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高精度非回转对称非球面加工方法研究 被引量:13
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作者 徐乐 张春雷 +1 位作者 代雷 张健 《中国光学》 EI CAS CSCD 2016年第3期364-370,共7页
本文提出一种高精度非回转对称非球面加工方法。首先,通过范成法铣磨出非回转对称非球面的最佳拟合球;然后,利用古典抛光修正小磨头确定抛光难以修正的中频误差;最后,利用高精度气囊抛光设备(IRP)精确对位精修面形,在不引入额外中频误... 本文提出一种高精度非回转对称非球面加工方法。首先,通过范成法铣磨出非回转对称非球面的最佳拟合球;然后,利用古典抛光修正小磨头确定抛光难以修正的中频误差;最后,利用高精度气囊抛光设备(IRP)精确对位精修面形,在不引入额外中频误差条件下,通过高精度对位检测技术实现非回转对称非球面高精度加工。将该方法应用于定点曲率半径为970.737 mm、k=-1、口径为106 mm三次非球面加工,降低了加工难度,提高了加工精度,面形误差收敛到1/30λ(RMS)。实验结果验证了本文加工方法的正确性和可行性,对高精度非回转对称非球面加工具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 非回转对称 球面 气囊抛光 IRP 抛光
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一种SiC非回转对称非球面的加工与检测 被引量:4
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作者 闫锋 范镝 +3 位作者 张斌智 殷龙海 李锐刚 张学军 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期135-139,共5页
针对一种SiC材质的非回转对称非球面元件,本文介绍了该元件的加工和检测方法。该实验件的理想面形方程为z=3λ(x3+y3)(x,y为归一化坐标,λ=0.6328μm),镜胚材料为Φ150mm的SiC,加工方式为数控机床和手工研抛相结合。在加工过程中为提高... 针对一种SiC材质的非回转对称非球面元件,本文介绍了该元件的加工和检测方法。该实验件的理想面形方程为z=3λ(x3+y3)(x,y为归一化坐标,λ=0.6328μm),镜胚材料为Φ150mm的SiC,加工方式为数控机床和手工研抛相结合。在加工过程中为提高加工效率缩短加工时间,选择平面作为最接近表面并认为去除了面形中的倾斜项。去倾斜之前最低点的材料去除量为3.8μm,而去倾斜后则为2.06μm。本文提出了一种新的基于数字模板的非零位检测方法。直接采用Zygo平面干涉仪检测工件,检测结果可以分为三部分:工件实际面形与理想面形的误差,工件理想面形与平面波前的误差和非共路误差。其中第二部分可以事先计算出来并转换为系统误差文件在检测过程中自动去除。通过在相同条件下检测一个已知的球面样板验证了非共路误差对于检测结果的影响可以忽略不计。由此在一次测量中可直接得到面形误差。实验结果表明,基于这种检测手段最后测得实验件的面形精度PV达到0.327λ,RMS优于0.025λ,达到设计要求。 展开更多
关键词 SIC 非回转对称 球面 零位检测 数字模板 面形精度
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非回转对称拉深中法兰材料变形规律的研究 被引量:9
3
作者 鄂大辛 庞愉平 水野高尔 《机械工程》 CSCD 北大核心 2004年第5期462-464,共3页
非回转对称拉深成形过程中 ,压料面上法兰材料是变形的主体 ,直接影响到拉深成形性。在大量试验及测量计算的基础上 ,分析了矩形盒件拉深过程中压料面上法兰各部分材料的变形规律 ;指出法兰曲边材料向直边流入所带来的变形缓和效应与应... 非回转对称拉深成形过程中 ,压料面上法兰材料是变形的主体 ,直接影响到拉深成形性。在大量试验及测量计算的基础上 ,分析了矩形盒件拉深过程中压料面上法兰各部分材料的变形规律 ;指出法兰曲边材料向直边流入所带来的变形缓和效应与应力分布及其应变成分比的共同作用 ,是使矩形盒局部拉深比显著增大的重要原因。 展开更多
关键词 非回转对称拉深 拉深过程 法兰 拉深成形 成形过程 材料变形 变形规律 共同作用 中压 基础
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板坯形状对非回转对称拉深成形性的影响 被引量:7
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作者 鄂大辛 水野高爾 《塑性工程学报》 EI CAS CSCD 2004年第1期25-28,共4页
