静电悬浮转子微陀螺及其关键技术 被引量：20

1

作者 崔峰 苏宇锋 +3 位作者 张卫平 吴校生 陈文元 赵小林 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2005年第6期61-67,共7页

静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺... 静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺/加速度计的关键技术如静电稳定悬浮、微位移检测控制、静电恒速旋转驱动、微机械加工和真空封装技术等进行了探讨。指出这一新颖MEMS陀螺是高精度多轴集成微惯性传感器技术发展的一个重要方向,具有广阔的应用前景和较大的发展潜力。 展开更多

关键词 微机电系统 微陀螺 微加速度计 转子 静电悬浮

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静电悬浮球形转子的电场恒速方法 被引量：6

2

作者 彭晓军 高钟毓 +1 位作者 王永梁 韩丰田 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2002年第4期29-34,共6页

针对静电悬浮球形转子在真空腔中存在转速衰减的问题,研究并改进了一种电场恒速方法。分析了偏心转子的侧向摆动现象及由此产生的不平衡信号的特性,给出了电场恒速力矩的计算公式和限制条件。在此基础上,提出了改进后的球形转子电场恒... 针对静电悬浮球形转子在真空腔中存在转速衰减的问题,研究并改进了一种电场恒速方法。分析了偏心转子的侧向摆动现象及由此产生的不平衡信号的特性,给出了电场恒速力矩的计算公式和限制条件。在此基础上,提出了改进后的球形转子电场恒速控制系统的结构和动态模型。理论分析和计算结果表明:改进后的电场方法能够在不影响系统整体性能的前提下实现各项恒速控制的性能指标。 展开更多

关键词 静电悬浮 球形转子 电场恒速方法 真空腔 静电仪表

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基于静电悬浮转子的硅微陀螺技术 被引量：7

3

作者 韩丰田 吴秋平 +1 位作者 吴黎明 董景新 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2008年第3期339-342,347,共5页

设计了一种转子采用五自由度静电悬浮的微机械陀螺。微陀螺基于玻璃-硅-玻璃键合的三明治结构、环形转子、体硅工艺、电容式位移检测方案;采用公共电极施加高频激励信号,基于隔离网络和频分复用的方法实现检测电极与加力电极的复用以简... 设计了一种转子采用五自由度静电悬浮的微机械陀螺。微陀螺基于玻璃-硅-玻璃键合的三明治结构、环形转子、体硅工艺、电容式位移检测方案;采用公共电极施加高频激励信号,基于隔离网络和频分复用的方法实现检测电极与加力电极的复用以简化陀螺结构;通过有源静电悬浮系统约束环形转子沿五自由度的运动,并提供足够的支承刚度;转子的转速控制基于三相可变电容式电机驱动方式,借助于检测转子与定子旋转电极的电容变化获得转子速度以实现转速闭环控制。目前已加工出基于深反应离子刻蚀工艺的微结构,采用基于DSP的数字控制器实现了环形转子的五自由度稳定悬浮。 展开更多

关键词 硅微陀螺 静电悬浮 体硅工艺 电容式位移检测 可变电容式电机

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静电悬浮式惯性仪表中的微位移检测技术 被引量：9

4

作者 韩丰田 吴秋平 董景新 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2007年第1期72-76,共5页

静电陀螺仪、空间静电加速度计等基于静电悬浮的惯性仪表在高精度的惯性导航和空间微重力测量领域得到广泛应用。近年来,对基于MEMS工艺的悬浮式微惯性传感器的研究引起了广泛的重视。介绍了静电悬浮式惯性仪表中采用的差动电容式微位... 静电陀螺仪、空间静电加速度计等基于静电悬浮的惯性仪表在高精度的惯性导航和空间微重力测量领域得到广泛应用。近年来,对基于MEMS工艺的悬浮式微惯性传感器的研究引起了广泛的重视。介绍了静电悬浮式惯性仪表中采用的差动电容式微位移检测电路的原理,分别对静电陀螺、静电加速度计和MEMS微陀螺、微加速度计的电极配置方案和位移检测的接口电路进行了分析,并对不同的位移检测方案进行了比较。 展开更多

