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单片伺服加速度计及其应用
被引量：
1
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作者
赵长德
徐毓娴
《仪表技术与传感器》
EI
CSCD
北大核心
1998年第2期14-18,共5页
本文概述单片伺服加速度计的原理和基本结构，伺服电路的组成和特点，并介绍了ＡＤ公司生产的单片加速度计的性能指标和应用电路，以及信号调节的方法。给出了部分实验数据，最后说明了该加速度计的典型应用。
关键词
单片
伺服
加速度计
电容传感器
静电反馈力
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职称材料
题名
单片伺服加速度计及其应用
被引量：
1
1
作者
赵长德
徐毓娴
机构
清华大学
出处
《仪表技术与传感器》
EI
CSCD
北大核心
1998年第2期14-18,共5页
文摘
本文概述单片伺服加速度计的原理和基本结构，伺服电路的组成和特点，并介绍了ＡＤ公司生产的单片加速度计的性能指标和应用电路，以及信号调节的方法。给出了部分实验数据，最后说明了该加速度计的典型应用。
关键词
单片
伺服
加速度计
电容传感器
静电反馈力
Keywords
Monolithic Servo Accelerometer,Capacitive Sensor,Electrostatic Feed-back Force,Micro Electro Mechanic System(MEMS).
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
单片伺服加速度计及其应用
赵长德
徐毓娴
《仪表技术与传感器》
EI
CSCD
北大核心
1998
1
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