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立方氮化硼薄膜的气相沉积及过渡层对其附着性能的影响 被引量:3
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作者 贺琦 潘俊德 +1 位作者 徐重 Russell F.Messier 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期364-368,共5页
本文采用非平衡磁控溅射物理气相沉积工艺,在单晶硅基片上合成了立方氮化硼薄膜,并且通过采用过渡层提高了立方氮化硼薄膜的附着力,过渡层分别是碳化硼(B4C)薄膜以及碳化硼(B4C)薄膜与B C N梯度层的复合层(BC/B C N)。同时,不同过渡层... 本文采用非平衡磁控溅射物理气相沉积工艺,在单晶硅基片上合成了立方氮化硼薄膜,并且通过采用过渡层提高了立方氮化硼薄膜的附着力,过渡层分别是碳化硼(B4C)薄膜以及碳化硼(B4C)薄膜与B C N梯度层的复合层(BC/B C N)。同时,不同过渡层的存在使立方氮化硼薄膜的剥落机理产生变化。 展开更多
关键词 立方氮化硼薄膜 沉积 附着性能 平衡磁控溅射技术 过渡层
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非平衡磁控溅射技术制备用于红外减反射的无氢碳膜(英文) 被引量:2
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作者 徐均琪 樊慧庆 +1 位作者 刘卫国 杭凌侠 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期850-853,共4页
红外减反射保护膜具有特定的厚度要求,如能进一步减小无氢类金刚石膜(DLC)的光学吸收,就能使其在较大厚度时不过分损失光通量而得以广泛应用。从这点来讲,无氢类金刚石膜是一种极具开发潜力的材料。本文采用非平衡磁控溅射技术(UBMS)制... 红外减反射保护膜具有特定的厚度要求,如能进一步减小无氢类金刚石膜(DLC)的光学吸收,就能使其在较大厚度时不过分损失光通量而得以广泛应用。从这点来讲,无氢类金刚石膜是一种极具开发潜力的材料。本文采用非平衡磁控溅射技术(UBMS)制备了无氢类金刚石膜,并研究了其厚度均匀性。研究结果表明:该非平衡磁控溅射装置有能力获得大于Φ150mm的均匀性范围。对DLC膜红外透射谱的分析表明,分别在Si和Ge基底表面单面制备的DLC薄膜,其峰值透射率在波数2983/cm时分别为68.83%和63.05%,这一结果接近无吸收碳材料理论上所能达到的值。同时,在5000到800/cm范围内,未发现明显的吸收峰。这些优良的光学特性表明,采用非平衡磁控溅射技术制备的无氢DLC膜可以作为窗口的红外增透保护膜使用。 展开更多
关键词 类金刚石膜(DLC) 平衡磁控溅射(UBMS) 厚度均匀性 物理沉积(PVD)
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土柱通风法去除表层土中氯化苦的模拟实验研究 被引量:3
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作者 李凌 黄国强 +1 位作者 李鑫钢 沈铁孟 《四川大学学报(工程科学版)》 EI CAS CSCD 2002年第5期89-92,共4页
土壤气相抽提 (SVE)技术广泛应用于不饱和土壤中挥发性有机污染物的去除。本实验采用土柱通风法模拟SVE ,对氯化苦在表层土中的迁移过程和去除效果进行了分析。当气体Darcy流速为 0 .0 1 3cm/s时 ,经过 2 .5天氯化苦在表层土中的含量由 ... 土壤气相抽提 (SVE)技术广泛应用于不饱和土壤中挥发性有机污染物的去除。本实验采用土柱通风法模拟SVE ,对氯化苦在表层土中的迁移过程和去除效果进行了分析。当气体Darcy流速为 0 .0 1 3cm/s时 ,经过 2 .5天氯化苦在表层土中的含量由 2 0 0mg/kg降至一半 ,9天后氯化苦基本不残留。当气体Darcy流速提高到 0 .0 2 1cm/s时 ,氯化苦的挥发半残留时间降为 1天 ,共需 5天即可全部挥发。本文采用一维非平衡模型预测和评价挥发效果 ,模型模拟和实验结果吻合较好。 展开更多
关键词 土柱通风 表层土 氯化苦 模拟 实验研究 土壤抽取 平衡模型
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氧化硅包覆铁“壳/核”型纳米复合粒子的制备及其吸波特性研究 被引量:3
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作者 王登科 黄昊 +2 位作者 俞快 张雪峰 董星龙 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期340-344,共5页
采用非平衡物理气相蒸发法在氢气-氩气混合气氛下制备了氧化硅包覆铁“壳/核”型纳米复合粒子.通过X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和能谱分析(EDS)等方法表征了纳米复合粒子的相组分、结构以及颗粒形貌.结果表明,制备的氧... 采用非平衡物理气相蒸发法在氢气-氩气混合气氛下制备了氧化硅包覆铁“壳/核”型纳米复合粒子.通过X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和能谱分析(EDS)等方法表征了纳米复合粒子的相组分、结构以及颗粒形貌.结果表明,制备的氧化硅包覆铁纳米复合粒子的尺寸在50nm左右,在铁纳米粒子的表面还出现了非晶态的氧化硅纳米棒,长度为150-200nm.利用电磁参数模拟微波吸收特性得出,涂层厚度为1.79mm时,在15.4GHz频率处达到最小反射损耗值为-14.5dB,反射损耗在8-18GHz的频段低于-10dB,且损耗机制为自然共振. 展开更多
关键词 非平衡物理气相蒸发法 壳/核型纳米复合粒子 微波吸收
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