期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于体硅工艺的静电致动微夹持器制作工艺分析
被引量：
6
1
作者
李勇
李玉和
+1 位作者
李庆祥
訾艳阳
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第2期109-113,共5页
介绍了一种基于体硅工艺的大尺寸、大深宽比梳状静电致动微夹持器的制作工艺。对微夹持器制作中的关键工艺进行分析,重点分析ICP蚀刻工艺的蚀刻时间对结构的影响,总结导致器件失效的原因,探讨了减少失效的方法。加工过程中采用分步加工...
介绍了一种基于体硅工艺的大尺寸、大深宽比梳状静电致动微夹持器的制作工艺。对微夹持器制作中的关键工艺进行分析,重点分析ICP蚀刻工艺的蚀刻时间对结构的影响,总结导致器件失效的原因,探讨了减少失效的方法。加工过程中采用分步加工的办法控制蚀刻时间,成功的释放了宽6μm,厚60μm,等效长度达5470μm的悬臂梁型微夹持臂。研制出一种良好性能的具有S形柔性结构夹持臂的梳状静电致动微夹持器。
展开更多
关键词
体硅工艺
静电致动微夹持器
电感耦合等离子体
蚀刻
制作工艺
微
细加工
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于体硅工艺的静电致动微夹持器制作工艺分析
被引量：
6
1
作者
李勇
李玉和
李庆祥
訾艳阳
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第2期109-113,共5页
基金
清华大学机械工程学院985研究基金
文摘
介绍了一种基于体硅工艺的大尺寸、大深宽比梳状静电致动微夹持器的制作工艺。对微夹持器制作中的关键工艺进行分析,重点分析ICP蚀刻工艺的蚀刻时间对结构的影响,总结导致器件失效的原因,探讨了减少失效的方法。加工过程中采用分步加工的办法控制蚀刻时间,成功的释放了宽6μm,厚60μm,等效长度达5470μm的悬臂梁型微夹持臂。研制出一种良好性能的具有S形柔性结构夹持臂的梳状静电致动微夹持器。
关键词
体硅工艺
静电致动微夹持器
电感耦合等离子体
蚀刻
制作工艺
微
细加工
Keywords
silicon bulk micromachining
ICP(Inductance coupling plasma)
microgripper
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于体硅工艺的静电致动微夹持器制作工艺分析
李勇
李玉和
李庆祥
訾艳阳
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