基于大型覆盖件成形的基础试验研究 ,在大量非回转对称拉深试验和对矩形盒拉深中特定部位进行应力应变解析的基础上 ,分析了板坯形状对非回转对称拉深成形性和成形极限的影响。指出使用矩形切角板坯可在一定程度上缓解非拉深变形并降低... 基于大型覆盖件成形的基础试验研究 ,在大量非回转对称拉深试验和对矩形盒拉深中特定部位进行应力应变解析的基础上 ,分析了板坯形状对非回转对称拉深成形性和成形极限的影响。指出使用矩形切角板坯可在一定程度上缓解非拉深变形并降低成形载荷 ,从而相应地提高拉深成形性和成形极限。 展开更多
关键词 非回转对称拉深 矩形切角板坯 成性形 法兰
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非回转对称拉深法兰曲边变形特性的实验研究 被引量:1
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作者 鄂大辛 水野高爾 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期351-354,共4页
为了进一步认识和掌握薄板非回转对称成形性,向大型复杂覆盖件成形工艺及模具设计提供参考,采用试验和有限元模拟相结合的研究方法,进一步深入分析了矩形盒拉深中法兰曲边的变形特性.研究表明,在本试验条件下,法兰曲边对角线上的等效应... 为了进一步认识和掌握薄板非回转对称成形性,向大型复杂覆盖件成形工艺及模具设计提供参考,采用试验和有限元模拟相结合的研究方法,进一步深入分析了矩形盒拉深中法兰曲边的变形特性.研究表明,在本试验条件下,法兰曲边对角线上的等效应变随矩形盒转角半径减小而减小,但变形向凹模口附近集中,不利于提高矩形盒成形性.另外,由试验、数值模拟及公式计算共同证实的法兰各特征区域的板厚变形分布状态,对于法兰应力应变分析以及分块变压料力控制拉深试验研究具有一定参考价值. 展开更多
关键词 非回转对称拉深 矩形盒 法兰曲边 变形抵抗
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刀尖安装误差对非回转对称曲面加工精度影响的研究 被引量:1
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作者 王晓军 陈壮 任衍涛 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期9-13,共5页
对精密数控车铣复合机床采用慢刀伺服原理,利用柱坐标系(X、Z、C三轴联动)可进行非回转对称光学曲面的加工。为保证光学曲面加工精度,研究刀具Y向安装误差对非回转对称曲面形状精度的影响,推导误差公式。为实现刀尖的Y向调节,采用斜楔... 对精密数控车铣复合机床采用慢刀伺服原理,利用柱坐标系(X、Z、C三轴联动)可进行非回转对称光学曲面的加工。为保证光学曲面加工精度,研究刀具Y向安装误差对非回转对称曲面形状精度的影响,推导误差公式。为实现刀尖的Y向调节,采用斜楔调整原理,设计并制作线性可调刀架,并用一种新的调试系统与方法保证刀尖安装的高度。结果表明:线性可调刀架结构简单、功能可靠、调整精度高,加工的曲面能满足精度要求。 展开更多
关键词 机械制造工艺与设备 线性可调刀架 安装误差 非回转对称曲面 车铣复合加工
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非回转对称拉深成形的有限元模拟
7
作者 赵文亮 鄂大辛 《现代制造工程》 CSCD 2005年第6期43-45,共3页
阐述钣料拉深成形有限元模拟的基本理论及关键技术,对非回转对称拉深成形的典型零件—矩形盒进行了成形模拟,分析其材料流动规律和应力应变状态。
关键词 非回转对称 有限元模拟 成形性 钣坯形状
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一种非回转对称高精度L型台阶的加工方法
8
作者 王明辉 赵宝奇 孙红晓 《电光与控制》 北大核心 2011年第8期94-96,共3页
介绍了一种在光学透镜上加工非回转对称、高精度L型台阶的方法。该方法巧妙开发了现有光学数控设备棱镜铣磨机的功能,同时利用金刚石磨轮的外圆及端面,并通过设计合理的工装夹具及编程技巧,有效解决了零件的装夹问题及设备非常规状态下... 介绍了一种在光学透镜上加工非回转对称、高精度L型台阶的方法。该方法巧妙开发了现有光学数控设备棱镜铣磨机的功能,同时利用金刚石磨轮的外圆及端面,并通过设计合理的工装夹具及编程技巧,有效解决了零件的装夹问题及设备非常规状态下的正常运行,实现了在光学透镜上加工出非回转对称、高精度L型缺口台阶。 展开更多
关键词 光学加工 非回转对称 L型台阶 护目镜
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磁流变抛光回转对称非球面工件精确自定位 被引量:8
9
作者 周涛 张云飞 +2 位作者 樊炜 黄文 张建飞 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期610-620,共11页