关键词 静电悬浮 差动电容传感器 微位移检测 惯性仪表

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静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统级仿真 被引量：3

5

作者 肖奇军 李胜勇 +4 位作者 陈文元 刘超英 崔峰 黄伟 崔海宁 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第3期397-401,共5页

给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度;采用力平衡原理和力矩平衡原理测量壳体输入的线加速度和角速度,即对转子实行闭环控制使转子保持在零位,输出控制电压反映壳体输入线加速度和角速度的... 给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度;采用力平衡原理和力矩平衡原理测量壳体输入的线加速度和角速度,即对转子实行闭环控制使转子保持在零位,输出控制电压反映壳体输入线加速度和角速度的大小。针对转子结构,提出了一种基于模拟PID技术的非集中控制策略来实现悬浮控制,建立了一种基于Coventorware的机电混合仿真模型,对结构、电路和控制进行通盘考虑。通过起支仿真和加速度输入仿真可以看出,系统级仿真结果表明了其具有仿真速度快、仿真结果准确等优点,在与实验结果的比较中证实仿真结果的准确性和有效性。 展开更多

关键词 静电悬浮 微陀螺 悬浮控制 系统级仿真

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静电悬浮转子微陀螺再平衡回路设计 被引量：1

6

作者 肖奇军 陈文元 +2 位作者 崔峰 李胜勇 张卫平 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2007年第5期576-579,共4页

给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度,采用力平衡原理测量壳体输入的角速度,即对转子实行闭环控制使转子保持在零位,输出控制电压反映壳体输入角速度的大小。在分析转子所受力矩的基础上,... 给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度,采用力平衡原理测量壳体输入的角速度,即对转子实行闭环控制使转子保持在零位,输出控制电压反映壳体输入角速度的大小。在分析转子所受力矩的基础上,建立了转子的力矩平衡方程。当陀螺工作在理想状态下,提出了两种再平衡回路设计,即只采用校正环节和采用解耦网络的自平衡回路设计。通过系统仿真表明了采用解耦网络设计的再平衡回路的优越性。当壳体输入阶跃角速度时,解耦控制具有响应速度快、超调小、动态性能好等优点。最后给出了采用积分电路和加法运算电路实现解耦控制的电路实现方案。 展开更多

关键词 静电悬浮 微陀螺 再平衡回路 解耦控制

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一种地面用静电悬浮加速度计的误差分析及仿真 被引量：1

7

作者 贺晓霞 李娇娇 +2 位作者 李海霞 韩丰田 刘云峰 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第6期794-801,共8页

针对航空/航海重力及重力梯度测量、惯性导航等领域对高精度加速度计的迫切需求,提出了一种适合地面应用环境的高精度三轴静电加速度计方案。该加速度计敏感质量采用一种中心固定有一薄法兰盘的空心薄壁圆筒,圆筒内外侧与法兰盘两侧布... 针对航空/航海重力及重力梯度测量、惯性导航等领域对高精度加速度计的迫切需求,提出了一种适合地面应用环境的高精度三轴静电加速度计方案。该加速度计敏感质量采用一种中心固定有一薄法兰盘的空心薄壁圆筒,圆筒内外侧与法兰盘两侧布置检测和加力电极。对影响静电加速度计性能的误差源及其作用机理进行了研究。基于MATLAB/Simulink,建立了一套三轴静电悬浮加速度计控制系统仿真模型,设计了加速度计的控制参数,并比较分别采用盘面电极与柱面电极作为敏感质量位移与姿态检测的测量电极时,典型误差源对加速度计标度因数的影响程度。仿真结果表明,采用柱面电极用于测量时标度因数稳定性可达10-9 V/g量级,比采用盘面电极提高了一个数量级。因此在工程中选择柱面电极作为敏感质量位移与姿态检测的测量电极。 展开更多

