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基于非周期多层膜的X射线成像研究
被引量:
10
1
作者
顾春时
王占山
+4 位作者
穆宝忠
王风丽
张众
秦树基
陈玲燕
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期881-885,共5页
本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场...
本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场的空间分辨率优于10μm·采用磁控溅射方法制备了W/B4C非周期多层膜,经X射线衍射仪(XRD,工作能量8keV)测量,其反射率为20%,带宽为0.3°,达到了KB型显微镜成像系统的要求·使用Cu靶X射线管进行了成像实验,得到了放大倍数分别为1倍和2倍的一维X射线像·
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关键词
KB型显微镜
X射线
非周期多层膜
X射线成像
空间分辨率
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职称材料
非周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像
被引量:
5
2
作者
王新
穆宝忠
+5 位作者
伊圣振
朱京涛
王占山
丁永坤
缪文勇
董建军
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期1553-1557,共5页
从光线传播的角度分析了非周期多层膜Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的成像性能,并与单层膜KB显微镜、周期多层膜KB显微镜进行了对比。与单层膜KB显微镜相比,多层膜KB显微镜提高了工作掠入射角度,在同样分辨力和集光效率要求下具有更大的...
从光线传播的角度分析了非周期多层膜Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的成像性能,并与单层膜KB显微镜、周期多层膜KB显微镜进行了对比。与单层膜KB显微镜相比,多层膜KB显微镜提高了工作掠入射角度,在同样分辨力和集光效率要求下具有更大的视场。周期多层膜KB显微镜的反射率和能量分辨本领高于非周期多层膜KB显微镜,但非周期多层膜元件具有较大的角度带宽和均一的反射率,克服了周期多层膜KB显微镜视场范围和像场均匀性的不足。在此基础上,制备了中心角度1.133 0°的非周期多层膜反射镜元件,以8 keV能量的X射线光管为背光源进行了KB显微镜成像实验,实验结果与理论分析一致。
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关键词
Kirkpatrick-Baez显微镜
X射线成像
非周期多层膜
空间分辨力
集光效率
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职称材料
eXTP望远镜用W/Si多层膜
被引量:
1
3
作者
齐润泽
黄秋实
+2 位作者
杨洋
张众
王占山
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第11期2796-2802,共7页
针对增强型X射线时变与偏振探测卫星(eXTP)项目中嵌套式聚焦成像望远镜对柱面镜片上W/Si多层膜的要求,在掠入射角为0.5°,工作波段为1~30keV条件下,设计了非周期W/Si多层膜并优化了薄膜制备工艺。首先,利用分隔板和掩模板对溅射粒...
针对增强型X射线时变与偏振探测卫星(eXTP)项目中嵌套式聚焦成像望远镜对柱面镜片上W/Si多层膜的要求,在掠入射角为0.5°,工作波段为1~30keV条件下,设计了非周期W/Si多层膜并优化了薄膜制备工艺。首先,利用分隔板和掩模板对溅射粒子进行准直,同时优化了本底真空度和溅射工作气压,提升了薄膜的成膜质量;然后,通过调整分隔板间距和公转速率提升了在柱面基底上薄膜的沉积均匀性;最后,利用幂指数算法设计了非周期多层膜,并在北京同步辐射光源上进行了多能点反射率测试,得到了与理论设计基本吻合的测试结果。基于优化的制备工艺制备了周期数为80,周期为3.8nm和W膜层厚度占比为0.47的W/Si周期多层膜,其界面粗糙度仅为0.29nm,柱面镜薄膜厚度误差可控制在3%以内,基本满足了eXTP项目中嵌套式掠入射望远镜镜片用多层膜对于成膜质量、沉积厚度均匀性和能谱响应宽度的需求。
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关键词
eXTP项目
界面粗糙度
薄
膜
厚度均匀性
柱面镜
非周期多层膜
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职称材料
薄膜光学理论与膜系设计
4
《中国光学》
EI
CAS
2000年第4期66-69,共4页
O484.1 200004267 4软X射线宽带多层膜设计与实验=Soft X-raywide band multilayer films[刊,中]/王占山,马月英,曹健林,陈星旦(中科院长春光机所应用光学国家重点实验室.吉林,长春(130022)),柯常军,张铁强(吉林工业大学物理系.吉林,长...
