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高精度非扫描三维光聚焦探测系统的研究
被引量：
3
1
作者
王永红
余晓芬
+2 位作者
俞建卫
黄其圣
徐科军
《应用科学学报》
CAS
CSCD
2004年第2期187-190,共4页
研制了一种基于像散法的非扫描三维探测系统,该检测系统利用微光学器件产生的二维点光源阵列实现并行像散光路,实现了对测量表面的全场同步检测.通过使用像散光斑光强差动算法,有效抑制光源的噪声和漂移对测量结果的影响,可以在较大采...
研制了一种基于像散法的非扫描三维探测系统,该检测系统利用微光学器件产生的二维点光源阵列实现并行像散光路,实现了对测量表面的全场同步检测.通过使用像散光斑光强差动算法,有效抑制光源的噪声和漂移对测量结果的影响,可以在较大采样间距下获得较高的轴向分辨率,有效解决了测量分辨率和测量速度之间的矛盾.介绍了非扫描三维检测系统的构成和三维轮廓提取方法,并给出了初步实验结果.
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关键词
高精度
非扫描三维探测系统
微透镜阵列
像散
并行检测
零件
制造精度
光聚焦
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职称材料
题名
高精度非扫描三维光聚焦探测系统的研究
被引量：
3
1
作者
王永红
余晓芬
俞建卫
黄其圣
徐科军
机构
合肥工业大学仪器仪表学院
出处
《应用科学学报》
CAS
CSCD
2004年第2期187-190,共4页
基金
国家自然科学基金(50175024)
教育部科学技术研究重点(重点01103)
合肥工大科研发展基金(030101F)资助项目
文摘
研制了一种基于像散法的非扫描三维探测系统,该检测系统利用微光学器件产生的二维点光源阵列实现并行像散光路,实现了对测量表面的全场同步检测.通过使用像散光斑光强差动算法,有效抑制光源的噪声和漂移对测量结果的影响,可以在较大采样间距下获得较高的轴向分辨率,有效解决了测量分辨率和测量速度之间的矛盾.介绍了非扫描三维检测系统的构成和三维轮廓提取方法,并给出了初步实验结果.
关键词
高精度
非扫描三维探测系统
微透镜阵列
像散
并行检测
零件
制造精度
光聚焦
Keywords
3-D profile
parallel detecting
astigmatism
microlens array
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高精度非扫描三维光聚焦探测系统的研究
王永红
余晓芬
俞建卫
黄其圣
徐科军
《应用科学学报》
CAS
CSCD
2004
3
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