关键词 静电悬浮加速度计 误差源 PID控制 仿真

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静电悬浮系统的数字控制与实验研究 被引量：1

8

作者 李冬梅 李晓春 +1 位作者 韩丰田 王永梁 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2006年第2期69-72,共4页

介绍了一种基于DSP的数字控制器的总体结构及控制器算法的设计。在此基础上构建了三轴静电悬浮系统,并通过仿真和实验讨论了不同采样频率对系统性能的影响。实验结果表明,系统带宽达到750Hz,谐振峰小于3dB,刚度等各项性能均满足静电悬... 介绍了一种基于DSP的数字控制器的总体结构及控制器算法的设计。在此基础上构建了三轴静电悬浮系统,并通过仿真和实验讨论了不同采样频率对系统性能的影响。实验结果表明,系统带宽达到750Hz,谐振峰小于3dB,刚度等各项性能均满足静电悬浮系统的指标要求。 展开更多

关键词 惯性仪表 静电悬浮系统 数字控制器 数字信号处理器(DSP)

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材料静电悬浮控制系统的设计与应用 被引量：1

9

作者 杨晓光 鲁晓宇 曹崇德 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期342-346,共5页

文章给出一种静电悬浮控制系统设计方案。此方案基于静电悬浮基本原理,结合最新的虚拟仪器编程软件LabVIEW8.20和PID控制,可以实现物体的静电悬浮,并完成对悬浮物体的控制。模拟结果表明,依照此方案设计的静电悬浮系统能够使质量为0.03... 文章给出一种静电悬浮控制系统设计方案。此方案基于静电悬浮基本原理,结合最新的虚拟仪器编程软件LabVIEW8.20和PID控制,可以实现物体的静电悬浮,并完成对悬浮物体的控制。模拟结果表明,依照此方案设计的静电悬浮系统能够使质量为0.037 g的铜球、铝球和玻璃球在30 s内达到稳定悬浮,当悬浮样品受到脉冲扰动时能在短时间内使其回复到稳定悬浮状态。 展开更多

关键词 无容器效应 静电悬浮 LABVIEW8.20 PID控制

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铁心切割对静电悬浮用方波变压器性能影响的研究 被引量：1

10

作者 刘坤 高钟毓 韩丰田 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2006年第5期47-50,共4页

高压变压器是静电悬浮系统的关键元件之一。微晶合金C型铁心的采用使方波变压器的制作工艺变得简便,但铁心截面的切割质量和装配工艺对变压器的性能有着很大影响。该文从理论和实验两方面对这种影响进行了研究,提出了采用细砂纸手工研... 高压变压器是静电悬浮系统的关键元件之一。微晶合金C型铁心的采用使方波变压器的制作工艺变得简便,但铁心截面的切割质量和装配工艺对变压器的性能有着很大影响。该文从理论和实验两方面对这种影响进行了研究,提出了采用细砂纸手工研磨铁心截面的办法改善变压器的性能。测试表明,铁心研磨后变压器的静态功耗降低57．6％,通频带拓宽29％,出力系数提高8％。结果表明,铁心研磨的措施能够显著减小铁心切割对变压器性能的影响,这对于变压器的设计和性能优化具有重要参考价值。 展开更多

