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基于Modelica的MEMS系统级多领域建模与仿真 被引量:2
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作者 胡伟 魏昕 谢小柱 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第10期1413-1416,共4页
分析了现有的MEMS系统级建模与仿真方法,讨论了运用Modelica语言进行面向对象的非因果关系建模方法,建立了基于Modelica的电容式微型静电致动器系统级模型,仿真结果证明了Modelica用于MEMS系统级多领域仿真的可行性。
关键词 Modelica多领域仿真 面向对象 非因果关系模型 微型静电致动器
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