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低噪声原子力显微镜测量单元设计
被引量：
9
1
作者
许军
金晨
+8 位作者
牛刘敏
董诚
王慧云
王旭东
董震
孔融智
秦丽
温焕飞
马宗敏
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期138-143,共6页
为进一步提高大气下非接触式原子力显微镜(NC-AFM)表征样品形貌的分辨率及纵向检测灵敏度,本文提出了一种基于光偏转检测方法的新型非接触式噪声溯源抑制模型及多级隔振的机械振动噪声主动隔振装置。通过多源噪声抑制系统的设计,实现了...
为进一步提高大气下非接触式原子力显微镜(NC-AFM)表征样品形貌的分辨率及纵向检测灵敏度,本文提出了一种基于光偏转检测方法的新型非接触式噪声溯源抑制模型及多级隔振的机械振动噪声主动隔振装置。通过多源噪声抑制系统的设计,实现了实验环境下传递到实验装置的高低频振动由69 nm有效的衰减至0.03 nm以下。结合光偏转理论,系统在大气下的探针检测灵敏度为156.4 mV·nm^(-1)、电压偏转噪声密度为2.24μV/√Hz、偏转噪声密度达到了17.72 fm/√Hz。系统噪声得到有效的抑制,为进一步实验奠定了基础。
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关键词
非
接触式
原子力
显微镜
(
nc-afm
)
光偏转检测
噪声溯源抑制
主动隔振
低噪声
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职称材料
氧化铝薄膜的制备与结构缺陷研究
被引量：
1
2
作者
尚璐瑶
杨晓峰
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第9期4-7,15,共5页
阐述了氧化铝(AlO)薄膜4层结构与台阶结构,同时提出了薄膜中含有的2种缺陷结构。通过Ar~+溅射和退火获得氧化铝薄膜,基于超高真空非接触式调频原子力显微镜(UHV-NC-FM-AFM)测试技术,对所制作的氧化铝薄膜进行表征研究。通过对氧化铝薄...
阐述了氧化铝(AlO)薄膜4层结构与台阶结构,同时提出了薄膜中含有的2种缺陷结构。通过Ar~+溅射和退火获得氧化铝薄膜,基于超高真空非接触式调频原子力显微镜(UHV-NC-FM-AFM)测试技术,对所制作的氧化铝薄膜进行表征研究。通过对氧化铝薄膜构造与缺陷建模,结合实验分析,验证了薄膜结构和缺陷理论。缺陷结构高度为(50±20)pm,氧化铝薄膜台阶的高度约200 pm,薄膜周期结构与DFT计算理论模型中单元的大小基本一致,实验结果与理论值基本吻合,为后期蒸镀钯(Pd)实验奠定了基础。
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关键词
氧化铝薄膜
超高真空
非
接触式
调频
原子力
显微镜
缺陷理论
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职称材料
基于AFM探针的电晕放电研究
3
作者
赵贵
孔德义
+3 位作者
Juergen Brugger
陈池来
程玉鹏
李庄
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第11期28-30,34,共4页
针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32～62.4 V/μ...
针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32～62.4 V/μm间,验证了利用其产生电晕放电的可行性;通过实验观察了电晕放电现象及其规律,测得了AFM探针加高压时的伏安特性曲线,为下一步利用AFM探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础。
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关键词
原子力
显微镜
探针
电晕放电
微机电系统
ANSYS
非
接触式
采样
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职称材料
题名
低噪声原子力显微镜测量单元设计
被引量：
9
1
作者
许军
金晨
牛刘敏
董诚
王慧云
王旭东
董震
孔融智
秦丽
温焕飞
马宗敏
机构
中北大学电子测试技术重点实验室
中北大学仪器与电子学院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期138-143,共6页
基金
科技部国家重点研发计划项目(No.2018YFF01012502)
国家自然科学基金资助项目(No.61874100)
+1 种基金
山西省重点研发计划项目(No.201803D421037)
山西“1331工程”重点学科建设(No.1331KSC)。
文摘
为进一步提高大气下非接触式原子力显微镜(NC-AFM)表征样品形貌的分辨率及纵向检测灵敏度,本文提出了一种基于光偏转检测方法的新型非接触式噪声溯源抑制模型及多级隔振的机械振动噪声主动隔振装置。通过多源噪声抑制系统的设计,实现了实验环境下传递到实验装置的高低频振动由69 nm有效的衰减至0.03 nm以下。结合光偏转理论,系统在大气下的探针检测灵敏度为156.4 mV·nm^(-1)、电压偏转噪声密度为2.24μV/√Hz、偏转噪声密度达到了17.72 fm/√Hz。系统噪声得到有效的抑制,为进一步实验奠定了基础。
关键词
非
接触式
原子力
显微镜
(
nc-afm
)
光偏转检测
噪声溯源抑制
主动隔振
低噪声
Keywords
non-contact atomic force microscope(
nc-afm
)
optical deflection detection
noise traceability suppression
active vibration isolation
low noise
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
氧化铝薄膜的制备与结构缺陷研究
被引量：
1
2
作者
尚璐瑶
杨晓峰
机构
中北大学理学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第9期4-7,15,共5页
文摘
阐述了氧化铝(AlO)薄膜4层结构与台阶结构,同时提出了薄膜中含有的2种缺陷结构。通过Ar~+溅射和退火获得氧化铝薄膜,基于超高真空非接触式调频原子力显微镜(UHV-NC-FM-AFM)测试技术,对所制作的氧化铝薄膜进行表征研究。通过对氧化铝薄膜构造与缺陷建模,结合实验分析,验证了薄膜结构和缺陷理论。缺陷结构高度为(50±20)pm,氧化铝薄膜台阶的高度约200 pm,薄膜周期结构与DFT计算理论模型中单元的大小基本一致,实验结果与理论值基本吻合,为后期蒸镀钯(Pd)实验奠定了基础。
关键词
氧化铝薄膜
超高真空
非
接触式
调频
原子力
显微镜
缺陷理论
Keywords
alumina film
ultra-high vacuum non-contact frequency modulated atomic force microscope(UHV-NC-FM-AFM)
Defect Theory
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于AFM探针的电晕放电研究
3
作者
赵贵
孔德义
Juergen Brugger
陈池来
程玉鹏
李庄
机构
中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室
中国科学技术大学
瑞士洛桑联邦理工学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第11期28-30,34,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60871037)
中瑞科技合作基金资助项目(SSSTCEG28-032010)
文摘
针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32～62.4 V/μm间,验证了利用其产生电晕放电的可行性;通过实验观察了电晕放电现象及其规律,测得了AFM探针加高压时的伏安特性曲线,为下一步利用AFM探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础。
关键词
原子力
显微镜
探针
电晕放电
微机电系统
ANSYS
非
接触式
采样
Keywords
AFM probe
corona discharge
MEMS
ANSYS
non-contact sampling
分类号
TH702 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低噪声原子力显微镜测量单元设计
许军
金晨
牛刘敏
董诚
王慧云
王旭东
董震
孔融智
秦丽
温焕飞
马宗敏
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021
9
在线阅读
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职称材料
2
氧化铝薄膜的制备与结构缺陷研究
尚璐瑶
杨晓峰
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于AFM探针的电晕放电研究
赵贵
孔德义
Juergen Brugger
陈池来
程玉鹏
李庄
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011
0
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职称材料
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