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利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术
1
作者
邓晓蓓
王向军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004年第z1期31-35,共5页
本文的主要内容包括:(1)简要介绍了硅微型陀螺仪的分类及其基本工作原理,包括硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪、振动轮式微机械陀螺仪、硅微型框架驱动式陀螺仪.(2)详细介绍了以微陀螺为核心的微型惯性测量系统的组成,在应用中的关键技术...
本文的主要内容包括:(1)简要介绍了硅微型陀螺仪的分类及其基本工作原理,包括硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪、振动轮式微机械陀螺仪、硅微型框架驱动式陀螺仪.(2)详细介绍了以微陀螺为核心的微型惯性测量系统的组成,在应用中的关键技术,主要问题及解决途径,并展望了微型惯性测量系统的发展前景.(3)提出了利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术.
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关键词
MEMS
微
加工
硅
微
加工
非全硅微陀螺
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职称材料
题名
利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术
1
作者
邓晓蓓
王向军
机构
天津大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004年第z1期31-35,共5页
文摘
本文的主要内容包括:(1)简要介绍了硅微型陀螺仪的分类及其基本工作原理,包括硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪、振动轮式微机械陀螺仪、硅微型框架驱动式陀螺仪.(2)详细介绍了以微陀螺为核心的微型惯性测量系统的组成,在应用中的关键技术,主要问题及解决途径,并展望了微型惯性测量系统的发展前景.(3)提出了利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术.
关键词
MEMS
微
加工
硅
微
加工
非全硅微陀螺
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术
邓晓蓓
王向军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004
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