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一种分析非均匀厚度1-3型压电复合材料换能器性能的方法
被引量:
7
1
作者
孙瑛琦
曾德平
+6 位作者
张春杨
许佳琪
张菁霓
龚洋
何倩
高雪梅
杨增涛
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2019年第8期75-79,共5页
非均匀厚度1-3型压电复合材料可用于制作宽带压电换能器,已广泛应用于水浸无损探伤、声波测井以及超声成像等领域。为分析该换能器的振动及其性能,提出了一种并联振子等效电路模型,将非均匀厚度1-3型压电复合材料换能器看成并联的谐振...
非均匀厚度1-3型压电复合材料可用于制作宽带压电换能器,已广泛应用于水浸无损探伤、声波测井以及超声成像等领域。为分析该换能器的振动及其性能,提出了一种并联振子等效电路模型,将非均匀厚度1-3型压电复合材料换能器看成并联的谐振器阵列,采用三维厚度伸缩振动模型对单个谐振器单元进行理论分析,得出了非均匀厚度1-3型压电复合材料换能器的阻抗计算公式;为验证该模型的正确性,设计并制作了一个平凹的1-3型压电复合材料换能器;实验结果显示,并联振子等效电路模型能准确的分析非均匀厚度1-3型压电复合材料片的性能。结果表明,非均匀厚度换能器带宽的主要是由压电片的厚度差异决定,研究结果可为非均匀厚度宽带换能器的设计提供参考。
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关键词
非均匀厚度
1-3型压电复合材料
并联振子等效电路模型
阻抗
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职称材料
一种非均匀厚度压电复合材料片宽带换能器的实验研究
被引量:
2
2
作者
耿学仓
杨玉瑞
+1 位作者
党长久
李明轩
《应用声学》
CSCD
1995年第2期21-26,共6页
本文利用1-3压电复合材料作为换能元件,通过特殊工艺制备成一面是平面、一面是球面的非均匀厚度压电振子.这种压电晶片加上激励电压后,不同厚度处以不同的共振频率振动,从而使压电晶片的振动频带加宽.本文介绍了这种压电晶片的机...
本文利用1-3压电复合材料作为换能元件,通过特殊工艺制备成一面是平面、一面是球面的非均匀厚度压电振子.这种压电晶片加上激励电压后,不同厚度处以不同的共振频率振动,从而使压电晶片的振动频带加宽.本文介绍了这种压电晶片的机电特性,以及用这种压电晶片制成的宽带聚焦超声换能器的脉冲回波特性。此外,文中还对这种换能器与均匀厚度压电晶片换能器的脉冲回波特性进行了比较.
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关键词
换能器
压电复合材料
非均匀厚度
压电片
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职称材料
AT切型石英晶圆抛光工艺对材料去除速率及厚度非均匀性的影响
被引量:
1
3
作者
万杨
陈庚豪
+2 位作者
栾兴贺
周龙早
吴丰顺
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第3期427-434,共8页
通过双面抛光工艺研究了抛光盘转速、抛光盘压力及抛光垫材质与厚度等对AT切型石英晶圆材料去除速率(MRR)与厚度非均匀性(TNU)的影响。实验结果表明,抛光盘压力越大、转速越高,材料去除速率越高;晶圆厚度非均匀性随抛光盘压力增加先减...
通过双面抛光工艺研究了抛光盘转速、抛光盘压力及抛光垫材质与厚度等对AT切型石英晶圆材料去除速率(MRR)与厚度非均匀性(TNU)的影响。实验结果表明,抛光盘压力越大、转速越高,材料去除速率越高;晶圆厚度非均匀性随抛光盘压力增加先减小后增加,随抛光盘转速增加而增加;杨氏模量越大、厚度越薄的抛光垫在晶圆表面产生的压力分布越均匀,有助于提高抛光均匀性。最后基于上述实验结果对抛光工艺参数进行了优化,优化后晶圆的材料去除速率为0.9μm/h、单片晶圆厚度非均匀性小于1.5‰、表面粗糙度为0.6 nm。该研究结果适用于石英晶圆的批量抛光工艺,对石英晶圆加工企业的抛光工艺优化有较高的参考价值。
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关键词
石英晶圆
双面抛光
材料去除速率(MRR)
厚度
非
均匀
性(TNU)
有限元分析
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职称材料
变厚度聚焦换能器对声焦域轴向长度影响的研究
4
作者
郑维成
李全义
+2 位作者
李小娟
谭坚文
杨增涛
《应用声学》
CSCD
北大核心
2020年第3期372-378,共7页
针对不同厚度的病变组织,改变声焦域轴向长度能提高高强度聚焦超声在临床治疗过程中的安全性和有效性。基于多频超声波叠加原理,该文提出了变厚度(多频)聚焦换能器,并设计了两种类型变厚度聚焦换能器。根据瑞利积分法推导了变厚度聚焦...