关键词 静电悬浮 方波变压器 铁心切割 铁心研磨

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静电悬浮加速度计噪声测试数据的频谱分析方法 被引量：6

11

作者 薛大同 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期55-63,共9页

分析了不同系数的离散傅里叶变换公式的含意,并从中筛选出符合工程分析要求的正确公式.为使用快速傅里叶变换可采用多种方式使数据符合2的整数次幂,分析了各种方法的优缺点;分析了各种频谱的应用对象,得出静电悬浮加速度计噪声适宜采用... 分析了不同系数的离散傅里叶变换公式的含意,并从中筛选出符合工程分析要求的正确公式.为使用快速傅里叶变换可采用多种方式使数据符合2的整数次幂,分析了各种方法的优缺点;分析了各种频谱的应用对象,得出静电悬浮加速度计噪声适宜采用功率谱密度,且在窗函数应用上宜选择与之符合的系数;给出了使用OriginLab公司Origin 5.0/7.0软件计算功率谱密度时所必须采取的纠正措施,提出地面测试静电悬浮加速度计噪声需采用差分方法以抑制环境噪声,具体操作方法是,将两台加速度计已扣除平均值的时域噪声值相减后除以2^(1/2). 展开更多

关键词 静电悬浮加速度计 噪声 频谱分析 功率谱密度

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静电悬浮加速度计的地面重力倾角标定方法 被引量：5

12

作者 薛大同 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期688-696,共9页

静电悬浮加速度计是重力场测量卫星上的主要载荷之一,其传感头(飞行件)需要在环境试验前后进行地面重力倾角标定。由于敏感轴之间的耦合机理不同于传统加速度计,所用的模型方程亦有所差别;由于失准角远大于量程范围内的重力倾角,无法采... 静电悬浮加速度计是重力场测量卫星上的主要载荷之一,其传感头(飞行件)需要在环境试验前后进行地面重力倾角标定。由于敏感轴之间的耦合机理不同于传统加速度计,所用的模型方程亦有所差别;由于失准角远大于量程范围内的重力倾角,无法采用传统的静态标定法确定模型方程各参数。必须采取技术措施使得三阶非线性系数可以忽略,才能在专用摆台上用动态标定法大致判断标度因数和检验成对加速度计模型方程各参数的一致性,用电模拟法得到二阶非线性系数。对动态标定法,提出了防止频谱泄漏和幅度谱中压低噪声干扰幅度的措施。对电模拟法,用实例给出了具体实施方案和效果。 展开更多

关键词 卫星重力测量 静电悬浮加速度计 地面标定 标度因数 二阶非线性系数

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静电悬浮加速度计伺服控制分析 被引量：5

13

作者 薛大同 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期102-106,共5页

根据广义相对论原理选定的坐标系参照物为理想情况下在轨道上自由飘浮的卫星,据此讨论静电悬浮加速度计检验质量块的运动和电极笼的运动,得到检验质量在电极内运动的动力学方程,证明以往相关文献提供的公式存在明显缺陷;在此基础上分析... 根据广义相对论原理选定的坐标系参照物为理想情况下在轨道上自由飘浮的卫星,据此讨论静电悬浮加速度计检验质量块的运动和电极笼的运动,得到检验质量在电极内运动的动力学方程,证明以往相关文献提供的公式存在明显缺陷;在此基础上分析了伺服控制电路,给出了电阻尼系数、闭环自然谐振的角频率(或称为加速度计的基础角频率)、受静电负刚度等非受控刚度制约的角频率、来自于静电悬浮的加速度、检验质量的相对位移等一系列表达式,从而提出必须有足够的增益以提供适度的闭环自然谐振角频率.给出了位置噪声引起的加速度噪声表达式,证明当伺服回路的增益足够大时,在悬浮频带内检验质量的相对位移几乎为零. 展开更多

关键词 静电悬浮加速度计 动力学方程 伺服控制 增益

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静电悬浮式电容差分加速度计测量原理与动特性设计 被引量：1

