期刊文献+
共找到4篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
硅微陀螺的静电-结构耦合分析与模拟 被引量:3
1
作者 李伟剑 苑伟政 +1 位作者 马炳和 乔大勇 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期753-756,共4页
硅微陀螺是一个涉及力、电和流体等多个能量域的复杂系统 ,设计过程中综合考虑这些能量域的耦合作用有利于预测和改善陀螺的系统性能。本文采用半解析的方法分析了陀螺中的静电-结构耦合问题 ,引入机电转换单元模拟了偏置电压对驱动模... 硅微陀螺是一个涉及力、电和流体等多个能量域的复杂系统 ,设计过程中综合考虑这些能量域的耦合作用有利于预测和改善陀螺的系统性能。本文采用半解析的方法分析了陀螺中的静电-结构耦合问题 ,引入机电转换单元模拟了偏置电压对驱动模态和敏感模态频率的影响。结果表明基于半解析的耦合分析方法能准确快速地求解微陀螺的静电 展开更多
关键词 硅微陀螺 耦合分析 静电-结构耦合
在线阅读 下载PDF
静电-非线性梁耦合问题的Galerkin谱方法求解
2
作者 林谢昭 应济 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期208-211,共4页
以受预应力直梁无阻尼模态作为Galerkin映射的谱函数,求解静电-非线性梁耦合微器件的动力学问题。对器件的Pull-in吸合和释放动态过程进行仿真,将结果与有限元结果和已有文献的结果比较来验证模型的有效性,研究表明:用这一方法建立的模... 以受预应力直梁无阻尼模态作为Galerkin映射的谱函数,求解静电-非线性梁耦合微器件的动力学问题。对器件的Pull-in吸合和释放动态过程进行仿真,将结果与有限元结果和已有文献的结果比较来验证模型的有效性,研究表明:用这一方法建立的模型不仅能够对不同载荷情况进行多次快速仿真,也能够对不同几何参数和材料参数的同类型器件进行快速计算,仿真精度高且减少了计算费用。 展开更多
关键词 静电-结构耦合 Galerkin映射 数值仿真
在线阅读 下载PDF
静电无阀微泵两种仿真模型的比较研究 被引量:2
3
作者 林谢昭 应济 陈子辰 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1943-1947,共5页
为提高无阀微泵性能,分别采用全耦合模型(FCM)和预先定义泵膜位移的模型(PDM)对基于扩散/收缩单元的静电无阀微泵的动态特性进行计算仿真.对泵膜变形形状、泵膜中点位移、泵腔内压力以及进出口处流量等的变化历程进行比较.结果表明:PDM... 为提高无阀微泵性能,分别采用全耦合模型(FCM)和预先定义泵膜位移的模型(PDM)对基于扩散/收缩单元的静电无阀微泵的动态特性进行计算仿真.对泵膜变形形状、泵膜中点位移、泵腔内压力以及进出口处流量等的变化历程进行比较.结果表明:PDM模型计算费用较低,但无法以较高精度近似泵膜变形的动态特性,进而导致错误的瞬态流场结果.要准确仿真微泵的动态特性,必须考虑电-结构-流场之间的相互作用. 展开更多
关键词 静电无阀微泵 静电-结构-流体耦合 MEMSCAD
在线阅读 下载PDF
四质量硅微陀螺阵列的正交误差校正系统分析 被引量:1
4
作者 季奇波 张印强 +3 位作者 杨波 李丽娟 刘琴 周中鑫 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第1期122-126,共5页
为了减小正交误差对硅微阵列陀螺仪测量精度的影响,提高系统性能,采用自适应模糊PID控制和正交耦合刚度校正法研究硅微阵列陀螺仪的正交误差校正问题。首先,分析了硅微阵列陀螺仪正交误差的产生原因及其对系统性能的影响;其次,阐述了基... 为了减小正交误差对硅微阵列陀螺仪测量精度的影响,提高系统性能,采用自适应模糊PID控制和正交耦合刚度校正法研究硅微阵列陀螺仪的正交误差校正问题。首先,分析了硅微阵列陀螺仪正交误差的产生原因及其对系统性能的影响;其次,阐述了基于静电结构耦合效应的正交耦合刚度校正法的工作原理,设计了校正电极;最后,基于自适应模糊PID控制设计了正交误差校正系统,根据系统不同的偏差E和偏差率Ec实现了PID参数的自整定。Simulink仿真结果表明基于自适应模糊PID的正交误差校正系统的动态响应速度是常规PID的3倍,超调量是常规PID的十分之一,有效地实现了正交误差校正,提高了系统的自适应性。 展开更多
关键词 硅微阵列陀螺仪 正交误差 静电-结构耦合 自适应模糊PID 正交耦合刚度校正
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部