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流体环境中静电微悬臂梁的多场耦合仿真分析
被引量：
2
1
作者
林谢昭
应济
陈子辰
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期203-207,共5页
微器件动力学特性通常受到周围粘性流体阻尼的强烈影响,在器件优化设计中,需要建立静电-结构-流体三场耦合模型才能细致考虑这些影响。为研究微开关在粘性流体介质中的动/静态特性和流体阻尼,建立以Navier-Stokes方程描述流体特性的静...
微器件动力学特性通常受到周围粘性流体阻尼的强烈影响,在器件优化设计中,需要建立静电-结构-流体三场耦合模型才能细致考虑这些影响。为研究微开关在粘性流体介质中的动/静态特性和流体阻尼,建立以Navier-Stokes方程描述流体特性的静电微开关模型并进行数值分析;与相关文献结果比较验证了计算的正确性;得到了空气和去离子水介质中微开关的静/动态闭合电压、不同阶跃电压驱动下的闭合特性和流体阻尼力分布的情况。分析认为,微开关动/静态闭合电压的差异在介质粘性较大环境中较小,而在介质粘性较小环境中较大。
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关键词
静电致动器
流固耦合
数值仿真
微机电系统
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职称材料
基于Modelica的MEMS系统级多领域建模与仿真
被引量：
2
2
作者
胡伟
魏昕
谢小柱
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期1413-1416,共4页
分析了现有的MEMS系统级建模与仿真方法,讨论了运用Modelica语言进行面向对象的非因果关系建模方法,建立了基于Modelica的电容式微型静电致动器系统级模型,仿真结果证明了Modelica用于MEMS系统级多领域仿真的可行性。
关键词
Modelica多领域仿真
面向对象
非因果关系模型
微型
静电致动器
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职称材料
题名
流体环境中静电微悬臂梁的多场耦合仿真分析
被引量：
2
1
作者
林谢昭
应济
陈子辰
机构
浙江大学机械与能源工程学院
福州大学机械工程及自动化学院
出处
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期203-207,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(50475104)
浙江省自然科学基金重点项目(Z106519)
福建省教育厅资助项目(JB07007)
文摘
微器件动力学特性通常受到周围粘性流体阻尼的强烈影响,在器件优化设计中,需要建立静电-结构-流体三场耦合模型才能细致考虑这些影响。为研究微开关在粘性流体介质中的动/静态特性和流体阻尼,建立以Navier-Stokes方程描述流体特性的静电微开关模型并进行数值分析;与相关文献结果比较验证了计算的正确性;得到了空气和去离子水介质中微开关的静/动态闭合电压、不同阶跃电压驱动下的闭合特性和流体阻尼力分布的情况。分析认为,微开关动/静态闭合电压的差异在介质粘性较大环境中较小,而在介质粘性较小环境中较大。
关键词
静电致动器
流固耦合
数值仿真
微机电系统
Keywords
Electrostatical actuator
Fluidics structure interaction
Computer simulation
Microelectromechanical devices
分类号
TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
基于Modelica的MEMS系统级多领域建模与仿真
被引量：
2
2
作者
胡伟
魏昕
谢小柱
机构
广东工业大学机电工程学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期1413-1416,共4页
文摘
分析了现有的MEMS系统级建模与仿真方法,讨论了运用Modelica语言进行面向对象的非因果关系建模方法,建立了基于Modelica的电容式微型静电致动器系统级模型,仿真结果证明了Modelica用于MEMS系统级多领域仿真的可行性。
关键词
Modelica多领域仿真
面向对象
非因果关系模型
微型
静电致动器
Keywords
Modelica
multi-domain simulation
object-oriented
non-causal model
electrostatic microactuator
分类号
TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
流体环境中静电微悬臂梁的多场耦合仿真分析
林谢昭
应济
陈子辰
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
在线阅读
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职称材料
2
基于Modelica的MEMS系统级多领域建模与仿真
胡伟
魏昕
谢小柱
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
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职称材料
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参考文献
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