14

作者 张亮 陆秋海 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2008年第9期79-81,共3页

目前,加速度计在惯性导航、大地勘探等领域都已得到了广泛的应用。在深空探测的大背景下,用于测量重力梯度的加速度计必须具有更小量程和更高的分辨率。静电悬浮式电容差分加速度计是可选方案之一。此类加速度计的工作原理与经典的弹簧... 目前,加速度计在惯性导航、大地勘探等领域都已得到了广泛的应用。在深空探测的大背景下,用于测量重力梯度的加速度计必须具有更小量程和更高的分辨率。静电悬浮式电容差分加速度计是可选方案之一。此类加速度计的工作原理与经典的弹簧振子系统相似。研究与检测质量块、伺服控制的静电反馈力和空气阻尼相关的各个参数对系统指标的影响将有助于此类加速度计的设计。首先介绍电容差分式加速度计的结构设计和工作原理,并从理论上比较此类加速度计与经典弹簧振子系统的异同。在此基础上以弹簧振子系统为原型,建立此类加速度计的动力学模型,并以这个动力学模型为对象分析此类加速度计系统的动力学特征,包括其动力学方程、固有频率、阻尼频率、脉冲响应和阶跃响应等。同时分析加速度计机构参数和伺服控制电路参数对系统动力学特征的影响。由于此类加速度计是用于测量空间重力梯度这类慢变信号的,因此还重点分析在低频信号输入时的系统响应特征。 展开更多

关键词 静电悬浮 电容差分式加速度计 伺服控制 动特性

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静电悬浮转子微陀螺微位移数字化电容检测通道设计

15

作者 马高印 陈文元 +2 位作者 张卫平 崔锋 王立奇 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2009年第6期734-737,共4页

微位移检测是实现静电悬浮转子微陀螺闭环起支和稳定悬浮控制的重要前提。针对微陀螺轴向起支和悬浮的检测要求、特点及主要技术指标,设计了完整的电容式微位移检测通道。该通道主要由前置C/V转换、差动放大、四阶压控电压源有源带通滤... 微位移检测是实现静电悬浮转子微陀螺闭环起支和稳定悬浮控制的重要前提。针对微陀螺轴向起支和悬浮的检测要求、特点及主要技术指标,设计了完整的电容式微位移检测通道。该通道主要由前置C/V转换、差动放大、四阶压控电压源有源带通滤波、相敏解调、四阶Butterworth低通滤波和16位A/D转换等环节组成,具有激励带宽大、检测精度高及数字化输出等特点。试验表明,检测通道的灵敏度为1.4V/pF,线性度为2.11%,微位移检测分辨力优于10nm,能够满足微陀螺轴向起支和稳定悬浮的检测要求。 展开更多

关键词 微陀螺 静电悬浮 微位移 电容检测

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模糊控制在静电悬浮转子微陀螺起支中的应用

16

作者 肖奇军 陈文元 +2 位作者 崔峰 李胜勇 张卫平 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2008年第6期735-739,共5页

给出了一种基于UV-LIGA技术的静电悬浮转子微陀螺,提出了控制系统组成方案,为了实现转子的起支控制和稳定悬浮,模糊控制被应用于该系统中,首先,对轴向压膜阻尼和滑膜阻尼进行有限元分析,并用解析法进行分析,计算结果表明两种方法的一致... 给出了一种基于UV-LIGA技术的静电悬浮转子微陀螺,提出了控制系统组成方案,为了实现转子的起支控制和稳定悬浮,模糊控制被应用于该系统中,首先,对轴向压膜阻尼和滑膜阻尼进行有限元分析,并用解析法进行分析,计算结果表明两种方法的一致性,从而得到阻尼的解析表达式。然后,建立了带偏置电压的双边支承下的数学模型,并对数学模型进行模糊控制仿真研究,仿真结果表明,相对于PID控制,模糊控制具有较强的鲁棒性,具有响应速度快,自适应能力强的优点。最后,设计了悬浮控制系统,给出了硬件和软件组成。 展开更多

关键词 静电悬浮 微陀螺 模糊控制 起支

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静电悬浮转子微陀螺宏模型的提取和分析

17

作者 肖奇军 崔峰 +2 位作者 陈文元 李胜勇 张卫平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第1期34-37,共4页

