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硅微陀螺的静电-结构耦合分析与模拟
被引量:
3
1
作者
李伟剑
苑伟政
+1 位作者
马炳和
乔大勇
《西北工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期753-756,共4页
硅微陀螺是一个涉及力、电和流体等多个能量域的复杂系统 ,设计过程中综合考虑这些能量域的耦合作用有利于预测和改善陀螺的系统性能。本文采用半解析的方法分析了陀螺中的静电-结构耦合问题 ,引入机电转换单元模拟了偏置电压对驱动模...
硅微陀螺是一个涉及力、电和流体等多个能量域的复杂系统 ,设计过程中综合考虑这些能量域的耦合作用有利于预测和改善陀螺的系统性能。本文采用半解析的方法分析了陀螺中的静电-结构耦合问题 ,引入机电转换单元模拟了偏置电压对驱动模态和敏感模态频率的影响。结果表明基于半解析的耦合分析方法能准确快速地求解微陀螺的静电
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关键词
硅微陀螺
耦合
分析
静电-结构耦合
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职称材料
静电-非线性梁耦合问题的Galerkin谱方法求解
2
作者
林谢昭
应济
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期208-211,共4页
以受预应力直梁无阻尼模态作为Galerkin映射的谱函数,求解静电-非线性梁耦合微器件的动力学问题。对器件的Pull-in吸合和释放动态过程进行仿真,将结果与有限元结果和已有文献的结果比较来验证模型的有效性,研究表明:用这一方法建立的模...
以受预应力直梁无阻尼模态作为Galerkin映射的谱函数,求解静电-非线性梁耦合微器件的动力学问题。对器件的Pull-in吸合和释放动态过程进行仿真,将结果与有限元结果和已有文献的结果比较来验证模型的有效性,研究表明:用这一方法建立的模型不仅能够对不同载荷情况进行多次快速仿真,也能够对不同几何参数和材料参数的同类型器件进行快速计算,仿真精度高且减少了计算费用。
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关键词
静电-结构耦合
Galerkin映射
数值仿真
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职称材料
静电无阀微泵两种仿真模型的比较研究
被引量:
2
3
作者
林谢昭
应济
陈子辰
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期1943-1947,共5页
为提高无阀微泵性能,分别采用全耦合模型(FCM)和预先定义泵膜位移的模型(PDM)对基于扩散/收缩单元的静电无阀微泵的动态特性进行计算仿真.对泵膜变形形状、泵膜中点位移、泵腔内压力以及进出口处流量等的变化历程进行比较.结果表明:PDM...
为提高无阀微泵性能,分别采用全耦合模型(FCM)和预先定义泵膜位移的模型(PDM)对基于扩散/收缩单元的静电无阀微泵的动态特性进行计算仿真.对泵膜变形形状、泵膜中点位移、泵腔内压力以及进出口处流量等的变化历程进行比较.结果表明:PDM模型计算费用较低,但无法以较高精度近似泵膜变形的动态特性,进而导致错误的瞬态流场结果.要准确仿真微泵的动态特性,必须考虑电-结构-流场之间的相互作用.
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关键词
静电
无阀微泵
静电
-
结构
-
流体
耦合
MEMSCAD
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职称材料
四质量硅微陀螺阵列的正交误差校正系统分析
被引量:
1
4
作者
季奇波
张印强
+3 位作者
杨波
李丽娟
刘琴
周中鑫
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2019年第1期122-126,共5页
为了减小正交误差对硅微阵列陀螺仪测量精度的影响,提高系统性能,采用自适应模糊PID控制和正交耦合刚度校正法研究硅微阵列陀螺仪的正交误差校正问题。首先,分析了硅微阵列陀螺仪正交误差的产生原因及其对系统性能的影响;其次,阐述了基...