针对不同厚度的病变组织,改变声焦域轴向长度能提高高强度聚焦超声在临床治疗过程中的安全性和有效性。基于多频超声波叠加原理,该文提出了变厚度(多频)聚焦换能器,并设计了两种类型变厚度聚焦换能器。根据瑞利积分法推导了变厚度聚焦换能器声场,计算和分析了变厚度聚焦换能器的声焦域轴向长度,并与等厚度(单频)聚焦换能器声焦域轴向长度进行对比。结果显示,变厚度聚焦换能器中心到边缘的厚度变化趋势与声焦域轴向长度变化相关,中间薄两边厚换能器声焦域轴向长度缩短,中间厚两边薄换能器声焦域轴向长度变长,且实验验证了理论的正确性。研究结果可为变厚度聚焦换能器声场研究和高强度聚焦超声的临床治疗提供参考。
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关键词
变
厚度
聚焦换能器
多频
声焦域轴向长度
非均匀厚度
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职称材料
题名
一种分析非均匀厚度1-3型压电复合材料换能器性能的方法
被引量:
7
1
作者
孙瑛琦
曾德平
张春杨
许佳琪
张菁霓
龚洋
何倩
高雪梅
杨增涛
机构
重庆医科大学生物医学工程学院省部共建国家重点实验室培育基地-重庆市超声医学工程重点实验室重庆市生物医学工程学重点实验室重庆市微无创医学协同创新中心
出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2019年第8期75-79,共5页
基金
国家自然科学基金(81201102)
重庆医科大学"创新实验"项目(重医大实教[2016]2号)
文摘
非均匀厚度1-3型压电复合材料可用于制作宽带压电换能器,已广泛应用于水浸无损探伤、声波测井以及超声成像等领域。为分析该换能器的振动及其性能,提出了一种并联振子等效电路模型,将非均匀厚度1-3型压电复合材料换能器看成并联的谐振器阵列,采用三维厚度伸缩振动模型对单个谐振器单元进行理论分析,得出了非均匀厚度1-3型压电复合材料换能器的阻抗计算公式;为验证该模型的正确性,设计并制作了一个平凹的1-3型压电复合材料换能器;实验结果显示,并联振子等效电路模型能准确的分析非均匀厚度1-3型压电复合材料片的性能。结果表明,非均匀厚度换能器带宽的主要是由压电片的厚度差异决定,研究结果可为非均匀厚度宽带换能器的设计提供参考。
关键词
非均匀厚度
1-3型压电复合材料
并联振子等效电路模型
阻抗
Keywords
non-uniform thickness
1-3 piezoelectric composites
equivalent circuit model of the parallel oscillator
impedance
分类号
TB332 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
一种非均匀厚度压电复合材料片宽带换能器的实验研究
被引量:
2
2
作者
耿学仓
杨玉瑞
党长久
李明轩
机构
中科院声学所
出处
《应用声学》
CSCD
1995年第2期21-26,共6页
基金
国家自然科学基金
文摘
本文利用1-3压电复合材料作为换能元件,通过特殊工艺制备成一面是平面、一面是球面的非均匀厚度压电振子.这种压电晶片加上激励电压后,不同厚度处以不同的共振频率振动,从而使压电晶片的振动频带加宽.本文介绍了这种压电晶片的机电特性,以及用这种压电晶片制成的宽带聚焦超声换能器的脉冲回波特性。此外,文中还对这种换能器与均匀厚度压电晶片换能器的脉冲回波特性进行了比较.
