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一种高灵敏度的开关型CMOS霍尔磁场传感器 被引量:4
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作者 阮伟华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第11期94-97,共4页
介绍了一种基于CSMC 0.5μm CMOS工艺设计的高灵敏度集成开关型霍尔传感器。该传感器包括一个十字型霍尔器件和一个采用动态失调相消技术的信号调理电路。通过优化霍尔器件的结构和采用一种新型的信号调理电路,使霍尔传感器得到很高的... 介绍了一种基于CSMC 0.5μm CMOS工艺设计的高灵敏度集成开关型霍尔传感器。该传感器包括一个十字型霍尔器件和一个采用动态失调相消技术的信号调理电路。通过优化霍尔器件的结构和采用一种新型的信号调理电路,使霍尔传感器得到很高的灵敏度。TCAD器件仿真和Cadence电路仿真表明:在3 V的工作电压下,该传感器能检测最小2mT的磁场,输出标准的数字信号,并能消除霍尔器件内部高达6mV以上的失调电压。 展开更多
关键词 霍尔失调 高灵敏度 霍尔传感器 旋转电流法
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