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基于MEMS热电堆传感器的高温测量技术
被引量：
2
1
作者
邹令敏
郝晓剑
周汉昌
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009年第9期19-21,共3页
为了拓宽MEMS热电堆传感器的温度测量范围，实现高温测量，根据MEMS热电堆传感器的原理，设计完成了A2TPMB34型MEMS热电堆传感器静态与动态标定装置，通过试验得到标定结果；同时，提供了基于MEMS热电堆传感器实现瞬态高温测试的技术方...
为了拓宽MEMS热电堆传感器的温度测量范围，实现高温测量，根据MEMS热电堆传感器的原理，设计完成了A2TPMB34型MEMS热电堆传感器静态与动态标定装置，通过试验得到标定结果；同时，提供了基于MEMS热电堆传感器实现瞬态高温测试的技术方案和实现手段，并对其关键部分一红外衰减片性能进行了分析和讨论。
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关键词
瞬态高温
MEMS热电堆传感器
静态与动态标定
高温测试系统
红外衰减片
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职称材料
题名
基于MEMS热电堆传感器的高温测量技术
被引量：
2
1
作者
邹令敏
郝晓剑
周汉昌
机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009年第9期19-21,共3页
文摘
为了拓宽MEMS热电堆传感器的温度测量范围，实现高温测量，根据MEMS热电堆传感器的原理，设计完成了A2TPMB34型MEMS热电堆传感器静态与动态标定装置，通过试验得到标定结果；同时，提供了基于MEMS热电堆传感器实现瞬态高温测试的技术方案和实现手段，并对其关键部分一红外衰减片性能进行了分析和讨论。
关键词
瞬态高温
MEMS热电堆传感器
静态与动态标定
高温测试系统
红外衰减片
Keywords
transient high-temperature
MEMS thermopile sensor
static and dynamic calibration
hightemperature measurement system
infrared weaken piece
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于MEMS热电堆传感器的高温测量技术
邹令敏
郝晓剑
周汉昌
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009
2
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