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基于MEMS技术微型静电场传感器系统设计与研制
被引量:
1
1
作者
刘世国
彭春荣
+1 位作者
陈贤禅
夏善红
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期326-327,共2页
针对基于MEMS技术的微型静电场传感器的输出信号微弱、信噪比低等特点,采用高精度运算放大器和直接数字合成器芯片设计出了一种基于封装小但没有浮点运算器的单片机的微型静电场传感器系统,并通过一定的算法解决了单片机运算能力弱的问...
针对基于MEMS技术的微型静电场传感器的输出信号微弱、信噪比低等特点,采用高精度运算放大器和直接数字合成器芯片设计出了一种基于封装小但没有浮点运算器的单片机的微型静电场传感器系统,并通过一定的算法解决了单片机运算能力弱的问题,最终整个系统的测试精度能达到5%,分辨率能达到500 V/m,检测时间小于1 s.
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关键词
微型
静电场传感器
微弱信号
相关检测
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职称材料
MOSFET静电场传感器电场-电流特性的研究
2
作者
陈新安
黄庆安
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2010年第6期9-11,共3页
MOSFET静电场传感器是一种固态传感器,没有任何机械移动部件。文中研究了MOSFET静电场传感器的电流-电压特性和电流-电场特性。在给定的电场下,电流-电压特性曲线分为了两部分:非饱和区和饱和区。当MOS-FET静电场传感器工作在非饱和区时...
MOSFET静电场传感器是一种固态传感器,没有任何机械移动部件。文中研究了MOSFET静电场传感器的电流-电压特性和电流-电场特性。在给定的电场下,电流-电压特性曲线分为了两部分:非饱和区和饱和区。当MOS-FET静电场传感器工作在非饱和区时,漏-源电流的变化量ΔIDsat与测量电场成正比。但MOSFET静电场传感器工作在饱和区时,漏-源电流的变化量ΔIDSat与测量电场成非线性关系。但是,当测量电场比较小时,漏-源电流的变化量ΔIDS与测量电场成正比。
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关键词
MOSFET
静电场传感器
电流-电压特性
电流-电
场
特性
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职称材料
静电传感器灵敏场有限元仿真研究
被引量:
16
3
作者
许传龙
汤光华
+4 位作者
杨道业
周宾
潘琦
邵理堂
王式民
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期1311-1318,共8页
静电传感器灵敏场分布不均匀,致使传感器的输出受流型影响,导致较大的测量误差。本文基于点电荷思想建立了圆环状静电传感器的三维静电场数学模型,并应用有限元法进行了数值求解。系统地分析了圆环状静电传感器结构参数(电极的长度、绝...
静电传感器灵敏场分布不均匀,致使传感器的输出受流型影响,导致较大的测量误差。本文基于点电荷思想建立了圆环状静电传感器的三维静电场数学模型,并应用有限元法进行了数值求解。系统地分析了圆环状静电传感器结构参数(电极的长度、绝缘管段的厚度、屏蔽罩的长度以及半径等),材料特性以及场域介质分布对静电传感器灵敏场分布特性的影响。旨在为实现静电传感器灵敏场的均匀分布和结构优化提供理论依据。
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关键词
灵敏
场
静电
传感器
气-固两相流
颗粒
静电
化
有限元分析
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职称材料
一种新型固态静电传感器的设计与模拟
被引量:
2
4
作者
陈新安
黄庆安
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期131-133,166,共4页
电场测量系统广泛应用于航空、航天、国防、气象、电力等多个领域。根据电场传感器工作原理,电场传感器可以分为光学(光纤)式和电荷感应式两大类。电荷感应式电场传感器有旋片结构、双球结构、火箭结构和MEMS结构。文中给出了一种新型的...
