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题名精密导轨用气体轴承微米形状静压面特性研究
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作者
任东旭
李彬
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机构
中原工学院机电学院
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出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2020年第8期71-73,78,共4页
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基金
国家自然科学基金(51905558,51975599)
中国纺织工业联合会科技指导项目(2019069)
河南省高等学校重点科研项目(20A460032)。
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文摘
精密加工装备或测量仪器要求导轨具有高刚度高精度特性。文章提出了基于气体轴承静压面微米形状的刚度提升方法,研究分析多孔质气体轴承微米形状的结构原理及类型,采用母线多线法和同心圆法测量圆柱型气体轴承静压面,并评估其曲面不规则度或同心度偏差,以减少加工误差对静压槽形对气膜静态特性的影响;通过SolidWorks内嵌插件对气体轴承加载力进行仿真分析,为气体轴承微米形状静压面静态特性的槽型深度提供试验参数依据;最后对比分析了0.1~0.5 MPa气体压力对平面气膜在承载载荷力、静态刚度、气体流量等特性影响,当凹面槽深h 1=1μm即该值接近受承载力变形量时,气体轴承刚度较好且气体流量较低;当微米形状为凸面时,气体轴承静压面特性表现较差,为精密导轨工程应用高刚度高精度气体静压轴承设计提供参考依据。
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关键词
气体静压轴承
多孔质
静压面微米形状
高刚度
精密导轨
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Keywords
aerostatic bearings
porous
micron-shaped aerostatic surface
high rigidity
precision guideway
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分类号
TH133.3
[机械工程—机械制造及自动化]
TG506
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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