关键词
换能器
压电复合材料
非均匀厚度
压电片
Keywords
Transducers, Piezocomposites, Piezoelectric plate of nonhomogeneous thickness
分类号
TB33 [一般工业技术—材料科学与工程]
TB552 [理学—声学]
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职称材料
题名
AT切型石英晶圆抛光工艺对材料去除速率及厚度非均匀性的影响
被引量:
1
3
作者
万杨
陈庚豪
栾兴贺
周龙早
吴丰顺
机构
华中科技大学材料科学与工程学院
微纳米晶体加工技术湖北省重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第3期427-434,共8页
基金
国家自然科学基金(62074062,61574068)
湖北省重点研发计划项目(2020BAA014)。
文摘
通过双面抛光工艺研究了抛光盘转速、抛光盘压力及抛光垫材质与厚度等对AT切型石英晶圆材料去除速率(MRR)与厚度非均匀性(TNU)的影响。实验结果表明,抛光盘压力越大、转速越高,材料去除速率越高;晶圆厚度非均匀性随抛光盘压力增加先减小后增加,随抛光盘转速增加而增加;杨氏模量越大、厚度越薄的抛光垫在晶圆表面产生的压力分布越均匀,有助于提高抛光均匀性。最后基于上述实验结果对抛光工艺参数进行了优化,优化后晶圆的材料去除速率为0.9μm/h、单片晶圆厚度非均匀性小于1.5‰、表面粗糙度为0.6 nm。该研究结果适用于石英晶圆的批量抛光工艺,对石英晶圆加工企业的抛光工艺优化有较高的参考价值。
关键词
石英晶圆
双面抛光
材料去除速率(MRR)
厚度
非
均匀
性(TNU)
有限元分析
Keywords
quartz wafer
double-sided polishing
material removal rate(MRR)
thickness nonuniformity(TNU)
finite element analysis
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
变厚度聚焦换能器对声焦域轴向长度影响的研究
4
作者
郑维成
李全义
李小娟
谭坚文
杨增涛
机构
超声医学工程国家重点实验室
深圳武警医院
出处
《应用声学》
CSCD
北大核心
2020年第3期372-378,共7页
基金
重庆市自然科学基金项目(cstc2019jcyj-msxmX0098)。
文摘
针对不同厚度的病变组织,改变声焦域轴向长度能提高高强度聚焦超声在临床治疗过程中的安全性和有效性。基于多频超声波叠加原理,该文提出了变厚度(多频)聚焦换能器,并设计了两种类型变厚度聚焦换能器。根据瑞利积分法推导了变厚度聚焦换能器声场,计算和分析了变厚度聚焦换能器的声焦域轴向长度,并与等厚度(单频)聚焦换能器声焦域轴向长度进行对比。结果显示,变厚度聚焦换能器中心到边缘的厚度变化趋势与声焦域轴向长度变化相关,中间薄两边厚换能器声焦域轴向长度缩短,中间厚两边薄换能器声焦域轴向长度变长,且实验验证了理论的正确性。研究结果可为变厚度聚焦换能器声场研究和高强度聚焦超声的临床治疗提供参考。
关键词
变
厚度
聚焦换能器
多频
声焦域轴向长度
非均匀厚度
Keywords
Variable thickness focusing transducer
Multi-frequency
The axial length of the acoustic focal region
Non-uniform thickness
分类号
TB552 [理学—声学]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种分析非均匀厚度1-3型压电复合材料换能器性能的方法
孙瑛琦
曾德平
张春杨
许佳琪
张菁霓
龚洋
何倩
高雪梅
杨增涛
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2019
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
一种非均匀厚度压电复合材料片宽带换能器的实验研究
耿学仓
杨玉瑞
党长久
李明轩
《应用声学》
CSCD
1995
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
AT切型石英晶圆抛光工艺对材料去除速率及厚度非均匀性的影响
万杨
陈庚豪
栾兴贺
周龙早
吴丰顺
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
变厚度聚焦换能器对声焦域轴向长度影响的研究
郑维成
李全义
李小娟
谭坚文
杨增涛
《应用声学》
CSCD
北大核心
2020
0
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职称材料
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