电场测量系统广泛应用于航空、航天、国防、气象、电力等多个领域。根据电场传感器工作原理,电场传感器可以分为光学(光纤)式和电荷感应式两大类。电荷感应式电场传感器有旋片结构、双球结构、火箭结构和MEMS结构。文中给出了一种新型的MOSFET感应式电场传感器,并用MEDICI软件进行了模拟。模拟结果表明MOSFET感应式电场传感器的感应电流I_E和电场强度E有良好的线性关系。
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关键词
静电场传感器
电荷感应
MOS
场
效应晶体管
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职称材料
题名
基于MEMS技术微型静电场传感器系统设计与研制
被引量:
1
1
作者
刘世国
彭春荣
陈贤禅
夏善红
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北方基地
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期326-327,共2页
基金
863计划项目(2006AA04Z347)
文摘
针对基于MEMS技术的微型静电场传感器的输出信号微弱、信噪比低等特点,采用高精度运算放大器和直接数字合成器芯片设计出了一种基于封装小但没有浮点运算器的单片机的微型静电场传感器系统,并通过一定的算法解决了单片机运算能力弱的问题,最终整个系统的测试精度能达到5%,分辨率能达到500 V/m,检测时间小于1 s.
关键词
微型
静电场传感器
微弱信号
相关检测
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
MOSFET静电场传感器电场-电流特性的研究
2
作者
陈新安
黄庆安
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2010年第6期9-11,共3页
文摘
MOSFET静电场传感器是一种固态传感器,没有任何机械移动部件。文中研究了MOSFET静电场传感器的电流-电压特性和电流-电场特性。在给定的电场下,电流-电压特性曲线分为了两部分:非饱和区和饱和区。当MOS-FET静电场传感器工作在非饱和区时,漏-源电流的变化量ΔIDsat与测量电场成正比。但MOSFET静电场传感器工作在饱和区时,漏-源电流的变化量ΔIDSat与测量电场成非线性关系。但是,当测量电场比较小时,漏-源电流的变化量ΔIDS与测量电场成正比。
关键词
MOSFET
静电场传感器
电流-电压特性
电流-电
场
特性
Keywords
MOSFET static electric field sensor
characteristic of the current versus the voltage
characteristic of Electricfield and current
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
静电传感器灵敏场有限元仿真研究
被引量:
16
3
作者
许传龙
汤光华
杨道业
周宾
潘琦
邵理堂
王式民
机构
东南大学洁净煤发电与燃烧技术教育部重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期1311-1318,共8页
基金
国家重点基础研究专项经费(2004CB17702-04)资助项目
文摘
静电传感器灵敏场分布不均匀,致使传感器的输出受流型影响,导致较大的测量误差。本文基于点电荷思想建立了圆环状静电传感器的三维静电场数学模型,并应用有限元法进行了数值求解。系统地分析了圆环状静电传感器结构参数(电极的长度、绝缘管段的厚度、屏蔽罩的长度以及半径等),材料特性以及场域介质分布对静电传感器灵敏场分布特性的影响。旨在为实现静电传感器灵敏场的均匀分布和结构优化提供理论依据。
关键词
灵敏
场
静电
传感器
气-固两相流
颗粒
静电
化
有限元分析
Keywords
sensing field
electrodynamic sensor
gas-solid two-phase flow
particle electrification
finite element analysis
分类号
TK934 [动力工程及工程热物理]
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职称材料
题名
一种新型固态静电传感器的设计与模拟
被引量:
2
4
作者
陈新安
黄庆安
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期131-133,166,共4页
文摘
电场测量系统广泛应用于航空、航天、国防、气象、电力等多个领域。根据电场传感器工作原理,电场传感器可以分为光学(光纤)式和电荷感应式两大类。电荷感应式电场传感器有旋片结构、双球结构、火箭结构和MEMS结构。文中给出了一种新型的MOSFET感应式电场传感器,并用MEDICI软件进行了模拟。模拟结果表明MOSFET感应式电场传感器的感应电流I_E和电场强度E有良好的线性关系。
关键词
静电场传感器
电荷感应
MOS
场
效应晶体管
Keywords
electrostatic-field sensor
charge induction
MOSFET
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于MEMS技术微型静电场传感器系统设计与研制
刘世国
彭春荣
陈贤禅
夏善红
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
MOSFET静电场传感器电场-电流特性的研究
陈新安
黄庆安
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2010
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
静电传感器灵敏场有限元仿真研究
许传龙
汤光华
杨道业
周宾
潘琦
邵理堂
王式民
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
16
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
一种新型固态静电传感器的设计与模拟
陈新安
黄庆安
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
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