静电悬浮转子微陀螺是一种新型陀螺,通过静电力控制转子使其自由悬浮在空腔中,利用有限元法提取转子在平动和翻转时的压膜阻尼。在考虑边缘效应的情况下,提取电容和位移的解析表达式。建立静电力方程,为系统级仿真模型提供阻尼和静电宏... 静电悬浮转子微陀螺是一种新型陀螺,通过静电力控制转子使其自由悬浮在空腔中,利用有限元法提取转子在平动和翻转时的压膜阻尼。在考虑边缘效应的情况下,提取电容和位移的解析表达式。建立静电力方程,为系统级仿真模型提供阻尼和静电宏模型,以获得不同条件下微陀螺的控制分析结果。 展开更多

关键词 静电悬浮 微陀螺 宏模型 阻尼系数

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静电悬浮转子微陀螺模糊自整定PI控制器研究

18

作者 肖奇军 陈建平 +4 位作者 李胜勇 陈文元 刘超英 崔海宁 黄伟 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第5期306-309,326,共5页

给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度。针对转子结构,提出了一种基于模拟PI技术的非集中控制策略来实现悬浮控制。由于起支控制是一个典型的非线性控制,使用传统PI控制很难满足系统对快速... 给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度。针对转子结构,提出了一种基于模拟PI技术的非集中控制策略来实现悬浮控制。由于起支控制是一个典型的非线性控制,使用传统PI控制很难满足系统对快速性、稳定性和鲁棒性的要求,提出了一种模糊逻辑在线调整PI参数的方法,提高起支控制的鲁棒性和动态响应特性。通过实验结果可以看出,应用模糊自整定PI控制,超调量从应用PI控制器的27%下降到17%,上升时间为3.6 ms,调节时间为25.6 ms,显示了良好的动态性能和全局稳定性。 展开更多

关键词 静电悬浮 微陀螺 起支 PI控制 模糊自整定

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静电悬浮用开关调制高压放大器的性能优化

19

作者 刘坤 高钟毓 韩丰田 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2007年第2期214-217,共4页

受击穿场强限制,静电式仪表采用正弦波高压放大器不能满足过载能力的要求,为此研制出了一种出力系数大的开关调制式方波高压放大器。但在应用中发现,方波高压放大器存在功耗高和对位移测量电路干扰大的缺点。针对这些不足,采用研磨铁心... 受击穿场强限制,静电式仪表采用正弦波高压放大器不能满足过载能力的要求,为此研制出了一种出力系数大的开关调制式方波高压放大器。但在应用中发现,方波高压放大器存在功耗高和对位移测量电路干扰大的缺点。针对这些不足,采用研磨铁心截面、线包分段绕制和在调制信号中加入死区三种措施,显著降低了高压放大器的功耗和谐波干扰。测试表明,高压放大器优化后最大功耗降低了65.5%,而过载能力提高12.8%,同时对位移测量电路的干扰降至与正弦波高压放大器相同的水平。 展开更多

关键词 静电悬浮 高压放大器 开关调制 优化

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静电悬浮转子微陀螺五自由度位置检测研究

20

作者 肖奇军 李胜勇 +1 位作者 刘超英 黄伟 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第4期524-527,共4页

给出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的静电悬浮转子微陀螺,为了实现对静电悬浮转子微陀螺转子的五自由度(5-DOF)悬浮控制,需要对转子进行五自由度位置检测,首先介绍了微位移检测原理,提出了一种基于频分复用技术和开关解调技术的微位... 给出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的静电悬浮转子微陀螺,为了实现对静电悬浮转子微陀螺转子的五自由度(5-DOF)悬浮控制,需要对转子进行五自由度位置检测,首先介绍了微位移检测原理,提出了一种基于频分复用技术和开关解调技术的微位移检测方法,设计了基于直接数字频率合成(DDS)技术的多频率信号发生器、前置放大器及锁相放大器组成的位置测试系统,位移检测电路的各项性能指标能满足静电悬浮转子微陀螺的五自由度控制需要。 展开更多

关键词 静电悬浮 微陀螺 五自由度 位置检测

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