O484.1 200004267 4软X射线宽带多层膜设计与实验=Soft X-raywide band multilayer films[刊,中]/王占山,马月英,曹健林,陈星旦(中科院长春光机所应用光学国家重点实验室.吉林,长春(130022)),柯常军,张铁强(吉林工业大学物理系.吉林,长春(130025))//科学通报.—1999,44(9).—930—937以周期膜理论为基础,改进了已有的设计方法,采用随机数的方法在18 nm~20 nm波段设计了积分反射率最大的宽带多层膜,理论上得到了高于周期膜系8%
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关键词
非周期多层膜
膜
系设计
金属陶瓷薄
膜
光学理论
积分反射率
国家重点实验室
设计方法
中科院
光谱分析
射线
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职称材料
光的偏振与色散
5
《中国光学》
EI
CAS
2008年第2期10-11,共2页
关键词
线偏振
测量方法
偏振光
波片
卡塞格伦望远镜
理论分析
补偿器
各向异性
孔径比
非周期多层膜
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职称材料
题名
基于非周期多层膜的X射线成像研究
被引量:
10
1
作者
顾春时
王占山
穆宝忠
王风丽
张众
秦树基
陈玲燕
机构
同济大学精密光学工程技术研究所物理系
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期881-885,共5页
基金
国家863-804-3项目(2004AA843081)
上海市博士后研究基金(05R214140)资助项目
文摘
本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场的空间分辨率优于10μm·采用磁控溅射方法制备了W/B4C非周期多层膜,经X射线衍射仪(XRD,工作能量8keV)测量,其反射率为20%,带宽为0.3°,达到了KB型显微镜成像系统的要求·使用Cu靶X射线管进行了成像实验,得到了放大倍数分别为1倍和2倍的一维X射线像·
关键词
KB型显微镜
X射线
非周期多层膜
X射线成像
空间分辨率
Keywords
KB microscope
X-ray non-periodic multilayer
X-ray imaging
Spatial resolution
分类号
O434.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
非周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像
被引量:
5
2
作者
王新
穆宝忠
伊圣振
朱京涛
王占山
丁永坤
缪文勇
董建军
机构
同济大学精密光学工程技术研究所
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期1553-1557,共5页
基金
国家高技术发展计划项目
国家自然科学基金项目(10825521
+1 种基金
10773007)
上海市科学技术委员会科研计划项目(07DZ22302)
文摘
从光线传播的角度分析了非周期多层膜Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的成像性能,并与单层膜KB显微镜、周期多层膜KB显微镜进行了对比。与单层膜KB显微镜相比,多层膜KB显微镜提高了工作掠入射角度,在同样分辨力和集光效率要求下具有更大的视场。周期多层膜KB显微镜的反射率和能量分辨本领高于非周期多层膜KB显微镜,但非周期多层膜元件具有较大的角度带宽和均一的反射率,克服了周期多层膜KB显微镜视场范围和像场均匀性的不足。在此基础上,制备了中心角度1.133 0°的非周期多层膜反射镜元件,以8 keV能量的X射线光管为背光源进行了KB显微镜成像实验,实验结果与理论分析一致。
关键词
Kirkpatrick-Baez显微镜
X射线成像
非周期多层膜
空间分辨力
集光效率
Keywords
Kirkpatrick-Baez microscope
X-ray imaging
non-periodic multilayer
spatial resolution
collection effi- ciency
分类号
O434.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
eXTP望远镜用W/Si多层膜
被引量:
1
3
作者
齐润泽
黄秋实
杨洋
张众
王占山
机构
同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所教育部先进微结构材料重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第11期2796-2802,共7页
基金
国家自然科学基金创新研究群体科学基金资助项目(No.61621001)
国家自然科学基金资助项目(No.11375130)
文摘
针对增强型X射线时变与偏振探测卫星(eXTP)项目中嵌套式聚焦成像望远镜对柱面镜片上W/Si多层膜的要求,在掠入射角为0.5°,工作波段为1~30keV条件下,设计了非周期W/Si多层膜并优化了薄膜制备工艺。首先,利用分隔板和掩模板对溅射粒子进行准直,同时优化了本底真空度和溅射工作气压,提升了薄膜的成膜质量;然后,通过调整分隔板间距和公转速率提升了在柱面基底上薄膜的沉积均匀性;最后,利用幂指数算法设计了非周期多层膜,并在北京同步辐射光源上进行了多能点反射率测试,得到了与理论设计基本吻合的测试结果。基于优化的制备工艺制备了周期数为80,周期为3.8nm和W膜层厚度占比为0.47的W/Si周期多层膜,其界面粗糙度仅为0.29nm,柱面镜薄膜厚度误差可控制在3%以内,基本满足了eXTP项目中嵌套式掠入射望远镜镜片用多层膜对于成膜质量、沉积厚度均匀性和能谱响应宽度的需求。
关键词
eXTP项目
界面粗糙度
薄
膜
厚度均匀性
柱面镜
非周期多层膜
Keywords
eXTP mission
interfacial roughness
thickness uniform
cylindrical mirror
depth graded multilayer
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TH743 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
薄膜光学理论与膜系设计
4
出处
《中国光学》
EI
CAS
2000年第4期66-69,共4页
文摘
O484.1 200004267 4软X射线宽带多层膜设计与实验=Soft X-raywide band multilayer films[刊,中]/王占山,马月英,曹健林,陈星旦(中科院长春光机所应用光学国家重点实验室.吉林,长春(130022)),柯常军,张铁强(吉林工业大学物理系.吉林,长春(130025))//科学通报.—1999,44(9).—930—937以周期膜理论为基础,改进了已有的设计方法,采用随机数的方法在18 nm~20 nm波段设计了积分反射率最大的宽带多层膜,理论上得到了高于周期膜系8%
关键词
非周期多层膜
膜
系设计
金属陶瓷薄
膜
光学理论
积分反射率
国家重点实验室
设计方法
中科院
光谱分析
射线
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
光的偏振与色散
5
出处
《中国光学》
EI
CAS
2008年第2期10-11,共2页
关键词
线偏振
测量方法
偏振光
波片
卡塞格伦望远镜
理论分析
补偿器
各向异性
孔径比
非周期多层膜
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于非周期多层膜的X射线成像研究
顾春时
王占山
穆宝忠
王风丽
张众
秦树基
陈玲燕
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
10
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职称材料
2
非周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像
王新
穆宝忠
伊圣振
朱京涛
王占山
丁永坤
缪文勇
董建军
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
eXTP望远镜用W/Si多层膜
齐润泽
黄秋实
杨洋
张众
王占山
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
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下载PDF
职称材料
4
薄膜光学理论与膜系设计
《中国光学》
EI
CAS
2000
0
在线阅读
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职称材料
5
光的偏振与色散
《中国光学》
EI
CAS
2008
0
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职称材料
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