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一种分析非均匀厚度1-3型压电复合材料换能器性能的方法 被引量:7
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作者 孙瑛琦 曾德平 +6 位作者 张春杨 许佳琪 张菁霓 龚洋 何倩 高雪梅 杨增涛 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2019年第8期75-79,共5页
非均匀厚度1-3型压电复合材料可用于制作宽带压电换能器,已广泛应用于水浸无损探伤、声波测井以及超声成像等领域。为分析该换能器的振动及其性能,提出了一种并联振子等效电路模型,将非均匀厚度1-3型压电复合材料换能器看成并联的谐振... 非均匀厚度1-3型压电复合材料可用于制作宽带压电换能器,已广泛应用于水浸无损探伤、声波测井以及超声成像等领域。为分析该换能器的振动及其性能,提出了一种并联振子等效电路模型,将非均匀厚度1-3型压电复合材料换能器看成并联的谐振器阵列,采用三维厚度伸缩振动模型对单个谐振器单元进行理论分析,得出了非均匀厚度1-3型压电复合材料换能器的阻抗计算公式;为验证该模型的正确性,设计并制作了一个平凹的1-3型压电复合材料换能器;实验结果显示,并联振子等效电路模型能准确的分析非均匀厚度1-3型压电复合材料片的性能。结果表明,非均匀厚度换能器带宽的主要是由压电片的厚度差异决定,研究结果可为非均匀厚度宽带换能器的设计提供参考。 展开更多
关键词 非均匀厚度 1-3型压电复合材料 并联振子等效电路模型 阻抗
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一种非均匀厚度压电复合材料片宽带换能器的实验研究 被引量:2
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作者 耿学仓 杨玉瑞 +1 位作者 党长久 李明轩 《应用声学》 CSCD 1995年第2期21-26,共6页
本文利用1-3压电复合材料作为换能元件,通过特殊工艺制备成一面是平面、一面是球面的非均匀厚度压电振子.这种压电晶片加上激励电压后,不同厚度处以不同的共振频率振动,从而使压电晶片的振动频带加宽.本文介绍了这种压电晶片的机... 本文利用1-3压电复合材料作为换能元件,通过特殊工艺制备成一面是平面、一面是球面的非均匀厚度压电振子.这种压电晶片加上激励电压后,不同厚度处以不同的共振频率振动,从而使压电晶片的振动频带加宽.本文介绍了这种压电晶片的机电特性,以及用这种压电晶片制成的宽带聚焦超声换能器的脉冲回波特性。此外,文中还对这种换能器与均匀厚度压电晶片换能器的脉冲回波特性进行了比较. 展开更多
关键词 换能器 压电复合材料 非均匀厚度 压电片
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AT切型石英晶圆抛光工艺对材料去除速率及厚度非均匀性的影响 被引量:1
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作者 万杨 陈庚豪 +2 位作者 栾兴贺 周龙早 吴丰顺 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第3期427-434,共8页
通过双面抛光工艺研究了抛光盘转速、抛光盘压力及抛光垫材质与厚度等对AT切型石英晶圆材料去除速率(MRR)与厚度非均匀性(TNU)的影响。实验结果表明,抛光盘压力越大、转速越高,材料去除速率越高;晶圆厚度非均匀性随抛光盘压力增加先减... 通过双面抛光工艺研究了抛光盘转速、抛光盘压力及抛光垫材质与厚度等对AT切型石英晶圆材料去除速率(MRR)与厚度非均匀性(TNU)的影响。实验结果表明,抛光盘压力越大、转速越高,材料去除速率越高;晶圆厚度非均匀性随抛光盘压力增加先减小后增加,随抛光盘转速增加而增加;杨氏模量越大、厚度越薄的抛光垫在晶圆表面产生的压力分布越均匀,有助于提高抛光均匀性。最后基于上述实验结果对抛光工艺参数进行了优化,优化后晶圆的材料去除速率为0.9μm/h、单片晶圆厚度非均匀性小于1.5‰、表面粗糙度为0.6 nm。该研究结果适用于石英晶圆的批量抛光工艺,对石英晶圆加工企业的抛光工艺优化有较高的参考价值。 展开更多
关键词 石英晶圆 双面抛光 材料去除速率(MRR) 厚度均匀性(TNU) 有限元分析
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变厚度聚焦换能器对声焦域轴向长度影响的研究
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作者 郑维成 李全义 +2 位作者 李小娟 谭坚文 杨增涛 《应用声学》 CSCD 北大核心 2020年第3期372-378,共7页
针对不同厚度的病变组织,改变声焦域轴向长度能提高高强度聚焦超声在临床治疗过程中的安全性和有效性。基于多频超声波叠加原理,该文提出了变厚度(多频)聚焦换能器,并设计了两种类型变厚度聚焦换能器。根据瑞利积分法推导了变厚度聚焦... 针对不同厚度的病变组织,改变声焦域轴向长度能提高高强度聚焦超声在临床治疗过程中的安全性和有效性。基于多频超声波叠加原理,该文提出了变厚度(多频)聚焦换能器,并设计了两种类型变厚度聚焦换能器。根据瑞利积分法推导了变厚度聚焦换能器声场,计算和分析了变厚度聚焦换能器的声焦域轴向长度,并与等厚度(单频)聚焦换能器声焦域轴向长度进行对比。结果显示,变厚度聚焦换能器中心到边缘的厚度变化趋势与声焦域轴向长度变化相关,中间薄两边厚换能器声焦域轴向长度缩短,中间厚两边薄换能器声焦域轴向长度变长,且实验验证了理论的正确性。研究结果可为变厚度聚焦换能器声场研究和高强度聚焦超声的临床治疗提供参考。 展开更多
关键词 厚度聚焦换能器 多频 声焦域轴向长度 非均匀厚度
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