效性。
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关键词
聚焦激波
MEMS微结构
非接触式激励
动态特性测试
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职称材料
题名
基于聚焦激波的微结构非接触式激励方法研究
1
作者
佘东生
于震
田江平
机构
渤海大学控制科学与工程学院
大连理工大学能源与动力学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第4期41-44,共4页
基金
国家自然科学基金面上项目(52071064)
辽宁省教育厅重点项目(LJKZ1009)。
文摘
为了解决MEMS微结构非接触式激励的问题,提出了一种基于聚焦激波的非接触式激励方法。该方法的基本原理是利用高压电容空气放电来产生激波,再通过半椭球腔体对激波进行聚焦,从而实现对微结构的非接触式激励。基于该方法搭建了微结构动态特性测试系统,并对矩形等截面和T型单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试实验,获得了两种微悬臂梁的一阶有阻尼固有频率和阻尼比。实验结果表明:矩形等截面和T型单晶硅微悬臂梁一阶无阻尼固有频率分别为5 912 Hz和2 150 Hz。通过动态测试实验验证了基于聚焦激波非接触式激励方法在MEMS微结构激励上的有效性。
关键词
聚焦激波
MEMS微结构
非接触式激励
动态特性测试
Keywords
focused shock wave
MEMS microstructures
non-contact excitation
dynamic characteristic testing
分类号
TH825 [机械工程—精密仪器及机械]
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作者
出处
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1
基于聚焦激波的微结构非接触式激励方法研究
佘东生
于震
田江平
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024
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