为解决磁流变抛光中回转对称非球面工件的高效率精确自定位问题,提出了基于迭代最近点的改进两级定位方法。根据磁流变抛光特性和恒浸深控制要求,确定了磁流变抛光工件非调平自定位原理。针对经典迭代最近点算法应用于回转对称非球面工... 为解决磁流变抛光中回转对称非球面工件的高效率精确自定位问题,提出了基于迭代最近点的改进两级定位方法。根据磁流变抛光特性和恒浸深控制要求,确定了磁流变抛光工件非调平自定位原理。针对经典迭代最近点算法应用于回转对称非球面工件定位存在解不唯一及计算效率低的问题,构建初始迭代矩阵实现了位姿唯一的指定性匹配,并提出了空间垂直映射方法,减小匹配点云的规模,提高了计算效率。以此为基础,提出了改进后的两级迭代最近点精确定位方法。最后,以Φ100 mm凹形抛物面熔石英工件为对象进行了抛光实验。实验结果表明:改进两级精确定位方法满足磁流变抛光的定位要求,定位精度在多次实验中均优于9μm,平均定位时间为7.3 min,在保证定位精度的同时提高了工件的定位效率。 展开更多
关键词 磁流变抛光 回转对称球面 迭代最近点 指定性匹配 垂直映射
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回转对称非球面气囊抛光控制算法研究 被引量:4
10
作者 王云飞 姚英学 余顺周 《现代制造工程》 CSCD 2006年第8期9-11,14,共4页
介绍一种新型的非球面光学零件抛光方法———气囊抛光,这种方法可以得到高质量的光学表面。针对气囊抛光加工回转对称非球面的特点,进行抛光路径规划,对去除函数进行降维处理,提出抛光驻留时间的计算方法。最后,给出抛光算法的实现框图... 介绍一种新型的非球面光学零件抛光方法———气囊抛光,这种方法可以得到高质量的光学表面。针对气囊抛光加工回转对称非球面的特点,进行抛光路径规划,对去除函数进行降维处理,提出抛光驻留时间的计算方法。最后,给出抛光算法的实现框图,并按照实现框图指导实际的玻璃非球面加工,取得满意结果,验证了算法的有效性。 展开更多
关键词 气囊抛光 回转对称球面 路径规划 去除函数 驻留时间
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轴对称非球面轨迹包络磨削中砂轮对刀误差分析 被引量:3
11
作者 周旭光 阎秋生 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2014年第6期46-49,共4页
硬脆材料的轴对称非球面光学零件所具有的回转曲面,既需要达到很低的表面粗糙度值又要有很高的几何形状精度,采用轨迹包络磨削加工是达到其精度要求的重要工艺方法。轨迹包络磨削过程中,砂轮的对刀误差是影响轴对称非球面形状精度的关... 硬脆材料的轴对称非球面光学零件所具有的回转曲面,既需要达到很低的表面粗糙度值又要有很高的几何形状精度,采用轨迹包络磨削加工是达到其精度要求的重要工艺方法。轨迹包络磨削过程中,砂轮的对刀误差是影响轴对称非球面形状精度的关键因素之一。通过建立砂轮的对刀误差数学模型,推导出轨迹包络磨削轴对称回转非球面过程中出现对刀误差时的磨削轨迹曲线方程,并分析了x方向存在、y方向存在、x和y方向同时存在对刀误差对轴对称回转非球面的曲面形状精度的影响。分析结果表明:砂轮的对刀误差将影响轴对称回转非球面的母线的形状和位置。 展开更多
关键词 对称回转球面 母线 对刀误差 轨迹包络磨削法
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薄板矩形盒拉深试验及应力分析 被引量:1
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作者 鄂大辛 水野髙爾 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1195-1197,共3页
利用法兰曲边当量半径的简化方法对矩形盒拉深中的直边和曲边侧壁部拉入方向的应力分布进行了分析和计算,其结果与试验和有限元计算结果基本吻合。指出矩形盒短边侧壁拉深方向的应力值较大,沿凹模入口线上,角部拉入应力最大,直边部径向... 利用法兰曲边当量半径的简化方法对矩形盒拉深中的直边和曲边侧壁部拉入方向的应力分布进行了分析和计算,其结果与试验和有限元计算结果基本吻合。指出矩形盒短边侧壁拉深方向的应力值较大,沿凹模入口线上,角部拉入应力最大,直边部径向应力在零上下波动,凹模入口线附近局部区域存在法向压缩变形倾向。 展开更多
关键词 非回转对称拉深 数值计算 应力分析 法兰曲边
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光学工艺
13
《中国光学与应用光学》 2007年第2期93-95,共3页
关键词 自聚焦透镜 压印光刻 子孔径拼接检测 光刻图形 数字光刻 计算机控制光学表面成形 干法刻蚀 光刻系统 刻蚀形貌 激光直写 负性光刻胶 激光功率密度 磁流变抛光 数字波面干涉仪 曝光工艺 气囊抛光 微细加工 回转对称球面 激光干涉仪 光学干涉仪 锥体棱镜
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