为了减小正交误差对硅微阵列陀螺仪测量精度的影响,提高系统性能,采用自适应模糊PID控制和正交耦合刚度校正法研究硅微阵列陀螺仪的正交误差校正问题。首先,分析了硅微阵列陀螺仪正交误差的产生原因及其对系统性能的影响;其次,阐述了基于静电结构耦合效应的正交耦合刚度校正法的工作原理,设计了校正电极;最后,基于自适应模糊PID控制设计了正交误差校正系统,根据系统不同的偏差E和偏差率Ec实现了PID参数的自整定。Simulink仿真结果表明基于自适应模糊PID的正交误差校正系统的动态响应速度是常规PID的3倍,超调量是常规PID的十分之一,有效地实现了正交误差校正,提高了系统的自适应性。
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关键词
硅微阵列陀螺仪
正交误差
静电-结构耦合
自适应模糊PID
正交
耦合
刚度校正
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职称材料
题名
硅微陀螺的静电-结构耦合分析与模拟
被引量:
3
1
作者
李伟剑
苑伟政
马炳和
乔大勇
机构
西北工业大学微/纳米系统实验室
出处
《西北工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期753-756,共4页
基金
国家自然科学基金 ( 5 0 2 0 5 0 2 2
5 0 375 12 5 )
文摘
硅微陀螺是一个涉及力、电和流体等多个能量域的复杂系统 ,设计过程中综合考虑这些能量域的耦合作用有利于预测和改善陀螺的系统性能。本文采用半解析的方法分析了陀螺中的静电-结构耦合问题 ,引入机电转换单元模拟了偏置电压对驱动模态和敏感模态频率的影响。结果表明基于半解析的耦合分析方法能准确快速地求解微陀螺的静电
关键词
硅微陀螺
耦合
分析
静电-结构耦合
Keywords
micromachined gyroscope, coupled domain analysis, electrostatic mechanical coupling
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TH702 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
静电-非线性梁耦合问题的Galerkin谱方法求解
2
作者
林谢昭
应济
机构
福州大学机械工程及自动化学院
浙江大学机械工程学系
出处
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期208-211,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50475104)
浙江省自然科学基金重点资助项目(Z106519)
福州大学科研启动基金资助项目(2011-XQ-14)
文摘
以受预应力直梁无阻尼模态作为Galerkin映射的谱函数,求解静电-非线性梁耦合微器件的动力学问题。对器件的Pull-in吸合和释放动态过程进行仿真,将结果与有限元结果和已有文献的结果比较来验证模型的有效性,研究表明:用这一方法建立的模型不仅能够对不同载荷情况进行多次快速仿真,也能够对不同几何参数和材料参数的同类型器件进行快速计算,仿真精度高且减少了计算费用。
关键词
静电-结构耦合
Galerkin映射
数值仿真
Keywords
Electrostatic
-
structure coupling
Galerkin mapping
Numerical simulation
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
静电无阀微泵两种仿真模型的比较研究
被引量:
2
3
作者
林谢昭
应济
陈子辰
机构
福州大学机械自动化学院
浙江大学机械与能源工程学院
出处
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期1943-1947,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(50475104)
浙江省自然科学基金资助项目(Z106519)
福建省教育厅资助项目(JB07007)
文摘
为提高无阀微泵性能,分别采用全耦合模型(FCM)和预先定义泵膜位移的模型(PDM)对基于扩散/收缩单元的静电无阀微泵的动态特性进行计算仿真.对泵膜变形形状、泵膜中点位移、泵腔内压力以及进出口处流量等的变化历程进行比较.结果表明:PDM模型计算费用较低,但无法以较高精度近似泵膜变形的动态特性,进而导致错误的瞬态流场结果.要准确仿真微泵的动态特性,必须考虑电-结构-流场之间的相互作用.
关键词
静电
无阀微泵
静电
-
结构
-
流体
耦合
MEMSCAD
Keywords
Electrostatically actuated valveless micropump
electrostatic
-
mechanic
-
fluidic coupled
MEMSCAD
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
四质量硅微陀螺阵列的正交误差校正系统分析
被引量:
1
4
作者
季奇波
张印强
杨波
李丽娟
刘琴
周中鑫
机构
南京工业大学电气工程与控制科学学院
东南大学仪器科学与工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2019年第1期122-126,共5页
基金
国家自然科学基金项目(61571156)
航空科学基金项目(20150869005)
江苏省高校自然科学研究项目(12KJD460003)
文摘
为了减小正交误差对硅微阵列陀螺仪测量精度的影响,提高系统性能,采用自适应模糊PID控制和正交耦合刚度校正法研究硅微阵列陀螺仪的正交误差校正问题。首先,分析了硅微阵列陀螺仪正交误差的产生原因及其对系统性能的影响;其次,阐述了基于静电结构耦合效应的正交耦合刚度校正法的工作原理,设计了校正电极;最后,基于自适应模糊PID控制设计了正交误差校正系统,根据系统不同的偏差E和偏差率Ec实现了PID参数的自整定。Simulink仿真结果表明基于自适应模糊PID的正交误差校正系统的动态响应速度是常规PID的3倍,超调量是常规PID的十分之一,有效地实现了正交误差校正,提高了系统的自适应性。
关键词
硅微阵列陀螺仪
正交误差
静电-结构耦合
自适应模糊PID
正交
耦合
刚度校正
Keywords
silicon micro
-
gyroscope array
quadrature error
electrostatic
-
structural coupling effect
adaptive Fuzzy
-
PID
quadrature coupling stiffness correction
分类号
V241 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅微陀螺的静电-结构耦合分析与模拟
李伟剑
苑伟政
马炳和
乔大勇
《西北工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
3
在线阅读
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职称材料
2
静电-非线性梁耦合问题的Galerkin谱方法求解
林谢昭
应济
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
静电无阀微泵两种仿真模型的比较研究
林谢昭
应济
陈子辰
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
2
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下载PDF
职称材料
4
四质量硅微陀螺阵列的正交误差校正系统分析
季奇波
张印强
杨波
李丽娟
刘琴
周中鑫
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2019
1
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职称材料
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